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1、平面度测量步骤,准备平面底板进行平面度测量 建立平面度数据采集软件 设置光学系统 使激光沿测量线对齐 采集测量线数据 建立并测量七个测量线 分析采集的平整度数据。检查数据测量误差所讨论的平直度测量精度的影响因素,平面度测量组件,三个平面度底座 - 50 mm 步距 - 100 mm 步距 - 150 mm 步距,平面度测量原理,平面度测量的过程是：当角度反射镜沿着测量光路移动时采集一系列增量高度读数。,激光测量由以下组件构成：,XL-80激光头 XC-80环境补偿单元 角度测量光学镜组 平面度测量组件 LaserXL校准软件,评估平面度的标准方法,要测量表面的平面度，需在表面上采集若干条测量直
2、线。平面度测量有两种标准方法：对角线 (Moody) 法、 网格法。,网格法和半网格法,平面度测量准备及设置,线的位置,激光位置,平面度测量配置,平面度测量步骤,闭合度误差,平面等值线FB、HD是错误7和8,平面度光束准直步骤,单旋转镜,1.干涉镜的放置位置 2.旋转镜/干涉镜组合至少8毫米前开始点测量,3.调整光靶位置,4.旋转旋转镜,5.调整激光/三脚架使光束旋转镜放在正确的位置，如图5所示。,6.角度反射镜安装在沿线的远处,7.旋转旋转镜，产生双反射线 8.使入射光在图示7的位置,9.去除光靶，旋转旋转镜使反射光反射到激光前边的光靶上。 10.倾斜的旋转镜使反射光在同一高度。 11.旋转
3、旋转镜的光靶如图8,12.移动反射镜接近干涉镜,13.如果有必要，调整水平和垂直装置使激光光束返回到光靶的位置。 14重复步骤6到13。直到反射光束在指定位置。,15.旋转激光头的光靶，如图10 所示,双旋转镜,1.干涉镜的放置位置 2.旋转镜/干涉镜组合至少8毫米前开始点测量,3.旋转激光头光靶如图3所示,4.旋转第二个旋转镜如图4所示,5.调整激光/三脚架使光束放在两个回转镜正确的位置,6.旋转第一旋转镜，以便它名义上面临着其所需的方向 。 7.倾斜和旋转旋转镜使光束放在正确第一个回转镜的正确位置，如图6所示。,8.角反射镜放到远处，回转镜放置位置如图7,9.旋转第一旋转镜使光束经过角干涉
4、仪和由此产生的双光束到角反射镜。 10.倾斜第一转折点镜，光束到达角反射器，在正确的高度，使用目标如图8。,11.去除光靶和旋转的第一旋转镜使返回的光束射到激光头的光靶的白点上。 12.倾斜第一把回转镜直到返回光束在同一高度的光靶上。 13.旋转的第一旋转镜直到光束射到光靶的目标，如图9所示。,14.移动角反射器的位置最接近的角度干涉仪。,15.如果有必要，水平和垂直激光光束返回到光靶。 16.重复步骤8到15直到返回光束射到光靶。 17.旋转激光光靶，如图11所示。检查是否达到可接受的信号强度的测量线。,平面度数据采集软件,对角线方法设置,选择设置/设置对角线法菜单栏，或单击工具栏上的按钮。
5、 设置步距,对角线法设置,对角线法激光的位置,新的激光线路,对角线法目标选择,选择对角线测量线,网格划分数据捕获设置,选择设置/网格设置菜单栏，或单击工具栏上的按钮。,网格设置对话框,数据标题对话框,网格法参考平面条目对话框,选择网格测量线,网格线路选择,平面度数据采集,符号惯例,平面度分析,对角线平面度等高线,网格平面度等高线,高程和旋转,对角线法替代投影,效果的比较图3（其中升降和旋转的分别45和75 ）图1（他们都是35）。,单位选择,影响平面度测量精度的因素,下列因素可能会影响测量的准确度： 光束对准误差 角度光学误差 底板尺寸局部膨胀 测量重复性,1.光束对准误差,Flatness base步距 Maximum alignment error 最大对准误差,