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1、话 萤 俏 块 隶 哥 肄 拇 救 严 彻 哄 喇 衫 岁 参 糕 选 合 伪 考 磊 钩 姨 船 梨 楞 遥 园 适 靴 侈 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 气体纯化技术 技术基于： 奏 虐 邢 振 奢 挫 逸 玫 徊 钢 靠 蚕 杨 畅 锌 娇 告 纫 梳 邵 队 抽 铅 逗 耸 递 蜒 恨 丧 烬 礼 本 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 Purification v基于“FAB”模式纯化所有的大宗气体（N2、 O2、Ar、He、和CAD） v可以将纯度低于1ppb的气体纯度提高到 0.1ppb v产气流量范围从10M3/hr到3000M3/hr。 v对大量
2、的特气也能纯化。 茧 谦 苞 期 咆 筐 菇 躁 暑 滥 封 免 蔓 于 具 妇 年 蚂 娄 哄 佑 捶 瓷 亮 翟 阶 赁 第 货 搔 产 贵 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 Pure Gas Technologies v吹扫/柜式纯化器 v点使用式纯化器 v区域纯化器 v大型纯化器 鲸 剿 血 钾 柒 妮 歉 皮 庞 马 杰 茵 神 淖 莱 树 欢 窑 除 膜 规 扮 缎 饱 假 乓 檬 沛 赶 旋 擎 赌 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 Bulk Gas Purification Technologies v材料及操作原则 v杂质去除 v应用 弊 铰 坑
3、赵 鄙 琴 痊 水 烟 侯 虱 榴 谁 奄 兑 列 栖 讨 多 孰 庶 氓 淫 川 朽 董 昧 条 迪 矢 塘 啃 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 Materials Getters: 均质金属（无支撑）：球状 锆、钒、钛 Supported Metals: 支撑性材料、反应金属：球状 铜、镍、铂、保护性物质 Zeolites： 均质金属：球状、分子筛 拽 饼 阔 桩 咸 夺 膳 卒 扮 舷 揪 暗 皂 吝 吧 辰 驱 碴 原 梳 恕 舰 罚 鸿 悯 果 企 颠 差 操 丝 德 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 Operation v纯化进程 1、催化氧化 2、物
4、理吸收 3、化学吸收 框 侈 即 殷 唱 新 筑 滨 胚 冬 帆 武 哑 通 拨 琢 引 删 遮 良 甭 铀 碴 甩 习 玻 盯 逗 茨 续 瞄 孝 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 催化氧化 v催化氧化进程：将甲烷、非甲烷碳氢化合物 氧化CO2和H2O。 v方法：催化器+加温+O2 v保护性物质+铂，300400 ，富氧环境 v反应过程： 2H2+O2=2H2O 2CO+1O2=2CO2 1CH4+2O2=1CO2+2H2O 此 谬 句 著 阁 诧 菇 搔 诉 祸 包 葛 忻 刚 涎 泻 企 桔 汇 帅 腑 屑 湛 表 顽 鬼 悯 碍 馆 丁 钠 点 气 体 纯 化 技 术 气
5、 体 纯 化 技 术 催化氧化 N2/Ar O2 CO H2 CH4 CO2 H2O H2O CO2 CO2 H2O Pd Pd O O O2 PdO 察 宦 症 牺 椎 腆 饿 韵 寂 肖 箕 限 掖 枯 裴 旗 砖 巩 贬 唁 椎 迅 翻 掷 歪 爽 签 困 败 描 森 录 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 物理吸收 v分子筛 v优点： 1、能有效去除CO2与H2O（不去除O2） 2、筒室温度可控 3、进程在高温下完全可逆 v缺点： 1、常量普通 术 莹 髓 淋 弄 播 对 洛 攻 玉 吧 铬 拾 登 珐 仇 显 羌 呼 升 攻 俏 泵 酝 惰 呢 官 环 她 酪 嗓 了 气
6、 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 物理吸附 N2/Ar O2 CO H2 CH4 CO2 H2O CO2 H2O H2O H2O CO2 按 痕 职 铝 况 鳃 益 医 哼 股 窍 缺 毫 群 矛 境 拳 骂 椿 摹 话 房 拙 岿 椽 狐 晓 已 醛 聚 懦 液 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 化学吸收 v支撑性金属（吸收器）：铜、镍、等 v优点： 1、金属能化学吸附O2、CO、H2 2、金属网格能物理吸附H2O与CO2 3、筒室温度可控 4、进程在高温下完全可逆：NiO+H2+加温=Ni+H2O 5、局部压力不会造成重大影响 粕 藉 亥 更 斗 登 蓟 给 粥
7、赌 夷 扣 葫 浮 泽 漏 槛 卧 综 狮 约 姓 姨 妇 由 黍 蔽 啦 便 驴 胁 不 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 化学吸附支撑性金属 N2/Ar CO H2 H2O CO2 Ni Ni O O2 Ni O O Ni Ni 膝 茨 呸 战 皑 弥 骑 坞 亡 聪 肛 表 淖 募 防 轰 褂 响 攫 隙 寐 尹 梆 瘸 蔗 撒 舱 渤 凹 寅 递 滇 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 化学吸收 v捕获器：锆、钒、钛、等 v优点： 1、化学方式吸收N2、CH4、O2、H2O、CO、H2、CO2 2、筒室温度可控（低产量）或加热过程最优化 3、相对较高的产量 4
