《模版环境影响评价全本江苏华盛天龙光电设备股份有限公司“多晶硅铸锭实验示范工厂项目和产400台单晶硅、多晶硅、单晶硅晶体生长炉，150台单晶硅切割机床，150.doc》由会员分享，可在线阅读，更多相关《模版环境影响评价全本江苏华盛天龙光电设备股份有限公司“多晶硅铸锭实验示范工厂项目和产400台单晶硅、多晶硅、单晶硅晶体生长炉，150台单晶硅切割机床，150.doc（39页珍藏版）》请在三一文库上搜索。
1、JTEM 42070-2012建 设 项 目 竣 工 环 境 保 护验 收 监 测 报 告（2015）环监（综合）字第（ ）号 项目名称： 多晶硅铸锭实验示范工厂项目和年产400台单晶硅、多晶硅、单晶硅晶体生长炉，150台单晶硅切割机床，150台单晶硅切方滚圆机、100台多晶硅铸锭炉，60台单晶硅籽晶炉迁建项目 委托单位： 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 金坛市环境监测站 2015年1月 承担单位：金坛市环境监测站站长：虞 晖项目负责人：陈 辉报告编写：陈 辉审 核：李雨来签 发：谢惠琴 参加人员：王 俊、陈 辉、刘小丽、沈留祥等 金坛市环境监测站（负责单位）电话：0519-82321153
2、传真：0519-82321153邮编：213200地址：金坛市北环东路96号 目 录1、前言12、验收监测依据23、建设项目工程概况33.1建设项目基本情况33.2建设项目生产工艺、设备、原辅材料及产污情况63.3污染物排放及防治措施153.4环保措施落实及运行情况汇总224. 环评结论及环评批复意见234.1 环评主要结论和建议234.2 环评批复意见235. 验收监测评价标准245.1废水排放标准24 5.2厂界噪声标准24 5.3总量控制指标246、验收监测内容246.1 验收监测期间工况246.2 污水监测256.3厂界噪声监测276.4总量核算277、验收监测数据的质量控制和质量保证
3、307.1 质量控制和质量保证措施307.2 监测分析方法308、环境管理检查319、结论和建议339.1 结论339.2 建议34江苏华盛天龙光电设备股份有限公司多晶硅铸锭实验示范工厂项目和年产400台单晶硅、多晶硅、单晶硅晶体生长炉，150台单晶硅切割机床，150台单晶硅切方滚圆机、100台多晶硅铸锭炉，60台单晶硅籽晶炉迁建项目验收1、前言江苏华盛天龙光电设备股份有限公司为持续改进自己所产多晶硅铸锭炉质量，也为下游多晶硅片生产企业培训合格的生产及技术人员，决定在公司现有厂区内实施多晶硅铸锭实验示范工厂项目。该项目为光伏设备及元器件制造业（C3825）。示范工厂建成后，可年产1200万片的
4、太阳能多晶硅片。本项目产品具有硅片尺寸大、铸锭周期更短、原材料利用率高等特点。其技术达到国内领先水平，与世界太阳能光伏产业先进水平同步。太阳能级硅晶片是制作太阳能电池的核心材料，产品被广泛应用于航天、通讯、交通以及偏远地区居民的生产、生活供电等领域，还可以应用于太阳能灯、草坪灯和屋顶太阳能光伏发电等新的领域。本项目产品多晶硅片是太阳能光伏产业的重要组成部分，是技术含量高、资金投入大的一个环节。其发展水平、速度和规模，直接影响到太阳能电池和电池组件的生产规模和成本，也会影响到太阳能发电事业的推广范围、速度和效益。江苏华盛天龙光电设备股份有限公司（原名常州华盛天龙机械有限公司、江苏华盛天龙机械股份
5、有限公司）成立于2001年12月，并于2009年12月在深圳证券交易所上市，其证券简称为“天龙光电”、证券代码为300029，公司注册资本2亿元，是一家专业的光伏设备研发生产企业，也是目前国内太阳能电池加工设备领域中产品种类最齐全的企业之一。公司目前的主要产品包括单晶硅生长炉、单晶硅切断机和单晶硅切方滚磨机等光伏设备，覆盖了人工晶体生长和加工的多个工序范围。公司已实现批量生产的产品和在研项目的技术水平在国内同行业中处于领先地位，部分达到国际先进水平。公司累计承担省、市级科技项目3项，获得国家知识产权专利10项，正在受理专利申请9项，拥有专有技术1项。2008年，公司85A型单晶炉还获得江苏省科
