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1、激光技术的应用研究进展与前景 摘要：随着激光技术的飞速发展和广泛应用激光已成为工业生产，科学探测和 现代军事战争中极为重要的工具。总结了激光技术在工业生产，军事，国防，医疗 等行业中的应用，提出激光技术应用领域的发展趋势。 关键词：工业，军事，激光应用， 激光，具有普通光源发出的光的所有光学特性，是上世纪 60 年代所诞生和发 展起来的新技术。但它又不是普通的光，其特性是任何光都无法比拟的。激光能量 密度高，其亮度比太阳表面还高数百亿倍；1激光方向性强，其发散度仅为毫弧 度量级，所以用途非常广泛。由于激光的优异特性，使激光在工业生产，科技探 测，军事等方面得到了广泛应用，激光渗透到社会的各个行
2、业，而且发展潜力还非 常大，激光也成为了当代科学发展最快的科学领域之一。 激光在工业上的各种应用： 1.1激光技术在焊机上的应用： 激光能量密度高，方向性强，激光焊接就是应用激光发生器产生的光经过光学 处理后照射在待焊接材料的部位上，并产生热量以形成永久性连接的工艺过程。2 1.2激光焊接原理。激光焊机是激光技术在焊接领域的应用。激光技术采用偏 光镜反射激光产生的光束使其集中在聚焦装置中产生巨大能量的光束，如果焦点靠 近工件，工仵就会在几毫秒内熔化和蒸发，这一效应可用于焊接工艺，高功率 CO2是气体激光器，分子气体作工作介质，产生平均为 10.6 m 的红外激光，可以 连续工作并输出很高的功率
3、，标准激光功率在215kW 之间。 激光焊接的特点是 被焊接工件变形极小，几乎没有连接间隙，焊接深度/宽度比高，因此焊接质量比 传统焊接方法高。激光在激光发生器中产生，当快门打开后，激光通过光闸被传输 到激光束导向系统中，激光束导向系统是闭环管路，由装在激光发生器与焊接区域 之间，保证了激光束传播不失控，当激光束离开激光发生器，它将被激光导向系统 传输到焊接区域，导向是靠安装在导向系统中的铜镜完成的，在激光工作头处的最 后 一个偏向镜为聚焦镜，激光聚焦的点很小但强度很高，一般激光束是由原来的 35mm 变成 0.2mm。激光束通过传动机构在焊接区域进行运动，强大的激光能量将 焊接处的带钢熔化，
4、最终完成焊接。 2.1激光技术在晶片 /芯片加工领域的应用。 目前业界讨论最多的激光划片技术主要有几种，其主要特征都是由激光直接作 用于晶圆切割道的表面，以激光的能量使被作用表面的物质脱离，达到去除和切割 的目的 但是这种工艺在工作过程中会产生巨大的热量，并导致对器件本身的热损 伤，甚至会产生热崩边 (Chipping，被剥离物的沉积 (Deposition 等难以有效解决的问 题。3ALSI 公司开发的激光划片系统成功解决了激光划片工艺中的一些技术问 题，并将该系统推广到砷化镓晶圆厂，取得了较好的效果 TriQuint 公司 RFMD 公 司是两个成功使用激光划片系统的典型在这些公司，使用激
5、光切割比传统的金刚 石工艺能提高 5 倍的产量，这将为投资者带来极具吸引力的回报激光切割不仅加 工速度快，还尽可能地减小了芯片的尺寸有效地增加每块晶片乃至整流器晶圆厂 的产量。 11 2.2激光打标技术。激光打标是一种非接触无污染 无磨损的新标记工艺近年 来，随着激光器的可靠性和实用性的提高，加上计算机技术的迅速发展和光学器件 的改进，促进了激光打标技术的发展激光打标是利用高能量密度的激光束对目标作 用，使目标表面发生物理或化学的变化 ,从而获得可见图案的标记方式高能量的激 光束聚焦在材料表面上，使材料迅速汽化，形成凹坑随着激光束在材料表面有规 律地移动同时控制激光的开断，激光束也就在材料表面
6、加工成了一个指定的图案 激光打标与传统的标记工艺相比有明显的优点：(a 标记速度快，字迹清晰永久； (b 非接触式加工，污染小，无磨损；(c 操作方便，防伪功能强；(d 可以做到高速 自动化运行，生产成本低 在晶片加工过程中，在晶片的特定位置制作激光标识码，可有效增强晶片的可追 溯性，同时也为生产管理提供了一定的方便目前，在晶片上制作激光标识码是成 为一种潜在的行业标准，广泛地应用于硅材料锗材料。 12 3激光技术在机床工业中的应用： 机床导轨和滑板直线度测量在激光准直仪问世以前，准直技术主要是用拉钢 丝法或采用光学准直望远镜，但它们都存在着一定的缺点。由于激光具有良好的方 向性，因而是准直技