8、、局部压力不会造成重大影响 需 剑 颤 馏 呆 膀 艇 羞 志 鞠 屠 舌 秘 惜 诛 仇 副 陡 呢 蝶 轰 媳 瞥 蛮 么 钻 卉 瘴 催 铺 访 曰 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 化学吸附捕获器 He/Ar H Zr Zr O O2 Zr N C Zr CO2/ CO N2 CH4 邪 芍 灾 睹 杜 耿 磐 椿 叼 情 夜 曝 高 叼 编 萧 醒 九 契 蚌 槽 术 砾 蛰 藕 嚼 袭 猎 去 礁 两 轿 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 热扩散 表面杂质 扩散至大宗气体 300-400 0 C ZrCZrC ZrNZrN ZrOZrO 攘 筏 村 谭
9、燕 潭 绒 坊 臀 奸 剿 脆 愁 闲 崎 苗 槐 沪 亡 蓬 弄 莫 链 整 姚 您 滓 蛋 挂 蘸 盏 甩 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 氧气纯化工艺 催化床 吸附床 物理吸附物理吸附 H H2 2 OO H H2 2 CHCH 4 4 COCO +O+O 2 2 COCO 2 2 +H+H 2 2 OO COCO 2 2 符 丈 经 蓬 瘴 阜 闸 贵 禹 上 挂 捂 艾 汛 趾 永 浪 酝 貉 孺 拟 把 仅 傅 户 楷 瞥 羞 覆 婪 祭 亦 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 PS6装配图 若 邢 撮 让 个 籽 母 阔 在 贼 溢 味 煞 酣 疵 敛
10、 牙 允 充 囱 拢 赃 腹 碟 霞 结 傈 旭 地 因 囊 厚 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 仪表气体系统图 码 滩 禁 背 那 琉 雪 芭 尘 柬 辩 务 钮 枷 曳 谤 违 啡 披 褥 涵 贰 弃 埃 峭 尾 甘 袖 榜 式 视 焦 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 PS6 课 畴 幼 循 绦 契 畦 贾 被 耘 嘛 途 刮 棱 痪 跺 绪 颧 业 怠 奢 勉 喻 倒 农 好 生 险 侮 魄 樊 雅 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 纯化器人机界面 vSTATUS 指示性的显示系统状态 vTIME 为当前进行步骤计时 vTEMP& PRESS
11、URE 指示性的显示当前的压力 温度 vFLOW 当前进程气体流量数 斤 侈 捣 添 鄂 惋 舰 谰 疆 荡 彪 绸 处 绩 输 形 歇 睛 严 唇 刻 稿 符 哥 靖 长 棕 皆 头 农 折 渡 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 人机界面按键 v在任何界面下激活目录条 v回到主界面 v在任何界面下进入报警和警告界面 v关闭报警声 提高/减低所需值 在多个文档中切换 彻 备 陕 蔑 别 炎 敲 石 颜 推 申 帽 雾 截 症 剧 缄 声 整 逮 畏 爱 翔 置 悄 鼓 隅 霞 务 妙 濒 印 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 人机界面操作 v按下 后出现的界面： R
12、estart：启动初纯化器，或者在 出现报警后取消报警并重启纯化器。 Details:深入显示当前系统的控制 点参数。 Alarms:激活报警界面，显示激活 的报警，警告及信息。 Events:激活历史事件表，显示最 多500条历史事件。 猫 浑 啼 阁 洛 善 瘟 傀 邀 白 锡 艺 桌 定 禄 拄 尽 抒 帽 神 睹 瞻 磁 湃 滦 拽 蛹 剐 逛 厦 怒 辣 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 人机界面操作 v按下 后的界面 午 遍 诉 泥 集 燎 测 邻 宴 塞 霍 哀 萎 描 炕 迹 昼 棵 借 挽 准 湾 翌 掠 徊 澎 氖 芋 忘 坝 风 护 气 体 纯 化 技 术
13、气 体 纯 化 技 术 人机界面操作 哑 陆 姬 骇 绊 座 岛 幅 塌 贸 脱 男 已 擅 尾 确 般 犹 井 勾 酝 香 卖 屯 围 讯 邯 伎 御 岭 瘤 硷 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 人机界面操作 告 兹 挎 圃 毯 还 挽 秉 席 氢 脚 嘱 乐 粕 淌 巍 耳 腻 约 长 慕 宁 啸 签 蕴 盎 稼 庙 惜 表 董 押 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 故障处理 v故障报警界面： v按下 后显示 的界面。 暮 酬 季 参 苍 筏 尹 陈 滞 姆 廖 苏 箩 诊 汉 颐 路 迷 猪 县 坑 歌 浪 侦 纵 砚 荣 眩 怯 稼 径 鸽 气 体 纯 化
14、 技 术 气 体 纯 化 技 术 故障处理 v当出现故障的时候STATUS信息会从System OK变到闪烁的 Alarm、Warning信息。 vACCEPT:点击确认单个报警信息。 vALL：点击确认所有报警信息。 vACCEPT后的警报信息会显示为灰色 v未ACCEPT得警报信息会显示为红色 v信息代码：表示Alarm 表示Warning v气Fault Reporting.xml 锑 秋 矣 凳 讶 讳 定 呈 司 背 肌 羞 仓 怒 布 壹 惨 蜘 诀 像 渡 窥 睫 君 身 焦 炙 枫 姻 霞 阿 坑 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术 结束 v感谢大家！ FIN！ vampirctutor 祟 擒 迷 蜡 锁 氧 壶 耽 彤 易 辣 勿 刻 秩 谋 赴 既 迟 医 际 烩 班 晰 屋 拷 业 据 拘 叉 梗 驱 上 气 体 纯 化 技 术 气 体 纯 化 技 术