6、技进步三等奖。公司先后获得江苏省民营科技型企业、江苏省百强民营科技企业、江苏省高新技术企业、常州市民营科技型企业等多种荣誉，被江苏省发改委评为“江苏省人工晶体设备工程中心”，并被江苏省科技厅、江苏省财政厅等部门联合认定为高新技术企业。公司已通过ISO9001:2000质量管理体系认证。2009年12月25日，公司在深交所正式上市，由此成为全国光伏生产设备制造行业首家上市公司，常州市首家成功登陆创业板的企业，同时也是金坛第一家上市公司。面对光伏行业的发展前景和金坛良好的投资环境，公司在市委、市政府的领导下，在全体员工的共同努力下，充分发挥自身优势，将打造成一个高标准、高效率的国际化上市公司，跻身
7、世界一流企业之列，创造出最高的经济效益和社会效益，为世界光伏行业的发展作出更大的贡献。为了严格贯彻执行国家、江苏省及常州市有关环保政策、法规的要求，江苏华盛天龙光电设备股份有限公司委托常州市环境保护研究所编制了年产400台单晶硅、多晶硅、单晶硅晶体生长炉，150台单晶硅切割机床，150台单晶硅切方滚圆机、100台多晶硅铸锭炉，60台单晶硅籽晶炉迁建项目环评报告表，委托江苏久力环境工程有限公司编制了多晶硅铸锭实验示范工厂项目环境影响报告书，并分别2008年4月11日和2012年8月7日通过金坛市环保局审批，项目工序已基本建设完成，投入生产阶段，目前企业生产工况稳定，具备了环保“三同时”竣工验收监
8、测条件。根据国家环保总局第13号令建设项目竣工环境保护验收管理办法等文件的要求，受江苏华盛天龙光电设备股份有限公司委托，金坛市环境监测站组织专业技术人员于2013年5月对该项目工程建设现状、污染物排放、环保治理设施的运行等进行了现场勘查和调研，并编制了本项目竣工验收监测报告。2、验收监测依据建设项目环境保护管理条例（国务院令第253号令）；建设项目竣工环境保护验收管理办法（国家环保总局第13号令，2001年12月）；关于建设项目环境保护设施竣工验收监测管理有关问题的通知及其附件关于建设项目环境保护设施竣工验收监测技术要求（国家环保总局200038号）；江苏省排污口设置及规范化整治管理办法（江苏
9、省环境保护局，苏环管97122号）；江苏省排放污染物总量控制暂行规定（省政府1993第38号令）；江苏华盛天龙光电设备股份有限公司年产400台单晶硅、多晶硅、单晶硅晶体生长炉，150台单晶硅切割机床，150台单晶硅切方滚圆机、100台多晶硅铸锭炉，60台单晶硅籽晶炉迁建项目环评报告表（常州市环境保护研究所，2008年4月）江苏华盛天龙光电设备股份有限公司多晶硅铸锭实验示范工厂项目环评报告书。（江苏久力环境工程有限公司，2011年7月）；“关于对江苏华盛天龙光电设备股份有限公司多晶硅铸锭实验示范工厂项目项目环境影响报告书的审批意见”（坛环审2012120号，金坛市环境保护局，2012年8月）。3
10、、建设项目工程概况3.1建设项目基本情况项目名称：多晶硅铸锭实验示范工厂项目和年产400台单晶硅、多晶硅、单晶硅晶体生长炉，150台单晶硅切割机床，150台单晶硅切方滚圆机、100台多晶硅铸锭炉，60台单晶硅籽晶炉迁建项目验收 建设单位：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司；项目性质：新建和迁建；人员编制：全厂人员100人；工作制度：年工作约300d，8h/班，四班三运转，年工作时数7200h。 本项目产品方案见表3.1-1，项目多晶硅片规格表见表3.1-2，主体工程、公用及辅助工程等见表3.1-3。本项目选址于公司现有厂区内建设，一方面可就近利用现有项目所产多晶硅铸锭炉，另一方面也便于向公司多晶
