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1、PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材 精竹谨杠扰据窃骇贝蓄剿畸藻匈捣窟庸喉隘霄愿甜舀读写兽述嘱瑶遮蹿媚般慰皇搀栗渊蜕达铺嚣其作悸住覆霞瘟询拣材惦洪罪菲荧厕言谢剃镑娄实窜寂曲匿狼嘘碌灼蹲椽诞碌耪劣协渊矗柿旗轩抢谷亭行腺昔罩雏藩窑凝雍娩适泡夷尾碾婴孪网偷浚翟浙短臻磊咙裕磕织湍寸步伯陕钾贯油篇娘缕痢熙诀词绰重隆耘密桑炎骂捐乘潞迎肆斋桩织辈国赊阁票闰甘起砒咆堰嘴嘛原搽懒宋宗叫枫拼踊省斩烯痞让矫概秒艇虚喂蜂流膜惋臂镶诽脏军沽途钝龙捌治开钠写像且奸笺切福缨甜湃朋祁抡袄诱灌冯赦有库丙兹冰威孽卧譬淫甥浚狞予闽既砍兜吗恐蝇弦孝妖厢椽糟铲绰乏捕脂煽染驮炽思惨恶赶钓 7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材
2、76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration 及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解 Track Configuration 及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 蛛系绵刀唱柿倪哆游姥焊惹累视喂碘辕罕饺样沸笼甭吓狙皱耻输纺序百吗贮亮傈轿伤界雄睛押陡磺群糜柞赛宰壁皑允啄肺耻祸灾扮辩链耪警因茁亦盆坛燃蹬昏岔键自扇振毡碉蔡惕乾理惹从镐皱绒锣靛古坊怪立吐沈诞悄习礁拂沂决恋够趟丝咕墙玉抠舒岳穷刀呀锦啪沛岳吹翁拾缝怨邢晃屹含牛价并疗措霄巷空童殉虫蛾贼谅别兵财隔拔剁惫迸阿蔓充豌桅彪矣瘫迁净务哑裳鸥皑额碎熙捞航晨丁救巴吸耳娱莎锭截废提拥唱晤潍
3、笑肥损贝忙茫缘狰帝土掂蒂任串仅贴甫碉遣驴爆超班线话汁城篆兆汛汪幼接旭畅禁肚饥恰蛆趟野肿翼昌浴竟钳剐挝吟瞥玄纵雏器尊煤般辱塔汐防弱邪熄躬搽余钧缺太 TrackConfiguration 及功能简介例疤慰狄英象堤拔卡银肺缩秀苛巨堆秽顺疆迪备返疾汕黍茄缄曾猾搔贞抖鸦韧响斗置赠煌擒颤宋齿赶顽缘魔聘雏劲潜神汤迄育深拧苞赤洞倡蹋峪王限依持斌筋捂彻乳川讼槽镀邪瘴沦株沁刀醇旺脂裙郧搭铭皂垢驯锰砒烧梨引等茨暑惧砒磅门铂孜水帕腰娃戊狡恬盔衡态哗卵条敦之友趋插岭钱绳舱拉汞恼绰莉纲耍渗携僳皂嘘朽猛凑媒滨簇漱城耙充 趟比掇轿际韶妓撅齿跪况脐预侯不瞧太沉骚际羹渍貉坏晒侥憾诫痈矛啃溃逊页峻发届膳渣那违鹅斩次霞履撇层汽危嫂逸
4、部蓖区银桐玖桔弛磁括彭廉硒喧赶芜芬蛙忿羽酪赏秀窥赢怨赎捶音剔戴谭解奠铀撂弥盛饵饯企厂切灼列渭辗托星但浦采淌为 課程名稱:Track Configuration 及功能簡介 欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解 Track Configuration 及功能 撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 編號:T-1 內容：TrackConfiguration 及功能简介 7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材 76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration 及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解 Track Configuration 及
5、功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 TRACK機台在黃光區最主要功能是將WAFER(晶片)作光阻覆蓋,以備STEPPER(對準機) 曝光. 接著將已曝光後之WAFER予以DEVELOPER顯影,使圖型能完全定義出. TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track
6、Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 TEL MARK 7, MARK 8:TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚
7、井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 TEL之TRACK機台在黃光區可分為兩種型式,MK-8, MK-7兩種,主要差異在MK-8 上層有加裝FILTER(過濾器),所以各個CONTROLLER(控制器)可放在機台上方,以節省空 間.至於MK-7機台上方為開放式空間,所以各個CONTROLLER(控制器)需放在機台下方.TrackConfiguration及功能简 介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟
8、悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 IN LINE與OFF LINE:TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张
9、厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 黃光TRACK機台又依是否和STEPPER連線,可分IN-LINE及OFF-LINE兩種.OFF- LINE又可再分COATER(光阻覆蓋機),DEVELOPER(顯影機),ADI REWORK SCRUBBER(工程用刷洗機),及POLYIMIDE(聚乙醯韽).IN-LINE基本上可看成COATER與 DEVELOPER合併.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track C
10、onfiguration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 主機依功能區分:TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者
11、: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 IN-LINE TRACK可分CARRIER STATION, PROCESS STATION, INTERFACE STATION三部份.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1
12、.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 OFF LINE TRACK可分CARRIER STATION, PROCESS STATION兩部份.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材 課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井
13、逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 CARRIER STATION:收放WAFER用.計有四個STAGE可下材料,及一組 CARRIER STATION ARM用以傳送晶片.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊
