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1、一、目的：1 霍尔效应原理及霍尔元件有关参数的含义和作用2测绘霍尔元件的VH Is，Vh Im曲线，了解霍尔电势差Vh与霍尔元件工作电流Is，磁场应强度B及励磁电流IM之间的关系。3 学习利用霍尔效应测量磁感应强度 B及磁场分布。4 学习用“对称交换测量法”消除负效应产生的系统误差。二、器材：1、实验仪：（1）电磁铁。（2）样品和样品架。（3）Is和I m换向开关及Vh、匕切换开关。2、测试仪:（1）两组恒流源。（2）直流数字电压表。三、原理：霍尔效应从本质上讲是运动的带电粒子在磁场中受洛仑兹力作用而引起的偏 转。当带电粒子（电子或空穴）被约束在固体材料中，这种偏转就导致在垂直电 流和磁场方向
2、上产生正负电荷的聚积， 从而形成附加的横向电场，即霍尔电场Eh。 如图15-1所示的半导体试样，若在X方向通以电流Is，在Z方向加磁场B，则在 丫方向即试样A-A/电极两侧就开始聚集异号电荷而产生相应的附加电场。电场的 指向取决于试样的导电类型。对图所示的 N型试样，霍尔电场逆丫方向，（b）的P 型试样则沿丫方向。即有Eh （丫）0（N 型）Eh （丫）0（P型）显然，霍尔电场Eh是阻止载流子继续向侧面偏移，当载流子所受的横向电场 力eEH与洛仑兹力evB相等，样品两侧电荷的积累就达到动态平衡，故eEH evB（1）其中Eh为霍尔电场，V是载流子在电流方向上的平均漂移速度。设试样的宽为b，厚度
3、为d，载流子浓度为n，则I S nevbd（2）由（1）、（2）两式可得：Vh EHb丄ZB Rh上B（3）ne dd即霍尔电压Vh （A、A”电极之间的电压）与lSB乘积成正比与试样厚度d成反比。比例系数Rh 丄称为霍尔系数，它是反映材料霍尔效应强弱的重要参数。ne只要测出Vh （伏）以及知道Is （安）、B （高斯）和d （厘米）可按下式计算Rh （厘米彳/库仑）：RH=108（4）IsB上式中的108是由于磁感应强度B用电磁单位（高斯）而其它各量均采用CGS实用 单位而引入。由于产生霍尔效应的同时，伴随多种副效应，以致实测的霍尔电场间电压 不等于真实的Vh值，因此必需设法消除。根据副效应
4、产生的机理，采用电流和 磁场换向的对称测量法基本上能把副效应的影响从测量结果中消除。具体的做 法是Is和B （即I m）的大小不变，并在设定电流和磁场的正反方向后，依次测量由卜面四组不同方向的Is 和 B （即 1 m）时的 V1，V2，Vb，1) +Is+BV12) +Is-BV23) -I s-BVb4) -I s+BV4然后求它们的代数平均值,可得：通过对称测量法求得的 VH误差很小。另一方面，射载流子浓度为n,薄片厚度为d,则电流强度I与u的关系为:1 ibiibI bdnqu，则可得到 Vbb，令R，则Vbb Rnq dnqd，R称为霍尔系数，它体现了材料的霍尔效应大小。根据霍尔效应
5、制作 的元件称为霍尔元件。在应用中， 常以如下形式出现：Vbb KhIB （8），式中KhR丄称为霍尔元件灵敏度,d nqdI称为控制电流可见，若I、Kh已知，只要测出霍尔电压 Vsb，即可算出磁场B的大小；并且 若知载流子类型（n型半导体多数载流子为电子，P型半导体多数载流子为空穴）, 则由VBb的正负可测出磁场方向，反之，若已知磁场方向，贝U可判断载流子类型。由于霍尔效应建立所需时间很短（10-1210-14s）,因此霍尔元件使用交流电或者直流电都可。指示交流电时，得到的霍尔电压也是交变的，I和Vbb应理解为有效值。四、步骤：1、测量霍耳电压VH与工作电流Is的关系。 对测试仪进行调零。将
6、测试仪的“ Is调节”和“ Im调节”旋钮均置零位， 待开机数分钟后若Vh显示不为零，可通过面板左下方小孔的“调零”电位 器实现调零，即“” o 测绘Vh - Is曲线。将实验仪的“ Vh , V ”切换开关投向Vh侧，测试仪的“功能切换”置Vh，保持Im值不变（取Im=0.6A ），绘制Vh - Is曲线。2、测量霍耳电压Vh与工作电流Im的关系。实验仪与测试仪各开关位置同上。保持半导体的电流Is不变（取Is=300mA ），绘制 Vh - Im 曲线。3、测量V值。将切换开关“ Vh，V ”投向V侧，“功能切换”置V。在零 磁场下，取I s=，测量V o4、 确定样品的导电类型。将实验仪三