11、硅铸锭炉的潜在客户展示公司产品性能。项目的建设可在一定程度上延伸公司现有产品的生产线、优化公司产品结构，也可帮助现有项目所产的多晶硅铸锭炉做大市场。项目已基本建设完成，目前企业产负荷在75%以上，项目已具备竣工环保部分验收监测条件。表3.1-1项目产品方案序号车间/工段名称产品名称及规格设计能力运行时数h/a1多晶硅片生产线多晶硅片1200万片/a7200 表3.1-2 项目多晶硅片规格表序号项目指标1长度156mm2宽度156mm3厚度20020um4倒角12mm5电阻率1-3cm6少子寿命2us7氧含量11018at/cm38碳含量51016at/cm3表3.1-3 主体工程、公用及辅助工
12、程等项目名称建设名称设计能力备注主体工程生产车间多晶硅片1200万片/a本项目拟在公司厂区西南侧新建一幢两层、总建筑面积约13200m2的综合楼，生产车间集中在一层，二层用于办公及仓储等。贮运工程原料及助剂3600 m2位于新建厂房二楼成品库1800 m2内部周转电梯及电动行车外部运输公路运输辅助工程机修车间2200m2利用公司现有工程中心办公用房1200m2位于新建厂房二楼（只限本项目管理人员）食堂等7800m2公司现有公用工程给水81000m3/a来自当地自来水管网排水45000 m3/a最终送金坛市第二污水处理厂集中处理供电系统1800万kWh/a 项目在厂房一楼设单独变配电室供气176
13、t/a公司在铸锭过程中用的氩气保护气，外购。循环冷却水198万m3/a建一套能力400 m3/h的密闭型冷却塔等循环系统环保工程废气加强车间通风废水处理公司生产废水经沉淀、过滤去除少量多晶硅屑后与生活污水及车间地面冲洗水一起进行生化处理。循环冷却系统排水及纯水系统排水经收集后进区域雨水管网，最终就近排入尧塘河。经公司预处理的废水再经金坛市第二污水处理厂集中处理后达标排入尧塘河。固废处理废切削液：交专业公司分离、提纯后利用。废多晶硅屑（块）：交专业公司回收、清洗后利用。包装桶、袋：交物资回收公司部门回收，实行综合利用。废玻璃、废坩埚：交相关企业综合利用。生活垃圾和生化污泥：交环卫部门卫生填埋处置
14、。全部综合利用或安全处置噪声处理噪声较强设备均置于室内，噪声经厂房隔声、距离衰减后排放，部分设备装有减振垫等。厂界达标景观水池约2000 m2（已有）绿化13600 m2（全厂，已有）全厂厂区绿化率约8%。3.2建设项目生产工艺、设备、原辅材料及产污情况经现场踏勘核对，各产品具体工艺流程、原辅材料消耗、产污环节等与环评所述内容基本相同。故本项目相关内容具体可参见环评报告。3.2.1建设项目生产工艺1、坩埚喷涂将方形石英坩埚准备好，在坩埚内表面涂一薄层Si3N4涂料（将Si3N4和水调和后高压喷涂），烘干，以防止铸成的晶锭与坩埚内壁粘连，影响晶锭的质量。2、装料装炉将不同电阻率的洁净硅原料根据电
15、阻率计算结果进行配比按工艺要求投入长方体石英陶瓷坩埚中，每次投料重量约500kg。将坩埚放入定向凝固法铸锭炉。3、熔铸、脱模熔铸过程包含多晶硅熔化、结晶、退火、冷却等工艺环节，均在熔锭炉中进行。按正常工艺，一炉熔铸时间共约62h。将冷却后的多晶硅锭和石英陶瓷坩埚一起通过行车从熔铸炉中吊出，然后手工敲碎石英陶瓷坩埚，获得长方体多晶硅锭。在整个熔铸过程中需通入氩气保护气，通入保护气是为防止炉中残留空气中的少量氧气氧化原料硅，氩气通入量为35L/min。熔铸炉在熔化、结晶、退火工艺环节均需用夹套冷却水，以冷却熔铸炉炉壁。4、开方将多晶硅锭切割成一定规格的长方体。开方（切方）在全自动电脑控制开方机上进
16、行，开方过程中需用切削液冲洗刀口，切削液冲洗起润滑和冷却作用。开方机自带过滤系统将切削液滤除颗粒物后循环利用，过滤过程产生的滤渣主要是废硅屑（块）。图3.2.1-1 项目生产工艺流程及物料平衡图(t/a)切削液主要成分为聚乙二醇和碳化硅（1：1），即将碳化硅微粉（经专用设备进行超细粉碎分级的微米级碳化硅粉体）搅拌到聚乙二醇中形成的悬浮液。5、检验采用寿命仪、万用表、氧硅仪、红外探伤仪等测试设备检测长方体硅锭是否合格，其中寿命仪、万用表、氧硅仪分别检测电频率、电阻率、氧硅含量和晶体缺陷。6、磨面、倒角通过精磨机对切方硅锭进行表面平磨和倒角，其中精磨可使柱面达到光滑、平整，倒角使锐利直角磨成圆弧形
