用avantage软件进行峰拟合.docx

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1、打开全谱图,选择文件类型vgd鉴别谱峰,手动(),自动(1111.全谱图分析(主要是鉴别峰)(1)(2)手动鉴别峰(-),可以选择根据元素鉴别峰,也可以选择根据能量 范围)是自动峰鉴别,可以选择XPS位置容差、俄歇位置容差等参数耳I三!LtC*l Tlf 事 IP IT选择自动分析,会自动生成标好的各个峰。12W T H0皿洒敏冲 <3ElFi! iff 牡Mm*v 冲 ww -v "rMl |SiS|DK* ' J) WKeqlon » | - J <uJi j w i "AMT-M不论采用上面三种中的那种鉴别峰的分析,软件都会自动计算出原子

2、白分比、面积CPS等参数,感觉不太有用,有些峰的面积会被计算为 负的,有些峰的原子白分比会被算为 00自动鉴别谱峰,会得到不需 要的结果,而手动鉴别谱峰可以根据实际情况选择性的添加谱峰。(3)能量校正根据标出的C1S峰的能量对峰进行能量校正,可以用软件的快捷键就 电荷偏移,将C1S的能量校正为285ev,用此软件校正的能量有误差,还可以用origin软件进行能量的校正。在图像上点击右键,用copy active cell,导出数据文件,后保存为txt 格式,将文件导入到origin软件中,对Binging Energy歹U的数据进行处 理,即可达到希望的能量校正。2.单元素谱峰的分析画E*U

3、WE瑚(2)去底与峰拟合,选择smart去底法,根据元素的化学环境确定拟合峰的 个数,对峰进行拟合。vn*r Ar<iraqaiiHr| iliS|I |关丁 counts与counts/s,基本上论文中出现的都是counts,因此点击CJS* * Ji 胃焰qiion |,*|i* S(1).数据平滑处理:Savitzky-Golay ,高斯或傅立叶,使用工具栏中的件选择傅里叶平滑处理Fwoh Eta 匚y duh dU44H |3*gr|*注 卞爪柘4a呻啪 f JEairrH ri . B bT«iunwPl|W J £ T 4 J 能s尤。君口 色N 自纽也

4、HB2J4 2»227 06l.DB 抵汕占7 曲£i2p CFWHhl Qai;胃f冲S5爵E*dnFa上 | *d1i Fi) ,2T«n cai EJlnla1ME-ME I i Mft-fl111 110 1® HK1M TO IM 5BFIMdlAlRUMngErrts 帼FElch f-FTW 1(1 b Elxt LiMfl I校正荷电位移,在本例中选择 Si衬底的能量 同样采用此软件校正的能量具有误差。97.8e v作为参考能量。pjkFirti 叫HF弟V W "套田曰击和M 卜 10JJJ6 9* 函"此 4WRa

5、m- ws 的; m* Rroi cri>F*1WEradiFWMH Pwifc- | d-hHTfrnrrialAda珏鄙AddDajM«* |SCPsap sc mLlch lirrw % ID ED -f -|fcMMLi R 土uJpS jnAFWHh4|Pi部 CK«Vg jui jii is" _j!j jixu"ZifiC-Wm m酎斗W X 咨"" T * | QrE£hTiffi4-fe i 敏 刑I n jjDw F=wM | f 鼻 5 EbcbI Mato住二上ttr制 _'日1T旦 j

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7、6)刻蚀时间的调整,在最下方的工具栏内调整,如上图(7) 去掉拟合残留,点击右键,选择 Display Options勾选Show Residuals./ Sr aOf ZF屠巳找而十W Eaj,m时西 hffrJTflfl I心咕质 uni 冲 4> nm 5 qdc 扁Lteh Time% 风DiuEtdi Lrrl pl 日 1(8)copy active cell,粘贴到txt文件中,再导入到 origin软件内匚国Hift.i'Ljdi.-i_nunrutaj* FCiCr f. iftuirGd UNrttriH?m F.wlArlH一 r.¥i_ 1fit

8、"? w, U 1I -A IvtMBBksJjJijrriJ4AI<i(*l 1 S5*f*kEI UinAng推5 51MU3> Wee 匚CWKtQnd-*Cavrtii亡 *«CmivImCiisilv "-5、一1r4_j- J-Ln*恤EN wg'll<ipE *IE貌UQa211 WMM的(ifl&tlj SBW Cri0-0011 If-1>O?i HA4nn4Il i务 nb出*JH<dnn<irt I'd E可0& IE4aaatill 牌0,i n t*1S;】 in4nnP

9、HIM1OM&I13nn&mi naRCHP SlKanoXx M.jih -Lar Mv-tw L h(iHInpKiHDvt(9)点此空格,即可全选中数据,右键IHfl 潮I'l n 1 «4Mi 5BL 'lfe.J-.jrwmm”MW,jfl11E+* W MB& <M ZTW i r "l PDw认 i izr 19 11I1M 11011 *9 10MM im, 1i»* JI 1OHb IK 1«4-2 1QH4 I3 IOm M 1CHT mwplot-line ,即可画出曲线esc*) iw

10、ti- ECodllfltLCufiU,心 iUUH»- il d1h fiuju-41Tvru -an axuaakg。, |nwd|<»3*M*I.MF MtfliT JOU Mi1DM PW1 f?Ft-F DV|£145 erIixdqu-且*。沌T <A 7 p fbiM 1 D'v 4 xmsr网>4列,'iQM <»liAdQfi3'i iw r ignirgi-Miv ii-wHass2口工2I» !birfij "j a rm村丁,Tl|IFT上叫砧£+ C iSUhfrvii*l*waD»eiMwh.v " M tRl(10) 点击下图圈的键,即可实现line和line+symbol的转换

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