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1、编号：时间：2021年X月X日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共7页去PSG （磷硅玻璃）1.目的：去除硅片表面的P-Si玻璃层（PSG），为加镀减反射膜做准备在形成PN结的扩散过 程中，在硅片表面形成一层一定厚度的磷硅玻璃，磷硅玻璃不导电，为了形成良好的欧 姆接触，减少光的反射，在沉积减反射膜之前，将磷硅玻璃腐蚀。 磷硅玻璃使硅片在空气中容易受潮，导致电流的降低和功率的衰减 死层的存在大大增加了发射区电子的复合，会导致少子寿命的降低 磷硅玻璃的存在使得PECVD后产生色差2 .磷硅玻璃的来源：4Poe1? + 3O2 t 2P,O5 + 6ch T2P,O5 + 5SiSSiO2
2、+ 4P!硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2,成为磷硅玻璃，主要成分P、P2O5、SiO2o3 .反应原理原理：利用HF和硅片衣面的P-Si玻璃层反应，并使之络合剥离，以达到清洗的目的。HF + S1O2 H2SiF6 + H2O4.工艺设备序号工序辅助处理液时间温度1HF鼓泡HF酸120RT2溢流漂洗鼓泡DI120RT3溢流漂洗鼓泡DIRT4溢流漂洗鼓泡DIRT5 .异常现象：清洗好的硅片表面有水珠或水成股流下，硅片表面疏水性不好。 分析原因：HF的浓度太低，清洗的时间过短或过长。 解决办法：及时补充或更换HF：若HF足量该调节HF中的清洗时间，时间过长或过短 都会影响硅片表面状态，最终影
3、响电池的性能。6 .注意事项 及时甩干，避免水纹印注意硅片正反方向不要插错。7 .工艺要求检查硅片表面的情况，是否染色、有水纹印等；操作规程1.1 将刻蚀好的硅片插入花篮1.2 开启去PSG机总电源，开启各单元控制器电源（附图1）,开启甩干机电源，并让甩干机无篮运行次1.3 开启1#、2#、3#、4#槽加水开关：1#槽注水至半槽水位关闭进水阀，2#槽注水至溢流 口关闭进水阀，3#、4#槽注水至副槽水位到达溢流口处关闭进水阀。1.4 戴好护目镜，3M口革，防酸手套（附图2）,在1#加入规定量的HF,然后再开启进水 阀，注水至水位离溢流口 5cm处关闭进水阀，并手动开启鼓泡，35分钟后关闭鼓泡开关
4、。1.5 将去PSG机错开启自动运行状态。1.6 在上料台上先放上个母篮，按下“上料确认”，第二个母篮开始既可投入待去PSG的片子进行自动操作。（附图3）1.7 待下料蜂鸣响后，即刻将母篮从下料台上抬出放于推车上。1.8 甩干机操作：首先按“开门”按钮，等到门完全打开后，将花篮有挡板的面朝上， 依次放入六个槽内，之后双手分别同时按住2个“关门”按钮。等到门完全关闭后，再按 “启动”按钮。甩干结束后机器自动发出提示音，此时可以按“开门”按钮，然后取片。外 及不符合要求的重复再洗。（附图4）1.9 做好各项记录，将生产报表和工艺流程卡放入传递窗。1.10 生产结束后，停止自动运行，调到手动状态，将
5、各槽液体排放干净，并做好6S，作。2.注意事项6.1 使用劳防用品前，要认真检查，确认完好、可靠、有效，严防误用，或使用 不符合安全要求的护具，禁止违章使用或擅自代用。进入生产岗位，必须按规定 穿戴劳动防护用品，并正确使用劳动防护用品：防毒而具使用前需仔细检查是否 有效，并按国家标准，定期更换滤毒盒；6.2 注意甩干机操作，若未满8篮进行甩干，需对称放置花篮：6.3 从去磷硅机器中取出的硅片应立即放入甩干机中甩干，不可暴露在空气中；6.4 HF都具有强腐蚀性、强刺激性、可致人体灼伤。操作时注意先加水后加酸。操作 人员需佩戴自吸过滤式防毒而具（全而罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手 套。紧急事
6、态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器；6.5 HF的注意事项及应急处理详见相应的MSDS。7.应急处理7.1 停电、水、气7.1.1 应立即停止向设备输入硅片，待恢复供电、水、气后，按照操作规程操作。 会同工艺员讨论在线生产硅片处理方案。第3页共7页编号：时间：2021年X月X日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共7页化学品安全技术说明书氢氟酸第一部分：化学品名称【中文名称】：氢氨酸【英文名称】hydrofluoric acid【分子式】：HF【分子量】：20.01第二部分：成分/组成信息【含量】:高55%;低40%CAS No. 1 ： 7664-39-3第三部分：危险性概述【健康危害
7、】：对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白， 坏死，继而呈紫黑色或灰黑色。深部灼伤或处理不当时、可形成难以愈合的深溃 疡，损及骨膜和骨质。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。 接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。慢性影响：眼和上呼吸道刺激症状，或 有鼻蚓，嗅觉减退。可有牙齿酸蚀症。骨骼X线异常与工业性氟病少见。【燃爆危险】：本品不燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。第四部分：急救措施【皮肤接触】：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。【眼睛接触】：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分 钟。就医。【吸入】：迅速脱离现场至