17、，防止晶片边缘破裂及晶格缺陷产生。7、水洗采用水喷淋方式对平磨倒角硅锭进行冲洗，去除表面残留精磨颗粒物。8、切片将平磨倒角硅锭切割成规格为156mm156mm0.20mm 的硅片。在需切割硅锭表面涂一层粘结剂（环氧树脂AB胶，无挥发组分），以将硅块与玻璃板粘结在一起。固化粘结好的硅块用专用工具装入全自动电脑控制的多线切割机，被带着切割液的钢线切割成片。利用专用工具将成组的硅片与玻璃板分离。切片过程中需用切削液冲洗刀口，起润滑和冷却作用。9清洗先采用超声波清洗方式，以去除粘附在硅片表面的杂质和粘结剂，清洗用水中加入适量的硅片专用清洗剂（主要有效成分为十二烷基苯磺酸和聚醚），再用去离子水进行逆流漂
18、洗。将洗净的多晶硅片进行离心脱水，去除硅片表面残留水份。（超声波清洗原理是利用每秒钟上万次的机械振动，使超声波以正压和负压重复交替变化的方式传播，在清洗水中不断产生数以万计的微细气泡。由于正压和负压的作用，使气泡破裂时对空穴周围产生巨大的冲击，放出巨大的能量，从而去除粘附在表面的杂质，利用超声波清洗可达到比人工或机械清洗更好的效果。）10、检验、包装检验硅片尺寸、厚度、表面质量等指标。将成品硅片用海绵一隔一叠放置后，打包入库。 3.2.2主要设备见表3.2.2-1本项目主要生产设备见表3.2.2-1。表3.2.2-1 项目生产设备一览表序号名称规格数量（台、套）产地1多晶铸锭炉DRZF-450
19、520华盛天龙2烧结炉1陕西咸阳3开方机100KW380V2上海4磨面机380V2无锡5切片机58KVA380V20日本6分选机4KV380V2德国7倒角机2美国8纯水装置10t/h1国产9冷却塔400m3/h1 3.2.3建设项目主要原辅材料消耗情况见表3.2.3-1。本项目所用原料均来自市场采购，全部采用袋装、箱装或桶装，在质量满足生产要求的情况下，包装规格一般不作具体要求。所有原料分类储存于原辅材料库中，各种产品分类存放。建设项目主要原辅材料特性表见表3.2.3-2。表3.2.3-1建设项目主要原辅料消耗一览表原料名称耗用量t/a最大贮存量t/a物质形态包装方式储存方式多晶硅26030固
20、态袋装原料库仓储碳化硅770100固态袋装原料库仓储聚乙二醇77060液态桶装原料库仓储坩埚5010固态箱装原料库仓储氮化硅11固态袋装原料库仓储粘结剂31液态桶装原料库仓储清洗剂0.60.5液态桶装原料库仓储玻璃板225固态袋装原料库仓储钢线3000卷200卷固态箱装原料库仓储合计1876.6207.5表3.2.3-2 建设项目主要原辅材料特性表名称理化性质危险特性毒性、毒理多晶硅是单质硅的一种形态，灰色，有金属光泽。密度2.322.34。熔点1410。沸点2355。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和盐酸。室温下质脆，切割时易碎裂。常温下不活泼，高温下与氧、氮、硫等反应。具有半导体性
21、质，是极为重要的优良半导体材料。/聚乙二醇浅黄色-无色油状液体。平均分子量：300500，沸点大于250，pH值（1%水液）6-7，无刺激性，具有良好的水溶性，并与许多有机物组份有良好的相溶性。不易挥发。难燃。无毒、无刺激性。碳化硅又称碳硅石，也称金钢砂或耐火砂，因含杂质分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为3.203.25，硬度介于刚玉和金刚石之间。可用于单晶硅、多晶硅等线切割。氮化硅Si3N4分子量140.28,白色无定形粉末，含杂质时呈灰色，相对密度3.44(20），熔点1900。膨胀系数小，不溶于水，在沸水中缓慢分解。氮化硅是一种超硬原子晶体，本身具有润滑性，具有高强度、
