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1、第一节键合工艺,Wire bond 的构成,FAB 的形成（空气中的金球Free Air Ball）,Ball Bonding (1st 結合),加热 + 振动(超音波) 形成Au和Al金属间的化合物,行程 1: 焊头在打火高度( 复位位置 ),行程 2: 焊头由打火高度下降到第一焊点搜索高度,行程 3: 接触高度和压焊工艺; 第一焊点参数,最初的球形影响参数: 预备功率 Standby Power,最終的球形和质量決定于: 1ST BOND CONTACT TIME CONTACT POWER, CONTACT FORCE, BASE TIME BASE POWER BASE FORCE,行
2、程 4: 共晶金属的形成,超声功率 Ultrasonic Power,共晶金属的生長,共晶金属的覆盖面积,第一焊點的功率和壓力變量曲線簡圖 1st Bong Power and Force Profile,行程 5: 完成第一点压焊后, 焊头上升到反向高度（Reverse Height）,行程 6: 反向距离 Stage 6: Reverse Distance,行程 7: 焊頭上升到线弧高度位置,焊頭向上运动,行程 8: 在弧度高度,搜索延迟 XY 工作台向第二压点移动 焊头不动,搜索延迟SEARCH DELAY,行程 9: XYZ 移向第二壓點搜索高度,行程 10: 第二点接触,LEAD,”
3、,最初的楔形影响参数: 碰撞压力和預备功率,行程 11: 第二压点参数,Lead,最終的楔形质量決定于: 2nd bond Contact Time, Contact Power, Contact Force Base Time, Base Power, Base Force,第二焊点的功率和压力变量曲线简图,行程 12: 焊头在尾丝高度,完成第二點压焊后, 焊头上升到尾丝高度, 然后线夹关上,Lead,行程 13: 拉断尾丝,线夹在尾丝位置关上, 把尾丝从第二压点拉断后,焊头上升到打火高度,线夹关闭 WIRE CLAMP “CLOSE”,行程 14: 金球形成，开始下一个压焊过程,第二节常见
4、问题处理,问题处理,FAB 形成不良 1）检查线夹，劈刀是否污染 2）用pant light 检查金丝是否有手指印 3）EFO 放电呈黃色，检查指纹，E-Torch 4）如果是铜丝键合检查氮氢混合气是否正常,1）检查pad 有无污染 2）适当调整一焊点Standby Power Contact Time，Contact Power，Contact Force Base Time ，Base Power，Base Force参数 3）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的劈刀型号 4) 铜丝键合检查FAB是否氧化，氮氢气有无异常 5) 调整Power输出模式(Low,High)(Normal,
5、Cont-I,Cont-P),1st bond non stick处理方法,1）检查引线框架有无污染或不良 2）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的 劈刀型号 3）适当调整二焊点Standby Power Contact Time，Contact Power，Contact Force Base Time ，Base Power，Base Force参数 4) 调整Power输出模式(Low,High)(Normal,Cont-I,Cont-P),2nt bond non stick处理方法,1）检查线夹，劈刀是否污染 2）检查有无缠丝，沾有粘着物，碰伤等引起的金丝放线不畅 3）检查劈刀选
6、用型号是否正确 4）适当调整LOOP参数 5) 以上调整都无效果可调用一个程序，编程再调整,Loop 高度不稳定,断丝的处理方法,Tail too short(尾丝太短）Missing Ball(失球） 1）检查引线框架有无污染或不良2）检查线夹是否沾污和劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的劈刀型号3）检查金丝有无缠丝，沾有粘着物，碰伤等引起的金丝放线不畅 4）适当调整二焊点Standby Power Contact Time，Contact Power，Contact Force Base Time ，Base Power，Base Force参数，一般调整为适当减小Power,Force5) 调整Power输出模式(Normal,Cont-I,Cont-P)，一般Low,Normal不易断丝 6）Tail Length适当加大 7）检查打火电流和打火时间是否合适，打火FAB正好形成为最佳，过大可能把球打飞，过小可能打不着火。正常打火会有蓝火，出现黄火就可有异常,上机操作培训项目,1）如何做好PR 2）弧度的简单调整 3）Bond TIP OFFSET 操作 4）更换劈刀的各个步骤 5）AUTO BOND菜单使用说明,