7、组双刀开关均投向上方，即Is沿X方向， B沿Z方向。毫伏表测量电压为VAA。取Is= Im =0.6A，测量Vh大小及极 性，判断样品导电类型。5、 求样品Rh，n,，卩值。六、记录：1 测绘Uh Is曲线，保持Im=0.6A、13=不变，在表格中记录霍尔电压Is(mA)UjmV)U2(mV)5(mV)U4(mV)、，M V2 V3 V4B, IsB, IsB, IsB, IsVh42测绘Uh Im曲线，保持Is= ; lm=0.800A不变，在表格中记录霍尔电压Im/AU,(mV)U2(mV)(mV)U4(mV)、，M V2 V3 V4B, IsB, IsB, IsB, IsVh4测得：VV
8、h=七、数据处理:2、在零磁场下，取Is =，测出V =3、 确定样品的导电类型。测出霍耳电压 Vh=<0,故样品属N型。4、求样品Rh，n,，卩值。由RhVHdVHd 分别求出表1、2的Rh，再求出其平均值Rh、Rh，I sbIs 01X gl m得(6.16 10 3 6.16 10 3 6.14 10 3 6.16 10 36.14 10 36.16 10 3)3Rh6.15 10 (Vm/AT)6m (6.02 10 3 5.96 10 3 5.99 10 3 6.0 10 3 6.03 10 3 6.09 10 3) 厂“八，、 Rh6.02 10 (Vm / AT)6故 Rh
9、= (6.15 106.°2 10 )= 6.09 10 (Vm/AT2(2)(3)IRh |eIsL1 216.09 10 3 1.6 10 19 倔 10(AT/(VgmgC)22.06(A/Vm)IRh I316.09 1022.060.13(T )八、预习思考题:1、霍耳元件为什么要用半导体材料，而且要求做得很薄？霍尔电压是如何产 生的？答：半导体材料的迁移率高，电阻率 适中，是制造霍耳器件较理想的材料。2、工作电流和磁场为什么要换向？实际操作时如何实现？答：为了把产生霍耳效应的时候所伴随的副效应的影响从测量的结果中消除。实际操作时通过切换实验仪三组双刀开关改变电流和磁场的方
10、向。3、回答Is、Im、Uh、U分别表示什么含义？ Is、g的作用分别是什么？ 答：I S表示样品工作电流；IM表示励磁电流；UH表示存在磁场时的霍耳电压；u表示在零磁场下的霍耳电压。Is的作用是改变电流大小和方向，Im的作 用是改变磁场的大小及方向。4、霍耳效应有哪些应用？答：在现代汽车上广泛应用的霍尔器件有：在分电器上作信号传感器、ABS系统中的速度传感器、汽车速度表和里程表、液体物理量检测器、各种用电负载的 电流检测及工作状态诊断、发动机转速及曲轴角度传感器。九、操作后思考题：1、如何精确测量霍耳电压？本实验采用什么方法消除各种附加电压？ 答：设法消除产生霍尔效应时伴随的多种副效应。本实
11、验采用电流和磁场换向的所谓对称测量法。2、磁场不恰好与霍耳片的法线一致，对测量结果有何影响？答：磁场不与霍尔片垂直，只有其法向分量能起作用，即霍尔片产生的霍尔 电压会减小。3、能否用霍耳元件片测量交变磁场？若能，怎样测量？答：能。4、如何根据I, B和Vh的方向，判断所测样品为N型半导体还是P型半导体？ 答：先设定I, B和Vh的参考正方向：例如设定I从左向右为正，B垂直纸面向内为正，正电荷向上偏转，则 Vh从下向上为正。然后将测量仪器按参考正方向 连接。电流表要左边接红表笔，右边接黑表笔，电压表要下表面接红表笔，上表 面接黑表笔。然后将I，B均调为正，观察电压表的正负。根据 U KIB，如果电 压表为负数，则灵敏度K 0，电子导电，N型半导体；如果电压表为正数，K 0， 空穴导电，P型半导体。5、请根据欧姆定律推导出丄匚（电导率为电阻率的倒数）。U S答:欧姆定律，电阻R |，则有半，而IIs,u u故电导率工U S6、本实验的误差的主要误差有哪些，这些误差对实验有何影响？答：主要误差有：测量工作电流的电流表的测量误差，测量霍尔器件厚度d的长度测量仪器的测量误差，测量霍尔电压的电压表的测量误差，磁场方向与霍 尔器件平面的夹角影响等。这些误差会影响霍耳系数 Rh的计算，从而影响到载流 子浓度n和迁移率的计算。