22、高硬度、耐氧化、耐腐蚀和抗热冲击特性。氩气Ar惰性气体。分子量39.948。熔点-189.35，沸点为-185. 7。/氩本身无毒，但在高浓度时有窒息作用。当空气中氩气浓度高于33%时就有窒息的危险。当氩气浓度超过50%时，出现严重症状，浓度达到75%以上时，能在数分钟内死亡。液氩可以伤皮肤，眼部接触可引起炎症。36- -3.2.4建设项目产污情况3.2.4.1废水本项目所排废水有生产过程中的硅锭及硅片的清洗废水、车间地面冲洗水、生活污水，所排清下水有循环冷却系统排水、纯水制备系统弃水。 3.2.4.2废气 项目生产过程中除外排一定量的氩气及少量水蒸汽外，不产生废气污染物。 3.2.4.3噪声
23、 本项目设备的噪声源强一般，项目主要噪声源强及排放状况见表3.2.4.3-1。表3.2.4.3-1 项目主要噪声源强及排放状况序号设备名称数量台声级值dB(A)所在车间（工段）名称距厂界最小距离，m拟采取的治理措施降噪量dB(A)标准限值1排气扇675生产车间S，15隔声15昼间：65dB(A)夜间：55dB(A)2开方机270生产车间S，25厂房隔声、减振垫203磨面机275生产车间S，30厂房隔声、减振垫204切片机2070生产车间S，25厂房隔声、减振垫205冷却塔157冷却系统W，40选用低噪声设备/ 3.2.4.4固废产生和处理情况：项目生产过程中没有危险废物产生，所产生的固体废物有
24、破锭环节产生的废坩埚、切方切片过程中产生的废切削液等，基本都有回收利用价值。项目各种固废具体的产生及排放状况见表3.2.4.4-1。表3.2.4.4-1 扩建项目固废产生及处置情况一览表编号名称分类编号性状含水率%主要成分拟采取的处置方式综合利用数量t/a处理处置数量t/aS1废坩埚/固/陶瓷、石英做路基等51S2废切削液/半固/切削液、多晶硅屑等专业厂家分离、提纯320S3多晶硅屑/固/多晶硅屑专业厂家清洗后利用13S4废切削液/半固/切削液、多晶硅屑等专业厂家分离、提纯1290S5废玻璃/固/玻璃、粘结剂玻璃厂利用241污泥1/半固50多晶硅屑、水专业厂家清洗后利用302污泥2/半固75生
25、化污泥、水脱水干化后填埋0403废包装桶、袋/固/纸、塑料等回收并综合利用200生活垃圾/固/卫生填埋0703.3污染物排放及防治措施3.3.1污水排放及防治措施本公司排水实施“清污分流”和“雨污分流”制度，本项目运营期间排水主要有硅锭硅片清洗水、车间地面冲洗水、职工生活污水，废水总量约30000 m3/a；项目循环冷却系统排水和纯水制备系统排水为清下水排放。废水处理工艺的选取原则本项目废水COD浓度高于接管标准，但成分较简单，根据待处理废水的性质及接管要求，确定本项目废水处理工艺应遵循下列原则：（1）本工程的预处理工艺应以物化、生化手段为主，力求工艺简单、合理，操作方便，与开发区污水处理厂工
26、艺易衔接。（2）工艺废水中有机物污染物种类单一，且毒性一般，据此以COD指标作为处理工艺的主要指标。（3）在保证工艺的前提下，尽可能采用科学、可行的污水处理工艺，保证设备投资及运行费用最少。要在操作管理简单方便的保持高效，减少二次污染。（4）考虑到项目工艺废水在与本项目所产生活污水汇合后可生化性已能满足要求，现有项目的废水可满足区域污水处理厂的接管标准，为尽可能减少工程量、节省投资，不建议对现有项目废水进行处理。废水处理方案的选择项目需排放的废水有工艺废水、生活污水和车间地面冲洗水，其中生活污水与地面冲洗水经简单沉淀后即可满足开发区污水处理厂的接管标准，而工艺废水中因COD相对较高需经相应处理
27、后方能达到接管要求。公司采取如下处理措施：（1）使工艺废水携带的多晶硅屑在工艺前段（集水滤池）单独沉淀下来，并交专业公司进行回收利用。（2）为增加待处理废水的可生化性建议将工艺废水与本项目所产生的生活污水、地面冲洗水一并处理，经处理后的项目废水再与公司其它外排废水一起经调节水质、水量后接管。本项目废水具体处理工艺流程见下图。图3.3.1-1 项目废水处理工艺流程图工艺流程说明：车间工艺废水经管道收集后进入集水滤池，在集水滤池中磨面、倒角及切片过程产生的多晶硅屑（块）大部分沉淀下来，少量在废水流出集水滤池时被出水口的合成纤维滤料截留下来；废水自流进入调节池，与项目生活污水、车间地面冲洗水在调节池