8、空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。 如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。【食入】：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。第五部分：消防措施【危险特性】：本品不燃，但能与大多数金属反应，生成氢气而引起爆炸。遇H 发泡剂立即燃烧。腐蚀性极强。【有害燃烧产物】氨化氢。【灭火方法】：灭火剂：雾状水、泡沫。第六部分：泄露应急处理【应急处理】：迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。 建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防酸碱工作服。不要直接接触泄漏物。 尽可能切断泄漏源。小量泄漏：用砂土、干燥石灰或苏打灰混合。也可以用大量 水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。大量泄漏：构筑围堤或
9、挖坑收容。用泵转移 至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。第七部分：操作处置与储存【操作注意事项】：密闭操作，注意通风。操作尽可能机械化、自动化。操作人 员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面 具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。防止蒸气泄漏到工作场所 空气中。避免与碱类、活性金属粉末、玻璃制品接触。搬运时要轻装轻卸，防止 包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。【储存注意事项】：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过 30,相对湿度不超过85%。保持容器密封。应与碱类、活性金属粉末、玻璃 制品分开存放
10、，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。第八部分：接触控制/个体防护【监测方法】：离子选择性电极法；氟:试剂一锢盐比色法【工程控制】：密闭操作，注意通风。尽可能机械化、自动化。提供安全淋浴和 洗眼设备。【呼吸系统防护】：可能接触其烟雾时，佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）或 空气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器。【眼睛防护】：呼吸系统防护中已作防护。【身体防护】：穿橡胶耐酸碱服。【手防护】：戴橡胶耐酸碱手套。【其他防护】：工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作完毕，淋浴更衣。单独存 放被毒物污染的衣服，洗后备用。保持良好的卫生习惯。第九部分：理化特性【主要成分】：含量
11、：高浓度55.0%；低浓度40%。【外观与性状】：无色透明有刺激性臭味的液体。商品为40%的水溶液。【沸点 CC）】：120（35.3%）【熔点CC）】：-83. 1（纯）【相对密度（水=1） ： 1.26（75%）【相对蒸气密度（空气=1） 1 ： 1.27【溶解性】：与水混溶。【主要用途】：用作分析试剂、高纯氨化物的制备、玻璃蚀刻及电镀表面处理等。其他一些特殊理化性质第十部分：稳定性和反应性【禁配物】：强碱、活性金属粉末、玻璃制品。【应避免接触的条件】：【聚合危害】：【分解产物】：第十一部分：毒理学资料第十二部分：生态学资料第十三部分：废弃处置【废弃处置方法】：用过量石灰水中和，析出的沉淀
12、填埋处理或回收利用，上清 液稀释后排入废水系统。第十四部分：运输信息【包装方法】：装入铅桶或特殊塑料容器内，再装入木箱中。空隙用不燃材料填 充妥实；装入塑料瓶，特种电木、橡胶或铅容器，严封后再装入坚固木箱中。木 箱内用不燃材料衬垫，每箱净重不超过20公斤，35公斤包装每箱限装4瓶。第十五部分：法规信息【法规信息】：化学危险物品安全管理条例（1987年2月17日国务院发布）， 化学危险物品安全管理条例实施细则（化劳发1992 677号），工作场所安全使 用化学品规定(1996劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生 产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志(GB 13690-92)将该物质划为第8. 1类酸性腐蚀品。第7页共7页