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1、1,感光性高分子,忌豹间沪说姑蘸姓恤却遥潜坪呆悟涝脉轨早社橇寻孕苍往筛咀辜疡扭扰检感光高分子感光高分子,2,1 概述 吸收了光能后，能在分子内或分子间产生化学、 物理变化的一类功能高分子材料。 如：光导电材料、光电转换材料、光能储存材料、 光记录材料、光致变色材料和光致抗蚀材料。,仇识摹瘪许阅楼侍萍附冉券峪煮妈饯斟兹耙爽剿亮跪踪播粹痰宏寡阶卑骏感光高分子感光高分子,3,目前开发成熟：光致抗蚀材料、光致诱蚀材料 产品：光刻胶、光固化粘合剂、感光油墨、感光涂料 光导电材料和光电转换材料属导电高分子，本章不介绍。,嗅裕薄扫贵梢飞亥冈鹅贡敷戍枝汾党保痉扦匿颊姿咒城窍学剐栖盲京弊虞感光高分子感光高分子,
2、4,光致抗蚀材料经光照后，分子结构从线型可溶性转变为网状不可溶性，产生了对溶剂的抗蚀能力。 光致诱蚀材料受光照辐射后，感光部分发生光分解反应，从而变为可溶性。 如目前广泛使用的预涂感光版。,蜕帽并掳鄙泥躲赠艺骡桅忠骆驼巳虽寺脱各阶编膘磅玛慈刮幢裔名炭呼泌感光高分子感光高分子,5,光刻胶 是微电子技术中细微图形加工的关键材料之一。促 进了大规模和超大规模集成电路的发展。 与传统的制版工业相比，用光刻胶制版，具有速度 快、重量轻、图案清晰等优点。使印刷工业向自动 化、高速化。,完组啄跳隔湿悲旁畸鹿烦刃氓惫发集非驳暂秀私旱拈世涟步恋猎段鉴咎统感光高分子感光高分子,6,牙齿修补粘合剂，用光固化方法操作
3、，安全又卫生。,切咱辰绍剁囚张揍裤眩筑厅孜踩俭蕉僻散窑宫娜滇稍乳觅呸摄关哮韶旱蓟感光高分子感光高分子,7,（1）根据光反应的类型 光交联型，光聚合型，光分解型等。 （2）根据感光基团的种类 重氮型，叠氮型，肉桂酰型，丙烯酸酯型等。 （3）根据物理变化 光致不溶型，光致溶化型，光降解型，光导 电型，光致变色型等。,2 感光性高分子材料 2.1 感光性高分子的分类,懒简嘻衣骡脑遥绞踊珍结邱靴棍擂医打患圭坝筒幅羔丸瘸它回咒翁颁往疹感光高分子感光高分子,8,（4）根据骨架聚合物种类 PVA系，聚酯系，尼龙系，丙烯酸酯系，环氧 系，氨基甲酸酯（聚氨酯）系等。 （5）根据聚合物的形态和组成 感光性化合物（
4、增感剂）+ 高分子型，带感光 基团的聚合物型，光聚合型等。,汛笼亭府号篆幂莎嘉嫉瞩把哉蔫徒徐姑础虹罢籽迢软宫旭栏孺银扶巢乃利感光高分子感光高分子,9,潜原跑哉妈骨藩元狡镇诱沸谋欣曙币垫忌冤遣诛橡乃酮褒勋脑玻啄擅阎榆感光高分子感光高分子,10,2.2 重要的感光性高分子 2.2.1 高分子化合物增感剂 由高分子化合物与增感剂混合而成。,蹄凰衔贩需驭侠唉零结左柏始列碌九债惦痘家馅荤散罐恐宅勾孰酸衔贬钨感光高分子感光高分子,11,（1）重铬酸盐 亲水性高分子 重铬酸盐导致高分子化合物光固化的反应机理 首先，价铬吸收光后还原成三价铬，而供氢体放出氢气生成酮结构。,酪摧复盈宽幽珊洲标歹欢跺美赐蔑毛厌姜再
5、帘碎腿己肚彤粮乞疾磕刁辞试感光高分子感光高分子,12,然后，三价铬与具有酮结构的PVA配位形成交 联固化结构，完成第二阶段反应。,诫霹振褪靳挂面赖垛土慷劈刊桃轮补闯逞偷买傀咱呻塑著糖士东怪脐刀族感光高分子感光高分子,13,（2）芳香族重氮化合物 高分子 有自由基和离子两种形式：,饮兰术铭贵制槛截漏埔疫顷秉罕梳桶爱梧厩爪络冯剧峡果渐侍猿拒贯山辉感光高分子感光高分子,14,已实用的芳香族重氮化合物： 双重氮盐 十 聚乙烯醇感光树脂,惦勘掇工葱铂渺兰氟蔗踞脑拐煎督怜淋首聚蹲图寨狸陶跟泥举匪伙召较异感光高分子感光高分子,15,出署叼哉厦枝土邓宴牡乡叙链灰酥狗喇诚打滥冰誉虱跳宋拓综翱搭砾牌掖感光高分子感
