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1、,单 晶 清 洗 设 备 培 训,概 述,第一部分：单晶清洗设备的组成 第二部分：单晶清洗设备的开机 第三部分：单晶清洗设备操作 第四部分：单晶清洗设备的关机,单晶清洗设备的组成,一、单晶制绒机 1、单晶制绒槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、NaOH、IPA补液系统/一套 4、纯水预热槽/一个 5、电控柜/一个 二、酸洗机 1、酸洗槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、电控柜/一个 三、去PSG机 1、去PSG槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、电控柜/一个 四、甩干机,单晶清洗设备功能介绍,单晶槽式制绒机：用碱性溶液（NAOH）清洗硅片表 面的污 损， 并在硅片表面刻蚀出金
2、字塔形的绒面。 酸洗机：用HCL、HF去除硅片表面的金属离子。 去PSG机：用HF去除硅片表面的磷硅玻璃。 甩干机：先用水清洗硅片，再用热氮气去除硅片表 面残留的液体。,单晶制绒设备主体,上下料台,上料台,下料台,NAOH、IPA自动补液系统,纯水预热槽,电控柜内部图,压缩空气、氮气和纯水供应管,工 作 流 程,NAHO 预处理 60S,上料台,DI水 喷淋 25S,DI水 漂洗 10S,HF 酸洗 10S,DI水 漂洗 10S,NAOH、IPA、辅助剂 制绒 1100S,DI水 漂洗 10S,DI水 漂洗 30S,NAOH、H2O2 去损伤 180S,下料台,单晶制绒,工 作 流 程,HCL
3、 酸洗 120S,上料台,甩干,下料台,DI水 喷淋 120S,DI水 漂洗 60S,DI水 喷淋 60S,HCL、HF 酸洗 120S,DI水 漂洗 60S,酸洗,工 作 流 程,HF 酸洗 120S,上料台,甩干,下料台,DI水 喷淋 120S,DI水 喷淋 60S,DI水 漂洗 60S,DI水 漂洗 60S,去PSG,DI水 低速喷淋 30S,上料,高速吹N2 180S,卸料,甩干机,制绒设备开机前检查,压缩空气、氮气、纯水： 阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力4-6bar,DI水,CDA,N2,CDA调压阀,N2调压阀,制绒设备开机前检查,化学品补液槽按要求配液,纯水预热槽温度达到设
4、定值,刻度标尺,单晶制绒设备运行及操作,第一步：打开设备电控柜总电源，依次打开各功能电源开关,电控柜内各 电源开关,单晶制绒设备运行及操作,第二步：等待触摸屏显示后，进入主界面进行工艺参数设置,参数设置按钮,单晶制绒设备运行及操作,点击“参数设置进入”按钮后，弹出密码框，输入密码后，按“确认”按钮即可进入参数设置项。,进入参数设置画面，由工艺员对工艺参数（清洗时间、各槽温度、自动配液参数、排液时间）进行设置。,单晶制绒设备运行及操作,点击“自动补液参数设置”按钮后，进入画面，对各槽DI水、NAOH、IPA自动补液量进行设置,自动补液画面,单晶制绒设备运行及操作,点击“时间温速度设置”按钮后，进
5、入画面，对各槽清洗时间、及各加热槽的温度进行设置，机械臂速度设置为500MM/S，除设备调试外，一般不作改动。,时间、温度、速度设置,单晶制绒设备运行及操作,第三步：设置好工艺参数后，点击“返回”按钮，即可返回主菜单，然后点击“报警画面”，确认是否有报警。,报警按钮,弹出报警框，报警项显示为绿色，则是报警已解除，若显示为红色，则需要对报警进行手动处理。,单晶制绒设备运行及操作,进行手动处理时，在主菜单中点击手动按钮即可进入各手动画面：,点击“上升”“下降”“左移”“右移”按钮即可对机械臂进行移动操作。,点击“循环泵ON”按钮即可打开或关闭各循环泵，当标识显示为绿色时，即标识泵已打开。,机械臂手
