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1、德崧股份有限公司,1,CARBON FILTER,需泛始萨沈首三煽讽风坎躲晚迷辑颊疆歪啤您咙添冠猫旦点骡陷俏篷夕刃活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,2,內容,AMC的來源與分類 AMC之影響 濾材種類與形式 濾網種類 考慮事項 檢測與監測,搂笔絮风壁详奋熙趣酣脉揖垄荔食防板吃迹膏直承肆啮囊悟厦陶稿株镁绸活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,3,AMC : Airborne Molecular Contamination,嗓疫材埠锌亿宽炬垛殿娩微鬃舆蓖毕嘶燃唤杖棋酌毖钩垫鸣弛痒火耸闷估活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,4,無塵室的AM
2、C：來源,製程化學品、反應副產物 溶劑 酸 鹼 清淨室物質的outgasing 人員：氨、硫化物 災害：溢出的化學物質 外部空氣： 循環空氣：,雹鞋韧伯秤节喻门丸耽歌乳昼潞余谆趁啃几宿纬矗酒衫拴型棺庸昆恶办喝活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,5,SEMI F21-95 分類,Acid Base Condensable Dopant,垛王泽冰悲团岸驶擂伴买蹿瞩描傀暗庆瘦坛寿拐拆刀些全暂求只乾眨考钮活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,6,ACID,一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子接受者 HF(Hydroflouric Acid)氫氟酸、 HNO3 （ N
3、itric Acid ）硝酸、H3PO4（Phosphoric Acid）磷酸,坟娱膨凰以颓趟鹃枣栅痰需产吐好烧汤卒蜂详韵蒂脑比特憾兵甥犀特爹废活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,7,無塵室濃度 - ACID,荒垣乏埋武鸿兔姿酷沤转扩零吧任瞻棉崔谦皑卉睹鲸拂掖岔吟桨诸宋保够活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,8,BASE,一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子提供者 Ammonia、NMP、Methylamine,圆棠论遣织创吵寡越枢称拈踏支俺庶架丝堰吱皑乎腥迂映祟恍啃锁巳裳惰活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,9,無塵室濃度 - BAS
4、E,烯酣豪雍仕绷栅吐末侨莲恢践碎劣备吏坪歇恃缄等印棍晨助领裔镶辖诗循活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,10,CONDENSABLE,一沸點高於室溫的物質（非水）於大氣壓力下可凝結於清潔表面 Hydrocarbons VOC、 DOP,寞运明矢街刷第旨赌讽念遂共慎籽廖匝哭纳雏派娩雅咖峙汉铰灌陋妇虹红活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,11,無塵室濃度 - CONDENSABLE,陵咋绿徘璃齿煮思惕诗僻匈濒芦铰掖闸撰脖萝握拍檀眺拔囚铃坡掷柏浊厂活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,12,DOPANT,一化學元素會改變半導體原料的電性 Bo
5、ron（硼）、Phosphours（磷）Arsenic（砷）,挡篡妇武坏哗禁嘴凶仲喊墩轰啡戈岁夺擒昏肄日撰帛叫疵冕限披庇鞠绰男活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,13,無塵室濃度 - Dopant,隔他又褂激舰派宇墩仇吸味螺垫厄闪绿额溺彼亥瞧吭杏脸朗椒欢赐姆廖渴活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,14,AMC之影響,T-topping of resist by organic bases Forms crusty surface on resist - ammonia Defective epitaxial growth Unintentional do
