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1、1,洁净室运作介绍,2,报告大纲,洁净室定义与历史演练 洁净室的标准规范与分类 洁净室系统设计模式 洁净室构装设备与材料 洁净室的测试与验收 洁净室的运转管理,3,CLEAN ROOM定义,洁净室 也称 洁净室、CLEAN ROOM，定义为： Defined by 209E : A room in which the concentration of airborne particles is controlled specified limits。 定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振动，噪音，照明，及微生物等控制在一定值内的空间称之。 按照控制对象区分： 以浮游微粒子为对
2、象的工业洁净室（Industrial Clean Room） 以浮游微生物为对象的生化洁净室（Biological Clean Room）,4,洁净室历史演进,1958 美国发展太空科技开始研究洁净室 1961 完成美国空军洁净室相关规格 1963 完成美国联邦洁净室规格 Federal Standard No.209,5,洁净室国际标准规范,美国联邦 FED STD 209 ISO / TC 209,6,洁净室标准FED STD 209E,7,洁净室标准ISO / TC 209,8,9,洁净室的分类,层流模式 乱流模式 混合模式,10,空气气流之流动成一均匀之直线 空气经由覆盖率100% H
3、EPA 进入室内 由高架地板回风 适用于class1100,层流型系统,11,空气由空调箱经风管与洁净室内之HEPA进入洁净室 并由高架地板或侧面回风 此型适用于Class 1K100K,乱流型系统,12,并用型系统,13,C/R各方式之比较,14,C/R系统基本要求,控制微粒子数量至一定标准 防止外界微尘粒子进入 室内产生的微尘粒子与有害气体迅速的排出室外 维持室内温度、湿度和压力 防止静电的干扰 系统稳定与节约能源考量,15,C/R洁净设施,中央空调系统（AIR CORTROL SYSTEM） FFU（FAN FILTER UNIT） FMU（FAN MODULE UNIT） 空气浴尘机（
4、AIR SHOWER、PASS PAX） 洗手烘干机（HAND WASHER DRYER MACHINE） 缓冲区（BUFFER ROOM） 黏着脚垫（STICKY MAT） 高效滤网（High Efficienty Particulate Air） 泄压阀（Pressure damper） 真空吸尘器（VACUUM CLEANER） 无尘衣服（DUST FREE GARMENTS）等等,16,休息一下！,17,C/R检证验收项目,HEPA泄漏测试 风速风量测试 正压测试 洁净度测定 温湿度测定 照度测试 绝缘测试 其他测试,18,C/R检证条件,CLEAN ROOM的验收条件： A条件（as-built）竣工时的洁净室 仅其附属设备处于运转状态。 B条件（as-rest）非作业时的洁净室 生产机台以定位安装，开机运作中，但无作业人员的状态 C条件（operational）作业时的洁净室 所有的附属设备运行，生产机台开机运作，作业人员在场的生产状态,19,洁净室的运转管理,清净度管理 温湿度管理 室压控制管理 气流速度管理 人员教育管理 无尘衣着管理 节约能源管理,20,自然界之尘埃浓度,