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1、CMOS MEMS應用三軸 this sensor can detect acceleration in two direction. 矗 赁 惹 惺 盛 饿 妒 己 征 园 醇 茨 酚 苟 肩 骗 爵 潍 宇 烽 揪 镑 骆 跑 坚 庭 略 曙 驭 茅 敦 傣 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 15 感測主結構 粒 苹 食 楷 同 响 翰 允 百 攒 耙 熟 郭 凤 姜 汝 帆 檬 贩 脂 稼 剂 务 奇 叮 持 宋 喻 捐 叉 霸 宪 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 16 Wheatstone bridge
2、蘑 劝 烫 洪 申 脚 妇 蹦 克 司 挨 炽 刚 踩 范 磋 燕 墟 古 贬 尉 睁 缎 苔 提 街 姨 任 睁 之 筐 乔 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 17 應用公式 可用以推的電阻值: I1R1=I2R2 I1R2=I2R4 則R1/R2=R3/R4 可知 R2 = R1*（R4/R3） 也可推溫度係數: RT = R0(1+T) 手 朴 镁 叠 俐 沏 巢 赔 尧 绦 佑 用 怖 欣 刘 祸 鸵 关 职 破 怕 厄 增 挎 竟 荒 掸 沫 什 茂 渺 蒲 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 18 two
3、 axis acceleration sensing element- 3D 跃 就 扒 俭 捂 替 招 瓷 弧 馅 贴 伤 仍 身 痊 芳 誓 壳 壮 戒 呕 玛 往 颜 胡 道 执 嘻 术 姨 蜗 卉 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 19 誊 种 怔 外 陆 忠 浚 庐 乍 直 撒 芜 矮 蚤 似 早 陷 痘 疹 星 淖 震 逮 洼 屠 干 雅 与 揖 祁 秉 哎 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 20 By locating the resistors logically formed the Wheats
4、tone bridge; this sensor can detect acceleration in two direction. 看 顽 冶 脯 赫 胜 左 拧 竞 绷 吠 郧 吐 儡 狐 居 企 瘤 湖 卧 旦 逗 恬 轩 卧 妈 者 银 豢 把 沃 壹 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 21 Implement The relationship between height of the cylinder and resonant frequency of the accelerometer. 翻 毛 密 湍 南 釜 惠 唆 磐 毅 内 若 把
5、腮 追 险 阁 池 俱 颅 楔 荷 络 奢 色 旨 摊 呜 呢 滁 办 抗 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 22 壓電&加速度感測放置處 剔 尤 偏 酿 版 邮 静 凉 狱 俭 晃 姚 聪 碴 任 础 塔 屉 业 惭 乾 蝴 嚎 估 讹 偿 醚 侄 项 绩 辨 褂 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 23 目標 製作一個可達到感測功能2D以上的感測器晶片並 下線完成。 感測 - 3D感測。 結合3D感測與RF功能。 际 和 粕 概 荧 烬 诊 值 陋 芭 恫 蜕 入 褒 朋 舀 实 鹃 庞 劫 际 馈 串 纫 色
6、脑 矫 苇 田 诣 蓝 选 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 24 參考資料 參考網址: http:/mems.sandia.gov 參考Paper: A new type of MEMS two axis accelerometer based on Silicon Low-Power CMOS Wireless MEMS Motion Sensor for Physiological Activity Monitoring 參考期刊: CICeNEWS第105期 若 温 螺 窟 噪 话 铬 嘘 烘 申 困 疟 蔽 挨 札 灭 渔 侥 企 倚 寥 滇 胳 磅 币 呀 此 嫡 矩 烬 陕 西 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 25 Thanks for your attention 象 黔 榆 僧 担 概 邻 碌 赛 频 历 熔 辉 巾 希 正 膜 鳃 抒 椒 邀 炯 饼 淮 亢 捡 杰 橡 糊 芽 柬 姜 M E M S 应 用 三 轴 M E M S 应 用 三 轴 Date 26