7、术理想的光源。激光准直技术已在大型、精密机床导轨和滑板 直线度测量中获得应用。在测量直线度时，激光准直仪与光学准直望远镜相比有以 下优点： 测量结果无需进行数学处理。测量记录结果即为机床工作台的运动误差 曲线。 可同时测量垂直与水平方向的机床导轨工作台的直线度，故大大提高了测 量效率。 4 在测量长导轨时，光学准直望远镜由于光能损失较大，故成像不够清晰。而激 光准直仪无此缺点，可测量长达20mm 以上的导轨运动的直线度。 4激光清洗： 激光清洗法是一种全新的清洗方法，它的出现源于激光独特的材料选择性：一 定功率的 YAG 激光器能轻松地切割金属却不能穿透一张纸的厚度，而一定功率的 CO2 激光
8、器能轻易地切割木材塑料却不能切割一张铝箔网穴中残余的墨膜囤积物 多为非金属材质而网纹的材料多为金属，这就为激光材料选择性的应用提供了空 间，采用 CO2 激光清洗技术可以成功地对囤积物进行汽化却对网纹丝毫没有破坏 5。 激光清洗技术具有如下特点: （1） 它是一种 干式 清洗，不需要清洁液或其它化学溶液，因此没有化学清 洗产生的环境污染问题，并且清洁度比较理想； （2） 清除污物的范围和适用的基材范围十分广泛； （3） 激光清洗是一种非接触加工，可方便地实现远距离操作，如通过光导纤 维传输，清洗有些方法不易达到的部位并且可避免传统清洗方法的近距离操作对 清洗物体表面的机械作用力容易损伤物体表面
9、的缺点； （4） 通过调控激光工艺参数，可以在不损伤基材表面的基础上，有效去除材 料表面的不同类型的污染物，使表面干净如新此外，激光清洗还可以方便地实现 自动化操作，符合智能印刷； （5） 激光清洗设备可以长期使用，一般只需要电费和维护费用，长期使用的 运行成本比较低； （6） 激光清洗技术是一种绿色 清洗工艺，对环境基本上不造成污染 该技术还有望应用于国产压延铝板表面凹坑内油脂的清洗，适合于 PS 版或 CTP 版的生产线中铝板的预处理工艺。 5激光技术在汽车工业中的应用: 在汽车工业中 , 激光加工通常以切割为主。激光切割一般采用基模或低阶模大 功率器 , 激光束经聚焦后具有极高的功率密度
10、, 可使材料产生汽化或熔化现象。由于 金属表面对于波长为1016L m 的 CO 2 激光反射率高 , 为了提高切割速度和切割质 量, 在切割金属工件往往吹送氧气或压缩空气, 以提高切割效率 , 而在切割易燃材料 时则吹送氮气等惰性气体以防止燃烧。6 激光切割具有许多优点 : 1 缝窄 (011mm 015mm , 节省材料 ; 2 工件热变形小 ; 3 只须定位而不需夹紧、划线, 工件无机械应力及表面损伤; 4 能切割脆性材料 , 和极软、极硬的材料 , 包括淬火钢 ; 5 切口平行度好、切边洁净 , 可直接用于焊接 ; 6 切割速度高 (可达 10m? m in 以上 , 无工具磨损 ;
11、7 易于实现数控或计算机控制, 并可多工位操作等。 现代激光切割技术已经发展成完备的激光切割系统, 除功率大、模式好的激光 器外还配有滚珠丝杠传动的高精度工作台, 由计算机控制 , 通过多坐标联动可以实现 各种复杂的平面或空间图形的切割, 甚至还研制出加工精度更高、柔性更好的激光 切割机器人。 7 在许多国外汽车制造公司中, 激光切割技术的应用非常普遍。如在样车研制和 小批量生产中 , 常使用三维以上的激光切割加工系统, 切割各种板件。在生产线上, 则采用激光切割机器人对已经冲压成型的部件进行在线立体切割。高效激光切割系 统的应用 , 大幅度缩短了新车的研制时间和汽车的生产准备周期, 使生产实
