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1、常用气体中英文对照名称符号 中文名称 英文名称 HF 氟化氢 hydrogen fluoride BF3 三氟化硼 boron trifluoride WF6 六氟化钨 Tunglsten Hexafluoride NF3 三氟化氮 nitrogen trifluoride SF4 四氟化硫 Sulfur Tetrafluoride CLF3 三氟化氯 Chlorine Trifluoride POCL3 三氯氧化磷 Phosphorus oxychloride HF 氟化氢 hydrogen fluoride BF3 三氟化硼 boron trifluoride WF6 六氟化钨 Tungl
2、sten Hexafluoride SF4 四氟化硫 Sulfur Tetrafluoride CLF3 三氟化氯 Chlorine Trifluoride POCL3 三氯氧化磷 Phosphorus oxychloride PH3 磷化氢 phosphine C4F6 Hexafluorobutadiene CH2F2 二氟甲烷 Difluoromethane C5F8 八氟环戊烯 octafluoroyclopentene CH3F 氟代甲烷 methyl fluoride(r41) SF6 六氟化硫 Sulfur Hexafluoride CO 一氧化碳 carbon monoxide
3、 H2 氢 hydrogen CL2 氯 chlorine F2 氟 fluorine HCL 氯化氢 hydrogen chioride DCS 二氯甲硅烷 DiChlorosilane BCL3 三氯化硼 boron trichloride HBr 溴化氢 hydrogen bromide B2H6 硼乙烷 diborane GeH4 锗烷 germaniumtrtrahydride NH3 氨 ammonia O2 氧气 Oxygen SIH4 硅烷 silane SI2H6 乙硅烷 disilane TMB 三甲硼 Trimethoxy Boron(TMB) B(OCH3)3 TMP
4、三甲亚磷 Trimethyl Phosphite (TMP) P(OCH3)3 TEOS TEOS四乙基原硅酸酯 Tetraethoxysilane (TEOS) SI(OC2H5)4 ASH3 砷化三氢 Arsine O3 臭氧 ozone Br2 溴 bromine CLO2 二氧化氯 chlorine dioxide CO2 二氧化碳 Carbon Dioxide H2S 硫化氢 hydrogen sulphide HCN 氰化氢 hydrogen cyanide H2 氢 hydrogen CH4 甲烷 Methane NO2 二氧化氮 nitrogen trifluoride NO
5、一氧化氮 nitric oxide SO2 二氧化硫 sulfur dioxide BF3 三氟化硼 Boron Trifluoride HF 氟化氢 Hydrogen Fluoride NF3 三氟化氮 Nitrogen Trifluoride WF6 六氟化钨 Tungsten Hexafluoride SiH4 硅烷 Silane (SiH4) (Low Level) ASH3 砷化三氢 Arsine PH3 磷化氢 phosphine B2H6 硼乙烷 diborane SIH4 硅烷 SiH4 silane GeH4 锗烷GeH4 germaniumtrtrahydride H2Se
6、 硒化氢 H2Se Hydrogen Selenide TBA 特丁基砷化三氢 TBA Tertbutylarsine AsH3 砷化三氢AsH3 (干) Arsine Cl2 氯气 II Cl2 chlorine NO2 二氧化氮NO2 nitrogen trifluoride CLO2 二氧化氯CLO2 Cl2 氯气 III Cl2 chlorine Cl2 氯气 III Cl2 chlorine NO2 二氧化氮 NO2 nitrogen trifluoride HCL 氯化氢 HCI hydrogen chioride HF 氟化氢 HF Hydrogen Fluoride HCL 氯
7、化氢 HCI (低级别l) hydrogen chioride HBr 溴化氢 HBr hydrogen bromide HI 碘化氢 HI Hydriodic acid MMH 一甲基肼MMH NH3 氨 II NH3 ammonia COCL2 碳酰氯COCL2 Phosgene H2S 硫化氢 H2S hydrogen sulphide HCN 氰化氢HCN hydrogen cyanide N2H4 肼N2H4/Hydrazine H2S 硫化氢 H2S hydrogen sulphide H2S 硫化氢 H2S (低级别) hydrogen sulphide COCL2 碳酰氯-高范
8、围 XP COL2 Phosgene NF3 三氟化氮NF3 (CM4-Ponly) nitrogen trifluoride BF3 三氟化硼BF3 (低级别) boron trifluoride AsH3 砷化三氢XP AsH3 Arsine PH3 磷化氢 XP PH3 phosphine SiH4 硅烷XP SiH4 silane B2H6 硼乙烷 XP B2H6 diborane GeH4 锗烷XP GeH4 germaniumtrtrahydride COCL2 碳酰氯XP COCL2 Phosgene F2 氟F2 fluorine AsH3 砷化三氢/LL XP AsH3 (低
9、级别l) Arsine HBr 溴化氢 HBr (低级别) hydrogen bromide TDMAT 四(二甲基氨) 钛TDMAT Titanium dimethylamide Cl2 氯气Cl2 chlorine H2S 硫化氢 H2S hydrogen sulphide H2S 硫化氢 H2S (低级别) hydrogen sulphide H2S 硫化氢干 H2S/D hydrogen sulphide TBA 特丁基砷化三氢XP TBA Tertbutylarsine TBP 特丁基磷化氢XP TBP Tertbutylphosphine H2Se 硒化氢H2Se Hydrogen Selenide Cl2 氯气 Cl2 XP chlorine DMA 二甲基胺DMA NO2 二氧化氮NO2 nitrogen trifluoride CH3F 氟代甲烷CH3F methyl fluoride(r41) C5F8 八氟环戊烯 octafluoroyclopentene