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1、U D C L 6 2 1 - 3 1 5 - 6 1 2 睿f D 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 G B / T 1 4 6 1 9 一 9 3 厚膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 Al u mi n a c e r a mi c s u b s t r a t e s f o r t h i c k f i l m i n t e g r a t e d c i r c u i t s 1 9 9 3 一 0 9 一 0 3 发布 1 9 9 3 一 1 2 一 0 1 实施 国家技术监督局 发 布 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 厚膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB/
2、T 1 461 9一 93 Al u mi n a c e r a m i c s u b s t r a t e s f o r t h i c k f i l m i n t e g r a t e d c i r c u i t s 生题内容与适 用范 围 本标准规定了厚膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的结构尺寸、 技术要求、 试验方法、 检验规则、 标志、 包装、 运输、 贮存。 本标准适用于厚膜集成电路用氧化铝陶瓷基片， 片状元件用氧化铝陶瓷基片亦可参照使用。( 以下 简称基片) 。 弓1 用标准 G B 1 0 3 1 表面粗糙度参数及其数 值 G B 1 9 5 8 形状和位置公差检测
3、规定 G B / T 2 4 1 3 压电陶瓷材料体积密度测量方法 G B 2 8 2 8 逐批检查计数抽样程序及抽样表( 适用于连续批的检查) G B 2 8 2 9 周期检查计数抽样程序及抽样表( 适用于生产过程稳定性的检查) G B 5 5 9 2 电子元器件结构陶瓷材料的名称和牌号的命名方法 G B 5 5 9 3 电子元器件结构陶瓷材料 G B 5 5 9 4 . 3 电子元器件结构陶瓷材料 性能测试方法 平均线膨胀系数测试方法 G B 5 5 9 4 . 4 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法介质损耗角正切值的测试方法 G B 5 5 9 4 . 5 电子元器件结构陶瓷材料性能测试
4、方 一 法体积电阻率测试方法 G B 5 5 9 8 氧化被瓷导热系数测定方法 G B 9 5 3 1 电子陶瓷零件通用技术条件 结构尺寸 3 门基片的长、 宽、 厚和最小孔尺寸列于表 1 . 表 1 长 x 宽厚度最小孔尺寸 (1 5 2 X 1 5 2 的所有尺寸 0 . 3 1 . 5 最小直径0 0. 2 5 最小边长。 . 4 0 3 . 2 相邻两孔之间的壁厚或边与孔间距离不小于基片的厚度， 且不小于 。 . 5 m m, 国家技术监仔局1 9 9 3 一 0 9 一 0 3 批准1 99 3一 1 2一 01实施 G B / T 1 4 6 1 9 一9 3 4 技术要求和试验方
5、法 4 . ， 材料性能 材料性能和试验方法列于表 2 。 表 2 材 料 性 能 试 验 方 法 项 目 测试 条 件单 位 A 9 6 9 6 % A I , O , 瓷 状 态 颜 色 体积密度 吸水率 维 氏 硬 度 抗 弯 强 度 线膨胀系数 导 热 率 比热 最 高 使 用 温 度 击 穿 强 度 体积电阻率 介电常数 ( 电容率) 介 质损 耗 角正切值 负荷 4 . 9 N 2 0 - - 5 0 0 2 0 - 8 0 () C 2 0 C 2 0 C 3 0 0 C 5 0 0 C 1 M Hz 1 M H z . g / c m % GPa M Pa 1 X 1 0 -
6、m m/ C W / ( m K) k J / ( k g K) kV / m m n c m 细密 白色 ) 3 . 7 0 1 5 要 2 7 4 6 . 5 - 7 . 5 6 . 5 - 8 . 0 2 0 . 9 O . 8 0 1 6 0 0 1 2 - l o l l 妻 1 0 “ 妻 1 0 9 - 1 0 ( 3 X 1 0 - 按G B 2 4 1 3 按GB 5 5 9 3 中 3 . 5 条 按G B 5 5 9 4 . 3 按GB 5 5 9 8 按G B 5 5 9 3中3 . 1 5条 按 G B 5 5 9 4 . 5 按 G B 5 5 9 3中3 . 1
