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1、图3 常用的一级 R0二级EDI+MB电子I级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率高小于 1000卩s/cm,要求产水电阻率18Q cm的超纯水系统图4常用的一级 R0二级EDI电子H级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度高，有机物含量高，电导率小于 1000卩s/cm ,要求产水电阻率 1518MQ cm的超纯水系统自来水进水:排放1快速过滤器紫外线小杀菌灯R不合格排放原水箱 原水泵用水点O.lum过滤器线灯超滤装置反洗排放水羽纯水岀口 调压阀1PFp F p抛光混床超纯水泵浓水回流 或排放Fk氮封超纯水箱极水排放二级EDI膜堆符号说明：肉冈电磁阀球阀化学计量泵过滤器循环
2、泵PpcF止回阀压力表压力控制器流量计0.2um过滤器纯水泵1不合格排放纯水箱电阻率表电导率表流变控制开关1000s/cm),要求产水电阻率 18Q cm的超纯水系统图5 常用的一级 R0二级EDI电子+MB电子I级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高(小于cm的超纯水系统图6 常用的一级 R0二级EDI电子H级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低，有机物含量低，电导率高小于 1000 s/cm,要求产水电阻率1518血图7是常用的一级EDI全系统组成图。图7 常用的产水水质稳定的二级R0一级EDI+MB电子I级超纯水系统组成图cm 的纯水系统适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 1000卩s/cm,即TDS 500ppm时，要求产水电阻率 18Q适合于源水硬度低，有机物含量高，电导率 1000卩s/cm,即TDS 500ppm时，要求产水电阻率 15Q cm的的纯水系统