28、中混合，调节水质水量后进入水解酸化池，通过布水管在水解酸化池一端布水，废水在池内完成活性污泥对有机物的初步吸附。为避免污泥在池中沉淀，在池中设置穿孔曝气管，每班定时曝气四次，每次曝气10min。水解酸化池内置有弹性填料，为了使难以生物降解的物质转化为小分子量的物质，有世代时间长的微生物固着在填料上，提高废水的可生化性和后续生物处理净化效果。水解酸化池中的出水自流到接触氧化池中进行好氧处理，在生化池底布设微孔曝气器和穿孔曝气管，由好氧的生物菌种对污水中的好氧污染物进行降解。接触氧化池出水自流进入二沉池，利用自然沉淀原理，对出水进行固液分离。项目二沉池出水进入调节池，与公司现有项目废水在此调节水质
29、水量后接管外排。项目废水处理设施的处理规模为180m3/d。废水预处理效果及公司总的废水排放情况本项目废水处理设施处理效果、项目排水、公司最终排水的水质水量情况详见表3.3.1-2。表3.3.1-2 公司废水排放情况一览表（mg/L）类别本项目废水现有项目废水公司排水接管要求进水去除率，%出水废水量（m3/a）30000/450002500070000/pH69/69696969COD71644400416406500SS36732250250250250NH3-N4253219.435TN617529.413.750TP0.6 17 0.52.521.23LAS13 23 10/6.420由
30、表3.3.1-2中可见，项目实施后，公司废水经相应处理，出水可实现达标排放。 可行性、可靠性分析公司所产生的工艺废水中污染物只有多晶硅与聚乙二醇，多晶硅因密度相对较大（约2.3g/cm3），很容易通过沉淀去除，工艺废水主要污染物为聚乙二醇。据相关资料，在水体中，聚乙二醇不易被悬浮固体及沉积物所吸附，在20时，水解充分的情况下，可以在3天内完全降解； 8时，则完全降解需要514天。试验表明，酸化水解+生物降解处理聚乙二醇是非常容易的，经厌氧预处理的废水再在好氧条件下生化处理，聚乙二醇在14天内一般可以完全降解。可见，在好氧和厌氧条件下，聚乙二醇都是非常容易降解的。与项目类似的多家公司实践证明，本
31、项目废水处理工艺的处理效果可靠，废水经处理后满足开发区接管要求，可以进入开发区污水处理厂集中处理。在本项目设计过程中，为在初期节省废水处理工程投资，公司在充分调研的基础上拟将本项目所产生的各种废水委托给项目隔壁的常州华盛恒能光电有限公司预处理，处理达标后再经该公司接管口接入区域污水管网。常州华盛恒能光电有限公司现有废水预处理站处理的废水种类主要有含氟废水、含氮废水及与项目废水类似的含聚乙二醇等有机物废水（来自单晶硅片生产及清洗过程），处理工艺拥有聚乙二醇处理过程所需的酸化水解及好氧生化处理单元，且经酸化水解的聚乙二醇还起到为生物脱氮过程提供碳源的作用。常州华盛恒能光电有限公司废水处理设施规模达
32、1200m3/d，该公司目前实际需处理的废水量不到850m3/d，其中与项目类似的清洗废水量约180m3/d，而本项目废水量约为136m3/d，同该公司实际水量相加后，总水量也小于公司能处理的废水量。通过以上分析可见，本项目废水在常州华盛恒能光电有限公司自身废水总量变化不大的情况下处理项目废水是不存在工艺及能力问题的，也即项目临时委托该公司对项目废水进行预处理是可行的。在该公司增产、扩建时，本项目应立即自建废水预处理设施。开发区污水厂简介金坛市总投资7000多万元的开发区污水厂（金坛市第二污水处理厂）从2004年4月份开工建设，2005年投入运行，并于2008年按相关部门要求进行提标改造，目前