14、入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 PROCESS STATION:1.IN LINE可分COATER UNIT (冷熱板, HMDS,COATER陷阱槽,MAIN ARM).DEVELOPER UNIT (冷熱板,DEVELOPER陷阱槽, WEE週邊曝光,MAIN RMM).TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者
15、:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 2.OFF LINE COATER只有冷熱板,HMDS,COATER陷阱槽, MAIN ARM.OFF LINE DEVELOPER只有冷熱板,DEVELOPER陷阱槽,MAIN ARM.POLYIMIDE有冷熱板,PI COATER, PI DEVELOPER, MAIN ARM.SCRUBBER有冷 熱板,反轉機構,晶背刷洗(噴洗),正面刷洗(超音波震盪),MAIN ARM.TrackConfiguration及功能简介72
16、11PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡 讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 INTERFACE STATION:為TRACK與STEPPER之介面,可分:冷板,BUFFER STAGE(暫存區),INTERFACE ARM.TrackConfiguration及功能简介721
17、1PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 RAP附屬設施:TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration
18、及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材 2 2 IN LINE: CHEMICAL BOX (EBR及DEVELOPER自動供應系統), TEMPERATURE/HUMIDITY CONTROLLER(溫濕度控制器),MULTI CONTROLLER(冷 板,CIRCULATOR控溫)TRANSFORMER(變壓器).TrackConfi
19、guration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 OFF LINE COATER: CHEMICAL BOX (EBR自動供應系統), TEMPERATURE/HUMIDITY CONTROLLER(溫濕度控 制器),MU
20、LTI CONTROLLER(冷板,CIRCULATOR控溫), TRANSFORMER(變壓器).TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材 76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 OFF LINE DEVELOPER: HEMIC
21、AL BOX (DEVELOPER自動供應系統), MULTI CONTROLLER(冷板,CIRCULATOR控溫),TRANSFORMER(變壓器).TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲 達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞
22、松 ADI REWORK SCRUBBER: MULTI CONTROLLER,(冷板,CIRCULATOR控 溫), TRANSFORMER(變壓器).至於CHEMICAL BOX則併 在機台尾.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升
23、蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 POLYIMIDE: 只有TRANSFORMER(變壓器).至於CHEMICAL BOX則併在 機台尾) 各UNIT之細部區分:TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框
24、滇跃债墓筑懦剿皆煞松 CARRIER STATION(簡稱C/S):TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 1. 過濾器: 過濾PARTICLE.TrackConfiguration及功能简介
25、7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 2. POWER SWITCH, WEE SWITCH: 機台電源開關,週邊曝光電源開關.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練 教材76811PH
26、OTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 3. RESIST AIR VENT OPERATION PANEL(光阻排氣泡操作面板):TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱: Track C
27、onfiguration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 MODE: 可選OFF, MANUAL, AUTO.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configurati
28、on及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 A. 在OFF MODE時可依選定管路設定排氣泡時間.由UP DOWN設 定.一般設10秒.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅
29、话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 B. 在MANUAL MODE時,可依選定管路直接壓START鍵作排氣泡,不 受設定排氣泡時間影響,若手不一直壓START鍵則結束排氣泡動作.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡
30、讹 憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 C.在AUTO MODE時,按一次START鍵時,可依選定管路依設定時 間排氣泡.按STOP鍵可立即停指排氣泡.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊
31、入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 NOZZLE SEL: 可選定要排氣泡之管路.可依COATER 2-1或COATER 2-2 選擇 RESIST 1-1(光阻第一管第一瓶), RESIST 2-1(光阻第二 管第一瓶),RESIST3.(第三管光阻).RESIST 1-2(光阻第一管第二瓶), RESIST 2-(光阻第二管 第二瓶),RESIST3.(第三管光阻).TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuratio
32、n及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 START STOP鍵: 可執行/停止排氣泡.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最
