《PDMS用加窗方式快速复制微结构.doc》由会员分享，可在线阅读，更多相关《PDMS用加窗方式快速复制微结构.doc（1页珍藏版）》请在三一文库上搜索。
1、58传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)2010年第29卷第12期PDMS用加窗方式快速复制微结构*刘畅郑小林巴廖彦刘.杨军-杨国沪(1.K庆大学生物工程学院，重庆400()30;2.新型微纳器件与系统技术国家賣点学科实验室重庆400044)摘要：提出了一种微流控芯片中的制作方法此方法町以复制现有芯片的任意结构，可用于实验室原冇 芯片的修复和整合。用窗口的方法提取结构可排除芯片上相邻结构的干扰得到农面光滑笹齐的新芯 片。特别适用干复制目前软光刻工艺尚未达到的待微结构和三维结构芯片。实验制作出的聚二甲基硅氣 烷(PDMS)芯片沟道长30
2、 jxm.宽5叩深5“n显微镜下观察芯片表面光昧窗L1内沟道性质复制良好. 窗口边缘与表面之间具有明显的陡变。关乞词：聚二甲基硅氧烷；模塑法；微流控芯片；软光刻由口提取中图分类号：R31&01文献标识码：A 文章编号：1000-787(2010)12-()058-02PDMS molding technology using in extract typicalcharacteristic in microfluidic-chip *UU Chang1, ZHENG XiaoJin巴 LIAO Yan-jian1, YANG Jun11 YANG Guo-qing1(1. College of
3、 Bioengineering, (Hiongqing University, Chongqing 400030. China ；2. National Key Laboratory Fundamental Science of Micro/Nano-device andSystem Technology. Chongqing 400044, China)Abstract: A microfluidic chip production method which can copy an arbitrary fuel ions in an existing chip ispresentedcan
4、be used for repairing and integration of existingin lalM)rator)(. The structure is extracted bya window method which may exclude adjacent Hlruclures interfere with the extracling chip to keep the surface of new chip smooth and lidy. It is particularly applicable to replica molding the special -struc
5、ture and threc- dimrnsional stnicture of chips which the current soft-lithography replication process codd not realized ycl. The PDMS chip produced in the experiment has a 30 屮nJong 5 p,m-wile 15 p,ni-deep channel. Observed under the microscopesurface is smooth.the nature of window-channel sound rep
6、roduction .the edge l)etween the window and the surface apparents a sudden changeKey words: PDMS； replica molding (REM) ； micmfludic chip； softlithograph windows-mokling0引宫微全分析系统(micro total analysis systems.jxTAS)又称 芯片实验室(lab on a chip.LOC)，是在20世纪90年代由瑞 士的 Widmer H M 和 Manz 提岀的14o PDMS( Polydinxth-
7、 yl-siloxane)由于其廉价、具有良好的力学和光学性质以及 生物相容性釘等特点而广泛用于DNA分析.PCR研究等 微流控实验。再加上其优良的表面复制特性，成为目前 最受欢迎的微流控芯片材料。但在目前的软光刻加工工艺中需婆的加工设备较为 昂贵且仅在单层简单微结构方面工艺有所提髙当实验 所需芯片具有双层或以上炎杂结构，或是芯片具右2个以上功能模块，各模块的敌除形状、加工高度不一致时软光 刻的快速制版成型优势将变得十分微弱。本文提出了一种 窗口微流控芯片加工的方法只需耍一块母板利PDMS预 聚体便可以在简易条件下加工具有原母板典型结构的微 流控芯片。此方法操作简便不需耍大熨专业仪器,复制效 果好。为微流控芯片感兴趣的研究者捉供尝试微芯片领域 提供可能更特别适用于实验使用中只冇复杂结构芯片残 缺后的修补。1 PDMS窗口微楼塑原理用PDMS提取芯片典型结构的原理如图1“预先制作 一块PDMS成片。以待提取结构的大小，用打孔器在PDMS牧稿日期：2010-03-2基金项目理庆市自然科学来金资助项H(CrST2007BB5165)；乘庆币十一f 科技亚大专项也金资助项U(CSTC2008A.A5010)；国家髙 技术研究发展计划资助项U(2006AA042343)；何家Fl然科学躬金资助项fl (30870661.30770569.30500120)