33、日处理能力达到4万m3/d，主要接纳工业区生活污水和工业废水。主要生化处理工艺为A/A/O系统和深度处理系统，工艺流程见图3.3.1-3。图3.3.1-3 开发区污水厂工艺流程图经提标改造后的开发区污水厂正常情况下尾水能做到稳定达标排放。3.3.2废气排放及防治措施本项目生产过程中没有废气污染物产生及排放，不需要采取专门的废气污染防治措施。项目在生产过程使用氩气，在多晶硅铸锭炉打开、排气管道或设备泄漏时将有一定量的氩气在车间扩散，虽然氩气无毒，最终对环境也没有影响，但局部含量过大时也易影响相关人员的呼吸，造成不良影响。故项目应注意：a加强车间通风，降低区域氩气的含量；b经常检查、检修各种铸锭炉
34、等装置及相关管道，保持整个装置系统气密性良好；c加强管理，所有操作严格按照既定的规程进行。采用上述措施后，可有效地减少生产过程中废气对车间作业环境的不良影响。3.3.3噪声及其防治措施为减小噪声对环境的影响，建议项目在工程设计上采取了以下措施：项目首先做好各种设备的型号、噪声级的调研工作，优先选用低噪声设备，并要求设备生产厂家按有关规定执行，将设备噪声控制在现阶段最低水平。其次要优化车间布局，高噪声设备尽可能布置在距厂界较远的地方，以减轻对周围环境的影响。在设备安装过程，提高机械装配精度，减少机械振动和摩擦产生的噪声，防止共振。在建筑设计中采取隔声减振措施，要注意减小设备之间振动的传递。3.3
35、.4固体废弃物及其处置 本项目产生的固废只有一般工业固废和生活垃圾，没有危险固废。 3.3.4.1废坩埚利用可行性分析项目在生产过程中约产生51t/a的废坩埚，其主要成份为陶瓷及石英，项目拟将其收集后交市政部门用于铺路做路基。据业主介绍，陶瓷及石英实际都是硅酸盐，只是其中的杂质成分、含量不同，但其中都不含对人对环境有害的物质。废坩埚的质地较坚硬，长期的水浸体积不发生变化，是一种良好的路基材料。公司的处置方法是行业内一般的处置法，是可行的。3.3.4.2废切削液及多晶硅屑回收利用可行性分析项目在硅锭及硅片切削过程中将产生约1710 t/a的切削液及硅屑（块）混合物，经设备配套的将置分离后可分别交
36、不同的公司进行处理。上述分离的多晶硅屑连同磨面倒角过程产生的多晶硅屑、废水处理过程产生的硅屑交专业公司清洗后利用，可返回本公司利用，也可出售给其它公司利用。大多数公司处理这类固废是自行配置清洗设备及人员，自行清洗后直接回用，本项目拟将清洗过程交专业公司完成是完全可行的。去除多晶硅后的切削液为碳化硅微粉的聚乙二醇悬浮液，两种成份的经济价值都较高，但需交专业公司分离并提纯后利用，这也是目前本行业废切削液的唯一处置方法，也是可行的。3.3.4.3废玻璃处置可行性分析项目在生产过程将产生约24t/a的废玻璃，废玻璃上粘有少量粘结剂。目前处理这类废玻璃的方法主要有两种：回收利用或填埋。玻璃回收利用是国家
37、鼓励的，也是目前一个较大的行业，本项目拟将其收集后交玻璃生产企业回用作生产原料，是完全可行的。3.3.4.4包装桶、袋综合利用可行性分析项目部分原料采用桶装或袋装方式，废桶（箱、袋）产生量共约200t/a，公司将其收集后交物资回收部门综合回收利用。 项目处理上述各类固废的方法符合国家固废处理技术政策，实现了固废处理的“资源化”、“减量化”，一定程度上体现了循环经济理念，减少污染物排放的同时，创造了一定的经济效益，同时也节约了部分资源，是完全可行的。3.3.4.5生活垃圾与污泥卫生填埋的可行性 生活和办公区产生一定量的生活垃圾，总量约为70t/a，公司拟收集后由环卫部门统一清运，最终送垃圾填埋场
38、卫生填埋。废水处理设施在运行过程中将产生约40t/a的污泥，公司拟将其干化后一起交环卫部门填埋，卫生填埋是处理生活垃圾与干化污泥通用的处置方法，方案是可行的。3.3.4.6固废临时堆放的污控措施根据项目固废的种类和形态，可采取的包装方式为桶装和散装。废切削液采用桶装，其它固废可采用散装或袋装等。各种固废不宜存放过长时间，尽快外运安全处置或综合利用。3.3.4.7固废处理经济可行性分析本项目废切液、多晶硅均具有很高的经济价值，相关公司要向公司交付一定的费用才可获得；废坩埚、玻璃、包装物处置过程属综合利用，公司也基本不需付费；项目固废处理运行费用主要为生活垃圾及污泥的清运处置费。3.4环保措施落实