6、动画面,循环泵手动画面,单晶制绒设备运行及操作,点击“左盖开”“右盖开”按钮即可打开盖板，标识显示为绿色即为打开状态，点击“左盖关”“右盖关”按钮即可关闭盖板。,点击各对应槽体的“阀ON”，打开阀门排液，在排液前需对排液时间进行设置。,槽盖手动画面,排水手动画面,单晶制绒设备运行及操作,排水时间设置画面,手动加热画面,点击时间设置按钮进行各槽的排液时间设置，以S为单位。,点击“加热ON”按钮，对所对应槽进行加热，加热时“加热”标识显示为绿色。,单晶制绒设备运行及操作,鼓泡加水手动画面,手动补液设置,点击“鼓泡阀ON”或“加水阀ON可对所需槽进行鼓泡或加水。,设置好补液量，手动按“ON”按钮对所
7、需工艺槽DI水、NAHO、IPA进行补液,单晶制绒设备运行及操作,第四步：确认无报警后，再点击“监控画面”检查设备槽体的温度、液位是否达到标准，监控显示的花篮要与槽体里的一致。,监控1,监控2,单晶制绒设备运行及操作,若画面显示的花篮与槽体实际花篮不一致，可进入主菜单，点击“篮料强制”按钮，进入篮料设置画面。,点击画面中的“有”按钮，则会显示有篮，点击“无”显示无篮。,单晶制绒设备运行及操作,第五步：进入“主菜单”，点击“系统启动画面”,在手动状态下按“回原点”，当出现OK后，将触摸屏下方的自动手动开关切换到自动状态，按“自动启动”按钮，设备开始运行,系统启动画面,单晶制绒设备运行及操作,第六
8、步：将装好硅片的料篮放于上料台后，按开始按钮，即进行生产。,开始 按钮,单晶制绒设备的关机,1. 确保槽内无花篮； 2. 将设备切换到手动状态，通过触摸屏排掉槽内液体，并加DI水清洗干净； 3.关闭电控柜内主电源开关、纯水预热槽电源开关； 4.关闭纯水、氮气、压缩空气阀门。,主电源,主电源,制绒机电控柜,预热槽电控柜,酸洗、去PSG设备开机运行操作及关机,酸洗、去PSG开机前检查、运行操作及关机请参照制绒机。,酸洗设备,去PSG设备,甩干机,甩干设备开机前检查,压缩空气、氮气、纯水： 阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力4-6bar。,DI水阀,CDA阀,N2阀,甩干机运行及操作,第一步：打开
9、电源开关，在触摸屏“参数设置”画面中设置工艺参数，并点击“低温开”、“高温开”按钮。,甩干机运行及操作,第二步：等待温度控制器上的温度显示达到设定值； 第三步：点击“开门”按钮，打开盖板，放入装载硅片的片盒后，双手按住“关门”按钮，直至盖板关到位； 第四步：按“运行”按钮进行工作； 第五步：甩干结束，蜂鸣器响后按“开门”按钮，打开盖板取出片盒。,甩干机的关机,1、打开盖板确认旋转盘内无片盒； 2、关闭盖板，将电源开关切换到关的状态； 3、打开电控柜门，关闭电源 4、关闭DI水N2CDA阀门,电源开关,电控柜内总电源,中联酸洗机,中联酸洗机比较与JJC酸洗机除多了自动烘干功能外，其它工艺均一致。
10、 开机检查及关机参照制绒设备。,正面图,背面图,中联酸洗机,热风烘干系统,加热鼓风设备,中联酸洗机的运行操作,打开电源后，按触摸屏下方的“电源启动”按钮，启动后按“运转准备”按钮，等待触摸屏进入操作主画面。,电源启动,运转准备,中联酸洗机的运行操作,主画面,进入“主画面”后，按屏幕右下角的“菜单栏”，即进入菜单，对设备各项功能、工艺参数进行设置。,菜单栏,点击菜单栏的各项功能，可进行开关盖板、机械臂手动移动、加液、排液、鼓泡、加热、循环泵开关、工艺参数的各项操作。,中联酸洗机的运行操作,当各工艺条件满足后，点击“原点搜索”，等屏幕左下角“原点指示”显示“已到原点”后，分别点击“自动模式”“清洗已准备”“机械手运行”，设备即进入自动运行状态。,Thats all .Thank you. / 谢谢 ，再见。,个人观点供参考，欢迎讨论,