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1、電子顯微鏡原理,班級:微電三甲 學生:4973a057黃昭穎 4973a058蘇暐倫 指導老師:方信普,目錄,電子顯微鏡原理 電子顯微鏡的種類 穿透式電子顯微鏡的原理 穿透式電子顯微鏡成像原理 掃描式電子顯微鏡的原理 掃描式電子顯微鏡的成像原理,電子顯微鏡原理,電子顯微鏡系統由電子槍 (electron gun) 發射電子束，經過一 組磁透鏡 (condenser lens) 聚焦後，用遮蔽孔徑(condenser aperture)選擇電子束的尺寸 (beam size)，通過控制電子束的掃 描線圈，再透過物鏡 (objective lens) 聚焦打在試片表面，激 發出電子訊號。,電子顯微
2、鏡的種類,(1)掃描式電子顯微鏡(SEM) 有很大的景深，對粗糙的表面，例如凹凸不平的金屬斷面顯示得 很清楚，而且立體感很強。,電子顯微鏡的種類,(2)穿透式電子顯微鏡(TEM) 穿透式電子顯微鏡將欲觀察的試片放在電子槍內，使觀察的解析 度比掃描式高，但因為電子束須穿透試片，所以所需的加速電壓 相對比掃描式電子顯微鏡來的高。,穿透式電子顯微鏡的原理,穿透式電子顯微鏡的原理有點像一個幻燈片投影機。 投影機利用光線照射幻燈片，幻燈片上的圖案只容許 部分光線通過。於是透射的光線便複製了幻燈片上的 圖案，投影至屏幕。,穿透式電子顯微鏡成像原理,穿透式電子顯微鏡的成像原理可分為三種情況： 吸收像：當電子
3、射到質量、密度大的樣品時，主要的成相作 用是散射作用。 繞射像：電子束被樣品繞射後，樣品不同位置的繞射波振幅 分佈對應於樣品中晶體各部分不同的繞射能力。 相位像：當樣品薄至100以下時，電子可以傳過樣品，波的 振幅變化可以忽略，成像來自於相位的變化。,穿透式電子顯微鏡的應用,穿透式電子顯微鏡的電子束穿透樣品時，一部份電子會直接穿透，另一 部分會產生繞射電子束。直射電子束與繞射電子束相互干涉後，會產生 晶格像lattice image，可分析材料中的晶體結構及缺陷狀態。,掃描式電子顯微鏡的原理,由電子源發射出電子後，在真空電子槍下，經由掃瞄線圈，使電子束於試 片室內對試片表面作掃瞄，掃瞄之區域愈
4、大則顯示於螢幕上之倍率愈小， 反之則愈大。,掃描式電子顯微鏡的成像原理,掃描式電子顯微鏡其成像原理是利用一束具有530 kV之電 子束掃描試片的表面，接收表面產生之訊號(包括二次電 子、背向反射電子、吸收電子、X射線等)以顯現試片圖形之 影像。,掃瞄式電子顯微鏡的應用,掃瞄式電子顯微鏡中的電子束直接撞擊試片表面，因試片表面凹凸結 構，造成二次電子產生量不同，從而可在螢光幕上觀察到立體形態的成 像，並可據此判斷粒子大小、粒徑分布、粒子形貌、分散狀態等。,電子顯微鏡下的圖片,紅血球,Butterfly Wing,電子顯微鏡下的圖片,Olive Leaf,Pollen,參考資料,http:/www.
5、itrc.org.tw/Publication/Newsletter/no97/p12.php http:/zh.wikipedia.org/zh- hk/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5 %BE%AE%E9%95%9C http:/www.hk-phy.org/atomic_world/tem/tem02_c.html http:/khvic.nsysu.edu.tw/khvic/JL/57.htm http:/www.emath.pu.edu.tw/puam/7_Honor/celebrate/celebrate6/neo n/group06/ch05/ch05_02.htm http:/www.emath.pu.edu.tw/puam/7_Honor/celebrate/celebrate6/neon/group 06/ch05/ch05_01.htm http:/a- http:/www.eyeofscience.de/,END,謝謝收看,