7、0条 按G B 5 5 9 4 . 4 4 - 2 抗热震性 4 . 2 门基片经抗热震性试验后应无裂纹和破碎。 4 . 2 . 2 用 基片 作试样做抗热震 性试验， 其试验方法按G B 5 5 9 3 第3 . 7 条。 4 . 3外观 车3 - 1 外观缺陷项目的术语采用G B 9 5 3 1 第 1章。 4 . 3 . 2 外观要求和试验方法列于表 3 , G B / T 1 4 6 1 9 一9 3 表 3 外观要求 试验方法 项 目最大允许值， m m个数/ 面积 裂 纹 朴贬 墓 用与标准图样 ( 见附 录A) 对比进行目测。 检 查时可加灯光， 有分歧 时用2 0倍刻度显徽镜
8、测量。 对裂纹检查， 必要 时可用浸色液后再行目 测 瓷 疙 W l 。025、 污 聋 1 / 5 c m 凸 脊 高 度 。 . 0 25眨 获 1 / 5 c m 毛 刺 高 度 。 0 1 1 / 5 c m, 痕 迹 a ir 。 0 18 一左 贫 1 / 5 c m 斑 点 锈 点直径0 . 1 直 径 0 . 3 直径。 . 4 色 斑 暗 斑 缺 损宽 度 0 . 5 I 深 度 为 基 片 厚 度 的一 半 、二月一 1 / 5 c m, 凹 坑 N ft 0. 18 翰 一 1 / 5 c m, : .: 注: 每 5 c m， 上瓷疙、 毛刺、 凹坑三项缺陷不允许同时出
9、现 公差 公差项目、 数值列于表 4 , 表 4 mm 公 差 项 目 数值 优级1 级2级 厚度公差 长、 宽度公差 士7 % ( 但不小于 0 . 0 5 ) 士0 . 5 % ( 但不小于 0 . 0 8 ) 士 1 0 % 但不小于0 . 0 5 ) 士 0 8 % ( 但不小于 0 . 1 0 ) 士 1 0 % ( 但不小于0 . 0 5 ) 士 1 0 0 ( 但不小于0 . 1 0 ) GB/ r 1 4 61 9一 93 续表 4 公 差 项 目 数值 优 级1 级 2级 戈 线 公 差 翘 曲 度 垂直度 -I n 行 度 士 0 . 5 % ( 但不小于。 . 0 8 )
10、 0 . 0 5 / 2 5 ( 长) 长度尺寸的 。 . 3 % 长度尺寸的 。3 % 士0 . 8 % ( 但不小于 。 . 1 0 ) 0 . 0 8 / 2 5 ( 长) 但不小于。 . 0 5 长度尺寸的 。 . 4 % 长度尺寸的 。 . 4 0, o 士 1 % ( 但不小于。 . 1 0 ) 0 . 1 0 / 2 5 ( 长) 但不小于。 . 0 5 长度尺寸的 。 . 5 % 长度尺寸的 。 . 5 % 4 . 4 . 2公差项 目所对应的测量方法列 于表 5 , 表 5 公 差 项 目测 量 方 法 厚度公差 长 、 宽 公 差 划 线 公 差 用千分表、 游标卡、 光学
11、仪或其他能够保证测量精度的任何测量仪具 翘 曲 度 平行板法: 在基片自重作用下， 以4 5 . 角通过已经调整好间距的两平行板者为合格品 通过间距=翘曲度x基片长度+基片厚度 平行度按GP 1 9 5 8标准中有关规定测量 垂 直 度 按GB 1 9 5 8标准中有关规定测量 4 . 5 表面粗 糙度 4 . 5 . 1 R . : 0 . 3 - 0 . 8 p m, 4 . 5 . 2 用针 触式表面粗糙度 测量仪进行测量 。 5 检验规则 5 . 1 基片分交收检验和例行检验 5 . 2 所有检验均在供货单位质量部门进行， 必要时订货单位也可以派人共同进行. 供货单位提供检验 所需要的
12、一切条件， 并对检验结果负责 5 . 3 订货单位有权按本规则对提交批进行复验。 5 . 4 交收检验按G B 2 8 2 8 采用一次正常抽样方案， 其检 乡 ! 目、 检查水平、 合格质量水平列于表 6 . 表 6 检 验 项 目 技术要求和试验方法 条款 检 查 水 平 QL ) 合格质量水平 ( AQ L) 外 观 裂 纹 4. 3 I 0 . 2 5 其 他 2 . 5 0 公 差 翘 曲度 4 . 4 S - 4 1 .0 l 其他 5 . 5 若交收检验不合格， 该批瓷件应进行百分之百挑选后再次提交检验， 但必须使用加严检查， 若加严 检查仍不合格， 则不得再次提交验收。 5 .