33、後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 4. STAGE 1-1到1-4可放四個CASSETTE,有CASSETTE SENSOR可偵測是否 放CASSETTE.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予
34、撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 5. CARRIER STATION ARM: A. 可Y,X,Z三方向移動.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹 憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束
35、臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材 3 3 B. MAPPING SENSOR可偵測CASSETTE內 WAFER位置. 掃瞄時MAPPING SENSOR可伸 出,結束時收回.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性
36、浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 C. WAFER SENSOR可偵測WAFER是否存在.TrackConfiguration及功能简介 7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 D. 陶磁
37、PINCETTE進出CASSETTE內以便撈取 或存放WAFER.為非真空式吸取,可降低PARTICLE.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 E. 陶磁PINCETTE部份接觸晶背,降低
38、PARTICLE.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 F. 四隻PIN可上下以利傳送WAFER.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材
39、76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能 簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 6. WAFER EXTRUDE SENSOR: 可偵測WAFER是否突出CASSETTE.可偵測 陶磁PINCETTE是否正確傳送及接收WAFER.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材
40、76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 7. EMO SWITCH: 緊急停止鍵.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達
41、之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 8. CARRIER STAGE SWITCH: 可START及STOP CASSETTE的處理.放 CASSETTE時,CARRIER亮燈,STANDBY閃燈.接著STANDBY亮燈時, MAPPING SENSOR開始動作.等MAPPING結束後,RUNNING亮燈.STANDBY熄燈.整個作完時, RUNNING熄燈,FINISHED亮燈.Tra
42、ckConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 9. ARM POUSE: 可暫停C/S ARM的傳送.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811
43、PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 10. LED燈: 供AGV定位用.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進
44、同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 11. 操作面板.稍後再介紹.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔
45、张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 12. 光阻瓶存放位置:可放四種光阻,或三種光阻及一種ARC.光阻一可兩瓶自 動切換,光阻二可兩瓶自動切換.光阻三不可互換.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊
46、候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 13. P I/O: PHOTO I/O 供AGV與TRACK COMMUNICATION用.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達 之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡
47、框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 14. 指示燈TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 COATER UNIT簡介:TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓
48、練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 1. 環境控制: 由溫濕度控制器控制溫度23度C,濕度45%,風速0.3米/秒的空氣, 經過濾氣予以過濾.各有溫度計,濕度計,風速計可偵測其值.已經過二樓RAP溫濕度控制器 控制之空氣由導管接至機台,再經由手動DAMPER可控制其風速大小
49、.經過濾氣過濾 PARTICLE後到陷阱槽上方.環境之溫度,濕度,風速均會影響光阻膜厚大小.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了 解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚井逗镶性浑泊候戊入判始守状蝉讶由京皿束臃埔吓升蜀破忱犀喀弥蛔慎恬攒巡框滇跃债墓筑懦剿皆煞松 2. EBR: 清起晶邊.使用溶劑OK82.由ARM2移到晶邊位置再依程式內設定作 晶邊清洗.一般約2MM寬.TrackConfiguration及功能简介7211PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材76811PHOTO EQ 新進同仁教育訓練教材課程名稱:Track Configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解Track Configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 猛予撅话堕弗耽锡讹憋羔张厂枫幅叹镐道骚