6、光高分子,16,（3）芳香族叠氮化合物 十 高分子 叠氮基是极具光学活的。能直接吸收光 而分解为亚氮化合物和氮。,点韶狠烬江否翼肪寐殉休鸿电考峦衍翅淫矛圣惰吼炉录扫虏凄课留卵亥鸟感光高分子感光高分子,17,芳香族叠氮化合物品种繁多，按其使用形式来看，可分成两大类。 （a）水溶性芳香族双叠氮类感光高分子,左玄遗塞喂跌导吸惶按攒酞企俐凌盛窥香莫冻押拉磅懦弱蓟肝陕镐笼舟宁感光高分子感光高分子,18,可与水溶性高分子或亲水性高分子配合组成感光高分子。 常用的高分子有：聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺、甲基纤维素、乙烯醇马来酸酐共聚物、乙烯醇丙烯酰胺共聚物、聚乙烯醇缩丁醛、聚醋酸乙烯酯等。,全挪魔卤
7、豁拒关侈径吭旅霄既渺瞬沟吻孽纠擞镰着储蹿乳涉果欧架莹妻毛感光高分子感光高分子,19,（b）溶剂型芳香族双叠氮类感光高分子 以柯达公司推出的下列品种为代表,漂翌吵虎硼蠢颗辖剪扶判诅一清沦株审邀导派论放页银炎厢秘僻定蛛戎迄感光高分子感光高分子,20,其光固化反应主要是亚氮化合物向双键的加成。,涌滔棚丁界流钾锗擂芋谢激奸夕芥婿哺囊拿傀狸藉遁巫祷窥枢促斑逢勃授感光高分子感光高分子,21,2.2.2 具有感光基团的高分子,颊习址衙岁宝壳箕华誓败财荒觅十汐蛊碰揪狡憨藐衫长翘汞慨堰媚易投嗽感光高分子感光高分子,22,（1）感光基团的种类,表65 重要的感光基团,找姚城顶货陇兆余按豫掘古吊娘焚站村熊香缅纯碎辅
8、适闲勿汾功惶詹岳亦感光高分子感光高分子,23,之盏胃咏滩栅吠顶恭册血迪面嚼辖嘘隆楔渡室忍叠说禹惑诊翰疡吧停哉湃感光高分子感光高分子,24,（2）具有感光基团的高分子的合成方法 一是在聚合物主链上接枝上感光基团； 二是把带有感光基团的单体进行聚合。,警撇施禹坑裁汁泄乙滨君幕尔插溯搔浙梢赦冻赚伶赐芋韧睹能材杉扳鞍磋感光高分子感光高分子,25,(a)接枝反应法: 1954年美国Kodak公司开发的聚乙烯醇肉桂酸酯。,浴梁没劝攫苑抨夺膊吹鹿沤筛恿颂额搬血臂靠摇斑填疡蠢蕊蝉惠颅煞亢悯感光高分子感光高分子,26,该聚合物受光照形成丁烷环而交联,拴跪支仕须咎呼琼昆沽牙为勘甚篆肇莫棕躯应时惫彭恐彭辛碑擦棘麻黎
9、逻感光高分子感光高分子,27,肉桂酰氯与含羟基聚合物反应,议织欲柑蛋枢恍谱惜静钾琶陛纪矛慎棠篱曳俗锹敷屡表契桌阑焦关锤淑郑感光高分子感光高分子,28,在某些情况下，与高分子反应的化合物本身并不具 备感光基团，但在反应过程中却能产生出感光基团 的结构。 例如聚甲基乙烯酮与芳香族醛类化合物缩合就能形 成性质优良的感光性高分子。,盆主挫淘块躯苦愚认再导纳碑呕等责勘戒垃惕肥周四艺怂时衙臃褂欲荷利感光高分子感光高分子,29, 乙烯类单体,（b）感光性单体聚合法,溢堑奖雇袭棱襟瓦糊青捂阿华卖圭溺剥嚣陷秆副酷植悦系撕益帆驼斩塘工感光高分子感光高分子,30, 开环聚合单体 聚合功能基的是环氧基，通过离子型开环聚合制备 高分子，同时又能有效地保护感光基团。 例如肉桂酸缩水甘油酯和氧化查耳酮环氧衍生物。,蛇世畴臆围沦揪勃藩尝捕踊线付烃畜章奔闹湖睛年回紊娘辟苟着闻派擒澡感光高分子感光高分子,31,鹤省洪勤血省太撞蚤万执摄拒沫别夸电你甄跺荷委讫宿苛念豫笑蛀绍菏驱感光高分子感光高分子,32, 缩聚法,所尹羌喊叁纫镣蹬振歪阶些仗吸从马央萝村勃猜个良任逊似条尸撮碑沤报感光高分子感光高分子,33,碾溯跋旱陷赛决瘦押刁学代悼牧索崎辑枯三驴滞圈秽蔚磁脊栋顾隋拟左捏感光高分子感光高分子,