12、现了自动 化和柔性化。据报道 , 汽车制造中激光切割加工比传统机械加工方式的加工费用减 少了 50%左右, 且生产效率也得到了大幅度的提高。13 可以预见 , 随着消费者对汽车日趋个性化的追求, 小批量、多品种必然成为汽车 制造的潮流 , 且随着科技的发展 , 激光切割系统质量不断提高、价格逐渐下降, 激光 切割技术将在汽车工业中获得更加广泛的应用。14 此外，汽车工业还使用到激光焊接，激光表面改性，激光检测，激光快速成 型，激光毛化技术 , 激光熔覆技术等等各类激光技术。15 6.激光在军事上的应用： 6.1战舰用激光测距仪，是激光在海军最成功的也是最主要的应用，他主要和 电视跟踪器、红外跟
13、踪器和大型计算机组成光电火控系统。这个火控系统在小型战 舰上可以作为主要火控，在大型战舰可以作为辅助的火控系统。8 出来水面战舰用激光测距仪，潜艇潜望镜也用的激光测距仪，可见，这个测距 技术也是激光在军事上运用比较成熟的一个例子。 6.2不过激光在军事上运用最成熟的应该是激光制导武器，如激光制导导弹， 激光制导炸弹，激光制导炮弹，激光制导鱼雷等等。 激光制导导弹由三部分组成：导引头，战斗部、尾翼。激光制导导弹并不能发 射激光，主要是接受激光。激光和导弹也不是安装在一块的，它的发射作用于两架 飞机：一架叫激光照射机，一架是导弹携带机。激光照射机常在万米高空作业，它 完全避开了地面火炮（导弹）的射
14、程；激光照射机在对地面欲打击目标进行照射 后，激光制导导弹的引导头立即接收到了回射的激光，经过滤光片由聚焦透镜聚焦 到探测仪上，形成误差信号；误差信号再经计算机变成控制信号，再传送到另一飞 机的执行系统最终操纵导弹飞向打击目标。还有反坦克和反舰两种。9 所谓激光制导，就是以激光为信息载体，把导弹、炮弹或炸弹引向目标而实施 精确打击的先进技术。精准，是激光制导武器的鲜明特点，由于激光的单色性好， 光束的发散角小，敌方很难对制导系统实施有效干扰，因而使它具有了其他制导方 式无法匹敌的优势。 激光制导通常有 “ 视线式 ” 和“ 寻的式 ” 。“ 视线式 ” 的典型代表是激光驾束制导，“ 寻 的式”
15、 的典型代表是激光半主动式寻的制导，也是目前最常用的激光制导方式。激 光驾束制导简言之就是激光制导系统瞄准目标并连续发射激光，位于弹尾的激光接 收器接收激光，控制弹体像“ 骑” 着激光一样沿光束中心飞行。激光制导武器自问世 以来，便在现代战争中大显身手，备受世人关注。目前，世界各军事强国都纷纷加 强激光制导武器的研制。从激光制导技术的发展来看，其多样化的发展趋势十分明 显：智能化 让激光主动寻的。远程化增大作用距离。小型化 减小制导系统的 体积和重量。复合化 着力发展复合制导。 此外，激光制导武器还在向采用对人眼安全波段、新的激光编码方式、以及标准化和模块 化方向发展。 现代激光技术在军事领域
16、的广泛应用不仅可以提高现有常规武器的精确打击能力，还可 为军队提供新型战术战略武器。激光技术在军事上除上述应用外还有许多其他应用，诸如激 光拦截、激光防护、激光对抗、激光引信等等。它们的成功应用将大大提高军队在高技术战 争中的对敌打击与自我防护能力。同时，激光技术的民用化也大大促进了民用科技的迅速发 展,如激光测速、激光反伪、反偷拍等都将逐步替代这些领域原有的仪器或技术。10 此外，激光技术在光纤通信，船舶维修，在作物育种，在材料加工领域等等方面的发展都 是很可观的，未来发展的潜力也是非常巨大。 激光，自从人们认识到它优异的特性以后，便把激光用于各个行业的工业生产，军事，科 技探测。随着激光技
17、术研究的逐渐深入，那些现在才刚刚技术起步的技术，如激光合金化与熔 覆，激光毛化，激光纳米材料等，这些技术还有很大的发展空间，未来也会有推进我国工业生 产技术革新，提高生产率。随着军用激光技术的不断成熟，不但可以使我们军事力量的提升， 更加在战术，甚至在战略上对我国军事部署有重大意义。 随着科技的发展，激光技术必将得到更加广泛的应用于我们世界的各个方面，使人类的科 技不断进步。 文献： 1孟献丰，陆春华，倪亚茹等、激光技术的应用与防护J、红外与激光工程，2005 ， 34(2 ：136-141 2任宗刚、 激光技术在焊机中的应用J、本钢技术，2011 ，1：39-41 3杨洪星，刘晓伟，陈亚楠等
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