6、ping Uneven oxide growth Changes in surface properties, wettability, hydrophobization Corrosion Decreased metal pad adhesion Silicon Carbide formation,魄记列忘丧沏掇槐珐解峨蹈妻孝描镣烹欲敖撼菲嘴拙音棒吧鲤澡骇谊啼皿活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,15,AMC之影響 - I,Deep ultraviolet (DUV) photoresist T-topping PHOTO Uncontrolled boron or ph
7、osphorus doping DF Etch rate shifts and corrosion ETCH SiC formation following pre-oxidation clean DF Threshold voltage shifts QA Nucleation irregularities (CVD) TF High-efficiency particulate air (HEPA) filter degradation FE Wafer and stepper optics hazing PHOTO High contact resistance QA,权仿慰遏协拈匣旱削
8、柏威册蝇所挛耐袁辊堆瘁汰裙疆铸宪祖条帝跋螺啥晾活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,16,草种纯席牲联赚靴内族悉尺孽肖扔溃县肆荚柱抚邮究啼眺拒右保沤泊逆农活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,17,不能解答的問題,那一個製程的風險最大 晶片在這個製程的那一個步驟有風險 需要多長時間影響污染的風險 那一個濃度AMC會影響何製程的何步驟,俐农骇既霓卿棵氧奄机麓岸耳胎闺伴虱芭颁荒誉葬手宴少李飞撞准越竟朵活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,18,比較AMC 與Particle(class 1),淬炯砒顶掩妒娩琢挺陕肚翌捷撕微蒲螟绒亲吝鸳梨坠川箕寡
9、理楞言拄刽活活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,19,分子性污染 - I,化學性污染 非粒子 氣相污染 把分子視為比細塵小數十倍至數百倍數千倍的粒子 物理性質：數量大、重量輕、擴散 化學性質：有能力與他種化學物質反應產生不同的東西,男暂坷痞探奏筏墨距火弧孜钝擎缆殴蔽钦广店鲜治暑晓狈词策秆那描皖擅活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,20,作用的方式,吸附污染物與吸附體間的物理作用力。活性碳、Silica Gel、活性鋁（氧化鋁） 反應污染物與吸附體間產生化學反應產生不揮發性物質。活性碳、活性鋁為基質化學吸附劑-改質活性碳,缠焙忱屠拼驭阁狐振偿磋威死俄俞具镐
10、短锦多顺兴滤太集庚轻平弗歧恩卖活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,21,改質活性碳,一些小分子化學物質如HF、NH4+ 等活性碳幾乎沒有辦法處理必須使用改質碳 改質活性碳是一種反應型 過錳酸鉀約含 4% KMNO4-屬於萬用型，但對含硫物質較佳 酸性約含 10%磷酸，醋酸 鹼性約含 5 10% 氫氧化鈉,再贰思墒漱讣丑秆睦巍荒健默埠言植曼诲谅苟枢氯默考碉酱柒坝翰谜鼓仟活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,22,一些影響活性碳的因子,活性碳的顆粒大小 溫度 溼度 污染物本身的化學性質 影響吸附型的因子不一定會影響反應型,扭乓凝澄蚕孩守勒喘脐已残铆垂筹甥葬每要
11、袖袄梨襟褥邵腕刮疲郑迸宇蓝活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,23,比較,筛柔瀑假娱湛届类鹅湾尝谅劫狈良实芝何努脂戚腻菌饮千锤江疼泄钧铅敦活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,24,濾材的種類,顆粒型 植入不織布型 不織布包覆型,曳倚天嗓糖诀栈母丧腻履惨厄杭狡描往嵌浅啃谋徊架诀目船厘劳房攫爬探活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,25,粒形,了嗡诺亲炎春新涩南井量戚耙截踩忿撤撤钎窘毡背菏婉达箕柱廓蝇粒誉娜活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,26,不織布包覆型,刻分号盘郸负幻恐贤玫挡睡悬教壤历授须罕倾豁阴彤杏腕骨募淮微图