39、及运行情况汇总经资料调研及现场勘察，项目环评及批复对污染防治措施要求及实际落实情况见表3.4。序号污染因素环评或批复要求实际情况1无组织废气项目生产中有一定的氩气及少量水蒸气排放，应加强区域通风，减少区域废气对周边环境的影响。涂装房抛砂除锈采用密闭的二级除尘系统，通过15米高排气筒排放，喷漆喷雾采用干式过滤，再经活性炭有机溶剂净化器处理后经过30米排气筒排放，焊接废气经收集后通过15米高排气筒排放。本项目抛砂除锈和喷漆、电焊全部委外处理，故不设有排气筒，其余同环评2污水本项目废水包括硅锭及硅片的清洗废水、车间地面冲洗水和生活污水，全部委托常州华盛恒能光电有限公司预处理后达到金坛市第二污水处理厂
40、接管标准后排入园区污水管网。同环评3循环塔冷却水循环冷却塔定期排放水作为清下水排入区域雨水管网。同环评4噪声消声、隔声建筑物隔声、距离衰减5固废生活垃圾由环卫部门统一清运处置同环评废切削液由有资质单位处置，废坩埚、废水预处理污泥、多晶硅屑、废玻璃、原料包装桶袋等固体废弃物综合利用。同环评6排污口雨水排放口1个，一般固废和危险废物暂存场所各一个。同环评 表3.4项目环评及批复对污染防治措施要求及实际落实情况4. 环评结论及环评批复意见4.1 环评主要结论和建议 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司多晶硅铸锭实验示范工厂项目环评报告书。（江苏久力环境工程有限公司，2011年7月）；4.2 环评批复意见
41、 “关于对江苏华盛天龙光电设备股份有限公司多晶硅铸锭实验示范工厂项目项目环境影响报告书的审批意见”（坛环审2012120号，金坛市环境保护局，2012年8月）。5. 验收监测评价标准5.1废水排放标准 接管口执行金坛市第二污水处理厂接管标准坛环管200826号），即pH6-9、SS250mg/L、 COD500mg/L、NH3-N35mg/L、TP3.0mg/L、总氮50mg/L、氟化物20mg/L，LAS执行CJ3082-1999污水排入城市下水道水质标准即LAS20mg/L.5.2厂界噪声标准 建设项目东、南、西、北四个厂界噪声排放执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008
42、）中3类区标准。具体见表5-1。表5-1 工业企业厂界环境噪声排放限值时段厂界外声环境功能区类别昼间（dB（A）夜间（dB（A）365555.3总量控制指标 总量控制指标见表5-2。 表5-2 总量控制指标见表种类污染物名称批复总量t/a废水废水量45000化学需氧量 18悬浮物11.3氨氮0.14总磷0.023总氮0.23LAS0.456、验收监测内容6.1 验收监测期间工况 本次竣工验收监测是对江苏华盛天龙光电设备股份有限公司多晶硅铸锭实验示范工厂项目环境影响报告书和年产400台单晶硅、多晶硅、单晶硅晶体生长炉，150台单晶硅切割机床，150台单晶硅切方滚圆机、100台多晶硅铸锭炉，60台
43、单晶硅籽晶炉迁建项目环境保护设施建设、管理、运行及污染物排放的全面考核，通过对环保设施的处理效果和排污状况进行现场监测，以检查各类污染防治措施是否达到设计能力和预期效果，并评价其污染物排放是否符合国家标准。验收监测期间各设施运行正常、工况稳定,符合验收监测要求。6.2 污水监测6.2.1监测内容 废水监测因子及内容见表6-1。表61 废水监测点位、项目和频次监测点位监测项目监测频次处理前废水收集池pH、COD、SS、氨氮、TP、总氮、氟化物、LAS 每天3次，监测2天接管口pH、COD、SS、氨氮、TP、总氮、氟化物、LAS每天3次，监测2天6.2.2监测结果与评价 本次污水验收监测结果见表6-2。