13、 6 例行检验按G B 2 8 2 9 , 采用判别水平为. 一次抽样方案， 其检验项目 、 检查周期、 不合格质量水平 ( R Q L ) , 判定数组( A - R , ) 列于表 7 , G B / T 1 4 6 1 9 一9 3 表 7 检验项目 技术要求和试验 方法条款 检查周期 ( 月 ) R QLA -凡 材料性能4 . 1 按G B 5 5 9 3 第4 章进行例行检验 抗 热 震 性4 . 261 50 1 表面粗糙度4 . 563 00 1 5 . 7 若例行检验合格， 则本周期生产的基片经交收检验合格的批可以出厂或人库。 若例行 检验不合格 则本周期生产的基片停止交收，
14、 并将已经交收检验而未出厂的基片停止出厂， 已出厂的基片原则上退回 供货单位或双方协商解决。 6 标志 、 包装 、 运输 、 贮存 标志、 包装、 运输、 贮存按GB 9 5 3 1 第 6 章。 G B / T 1 4 6 1 9 一9 3 附录A 墓片表面疵病尺寸、 面积比拟标准图样 ( 补充件) mm ， 0 . 2 0 . 4 0 . 6 1 . 0 1 . 21 . 5 2 . 02 . 5 3 . 0 4 . 0 5 . 0 6 . 0 8 . 0 1 0. 0 : 0 . 8“盛 . . 。 。. . 1 2 . 0 1 4 . 0 1 6 . 0 2 0. 0即 . 0 4
15、0 . 05 1 1 . 0 : : : : .03007 二 直径 mm 0 . 1 面 8 1 m. 0 . 0 10. 21.03 0.0 .二 0 . 5 0 . 6 0 . 7 0 . 8 0 . 9 1 . 0 0 . 2 0 0 . 2 8 0 . 3 8 0 . 5 0 0 . 6 4 0 . 7 8 l. l0.95 8 1.9 2 . 0 ; 3.3 3 .54 1 . 5 1 . 6 1 .7 7 2 .0 1 1.72.27 2 . 5 4 2 . 8 33 . 14 2 .1 3. 4 6 . 2 .2 3 . 8 0 . 2 .3 4 .1 5 . 2. 41.52
16、 2. 5 1 . 91 . 2. 6 5 . 5 1 . 2.75 .72 2.86 .15 .二 2 .9 i .6 0 . 3. 0 7 . 06 . 4 . 1 3 . 2 3 . 3 7 . 5 4 8 . 0 4 8 . 5 5 3 . 4 3 . 5 3 . 6 3 . 7 3 . 8 3 ， 9 . 0 7 9 . 6 2 1 0. 1 7 1 0. 7 5 1 1 . 3 4 1 1 . 9 4 4. 1 1 . 12 .56 G B / T 1 4 6 1 9 一9 3 附加说明: 本标准由中华人民共和国机械电子工业部提出。 本标准由 国营七九九厂负责起草。 本标准主要起草
17、人王秀琳、 王玉功。 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/