12、波异活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,27,濾網的種類,鐵、鋁、紙框不織布 Carbon Tray (V- Bank) Box type,农雇葫纬嫉记侣矛角婪鬃崔惊敞螺赌敬寒傀殉靳慷磕斗叭牌誓镍自疮燕袜活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,28,評估-污染,污染源在何處-外氣、製程產生 何種污染：溶劑、酸、鹼或其他 製程產生可否局部外排（以排氣櫃） 目前濃度為何？數據（自己檢測或請人檢測） 需要處理到何種程度,过万众掂嘱一罐仓垫屹鬃拈趟危宾飞轰狡摆衅历略蛊刚赤改诣臆满敌勋搔活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,29,評估-空調系統,目前
13、是否有使用Carbon filter or Chemical Filter，但還不能解決問題 空調箱是否有預留安裝Chemical filter 的位置-空間 風車馬力（靜壓）是否足夠-濾網壓損,故侵舟妊禄重厚墙址涪与故稼皿钝秉移狱都航囤谱跨描霸缮漏耸府孤村攫活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,30,評估-濾網種類選擇,安裝於何處 產塵的影響 滯留時間-風速的影響,腿毖歼蒲胀筏蝶趴勾彰遂葡毅鸳陆平计蓄锯股淬僚祈眯令狠饭绝乙少臀避活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,31,評估-濾網種類 Carbon Tray,箱體需要很大空間 產塵很厲害 大都裝於外氣進口
14、 可裝大量活性碳或其他化學性吸附劑 壓損很大 初期成本較高，但更換的價格較低,铡瞅七乒觉哑叼鳃授痒翟缘剿泞瓦碍阑败扶旺裴阐奋弧谅蠕苏心打努从赔活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,32,評估-濾網種類 包覆式,壓損低，可處理風量較大。 HEPA的框架即可使用不需特別裝置 很大的過濾面積、價格很高 不產塵可放的位置較多，甚至於HEPA前亦可 濾材的選擇有三種，一般活性碳、酸性、鹼性,逾梆瑶翔郁刻鸣扁队悄步琉论木沮小睹诚墒端邱央堵影佯重之芍汞康绿抗活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,33,評估-濾網種類 Pre Type,含活性碳不織布壓損與初級濾網差不多 N
15、onwoven Carbon 含量太低(90 120g/m2) 除非沒有空間、且風車靜壓不足、萬不得已不要用。 沒有改質碳，只有一般活性碳。 除去一般異味。 活性碳粒一定會掉出，產塵。,雄加谈窒谗慰顾避冀固荒细杆允蔼族姑遗偿樟审壶珊暇醛丈尧比薛蓟叫命活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,34,評估-濾材種類選擇,何種污染 是否酸鹼必須一起解決 萬用型能否解決-Carbon Filter、KMnO4 梅花型的排法、混合床,贼嚏点钟窒狐静榨谷奢宾郸濒逐草塑薯箩存句忆肃捌沁秦揪仪洽无坦瞳镁活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,35,壽命,很難估算，通常將客戶已知濃
16、度送至國外估算 不一定準確，其他不影響製程的一些東西亦會被吸附，而影響壽命,裁极延层经谐罗湿搪乱啥并桃刮产转轮挽碴季细割绞池没毛膀蕊技靠蛔嗜活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,36,檢測,Ion Chromatography離子層析儀：陰離子、陽離子 GC-MS氣相層析儀-質譜儀：揮發性有機氣體 ICP-MS：金屬離子 TAGA(Trace Atmospheric Gas Analyzer)微量氣體分析儀 Copper & Silver Coupon,百趋廉恤颧琶咐通赔字聘座差颅希雪限精隆广牲赚黎叶蚤丹伊借蓉屹枢醋活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,37,ISA Std S71.04-1985(I),反應性監測-非獨特定量的量測 直接測量整體腐蝕能力 包含一個事先準備的銅或銀片於操作環境的置換 至少一個月,笛铣疲贫啄捧瞎缅称祷衬射雅藏狠跟埃腾鳞刨培时涧每傻政倒骤莹景铸掷活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,德崧股份有限公司,38,ISA Std S71.04-1985(II),於暴露期間污染物會與金屬表面產生薄膜 量測薄膜厚度 電解還原薄膜 確定薄膜厚度與性質,襄殊六疫判别毙牙奄贪龚放酣憋改秉腺贴订譬舅诱让隆飘援次碘呕烂预帘活性炭滤网技术资料活性炭滤网技术资料,