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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 陶瓷劈刀外圆磨床完好要求 和检查评定方法 s J / T 3 1 0 9 3 一9 4 主肠内容与适用范围 本标准规定了 半导体集成电 路生产甩陶瓷劈刀外圆磨床的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于M V S -1 0 0 型劈刀外圆 磨床， 其它型号的 劈刀外圆 磨床， 亦可参照执行。 完好要求 几何精度 M V S -1 0 0 型劈刀外圆 磨床 几何精度完好要求主要检侧项月及其检侧方法， 见表1 , 表 1 序 号检 测 项 目 允 差 mm 检侧工具和检侧方法
2、图示 出 厂 标 准匕 “副 巴 州 v GI . 主轴的径向跳 动 0 . 0 2 20 .0 3 2 将指示器固定在床身 上， 使其测头触及磨头主 轴的锥体表面， 旋转主轴 检 脸 . 指示器读数的最大差 值就是径向眺动误差。 E - E -乌 目 G ， . 主轴轴向窜动 0 . 0 2 20 . 0 3 2 将钢球放在主轴 中心 孔中， 指示器固定在机床 上， 使指示器洲头垂直触 及钢球， 旋转主轴检验。 指示器读数的最大差 值为主轴的轴 简审动误 差 。 喊斗 L口 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准 1 9 9 4 - 0 6 - 0 1 实施
3、一3 9 7 一 S J / T 3 1 0 9 3 -9 4 续表 1 序号检 测 项 目 允 差 m m 检测工具和检测方法图示 出 厂 标 准 完 好 标 准 c , 工作 台移动对 主轴轴 线的 平 行度( 砂输主轴 轴线对工 作台 面的平行度) 0 . 0 4 5 0 .0 55 工作台和磨头分别位 于纵向和垂直行程的中 间位置。检测平尺放在工 作台面上， 其上放圆柱角 尺。指示器固定夹在主轴 的检具上， 使其测头触及 圆柱角尺表面， 旋转主轴 检 测 。 或主轴上装一侧量套， 指示器固定在工作台上， 使其测头触及测量套上 母线a和侧母线 b 。移动 工作台检验。 然后将主轴 转过
4、1 8 0 , ， 再检测一次. 两次测量结果的算术 平均值为测定值。a , b误 差分别计算. 几br- i 门 注 表中所列项目， 均为必测项目， 即评定的主要项目。 2 . 2 主要性能 e . 主轴转速: 9 0 0 , 1 5 0 0 , 2 0 0 0 r / c h i n ; 误差: 士1 o %0 b . 机床所附测最显微镜， 测量精 度为5 p m o 2 . 3 操作系统 2 . 3 . 1 各操作开关、 按键等应能灵活动作， 功能标志齐全、 明显。 2 . 3 . 2 各种附属装置齐全， 灵活可靠。 2 . 4 传动系统 2 - 4 . 1 各传动机构零、 部件无松脱现
5、象， 设备起动后， 各传动机构传动平稳， 无振动、 无冲击、 无杂声 。 2 . 4 . 2 砂轮架和纵拖板回转角度准确， 纵拖板限位可靠。 2 . 4 - 3 设备运转平稳， 无不规则抖动和冲击， 振动现象。 2 . 5 润滑系统 2 . 5 . 1 十个注油孔应注入不同要求的润滑油， 注入的润滑油清洁、 到位。 2 . 5 . 2 润滑油品的质量应符合润滑油质量指标。 2 . 5 . 3 润滑油路畅通， 油标清晰， 油窗明亮。 2 . 6 电气系统 2 . 6 . 1 电气系统装置齐全， 管线完整， 性能良好， 运行可靠。 2 . 6 . 2 电气箱内清洁， 布线整齐， 线路无破损老化。各
6、种线路标志明显， 连接可靠。 2 . 6 . 3 外部导线有完整的保护装置。线路外套管无脱落破损。 2 . 6 . 4 各种开关动作灵敏， 各种防护装置齐全， 安全可靠。 一3 9 8 一 S J / T 3 1 0 9 3 - 9 4 2 . 了 光学系统 2 . 7 . 1 显微镜镜头齐全， 完好清洁， 视场清晰。 2 7 . 2 测量系统测量准确， 精度可靠。 28 安全防护 2 - 8 . 1 设备保护盖板、 挡尘板齐全， 完整无损、 牢固、 可靠 2 . 8 . 2 各种联锁、 报警装置灵敏、 可靠。 外壳按地可靠。 2 . 9 维护保养 按 S J / T 3 1 0 0 2 -9
7、 4 Q 设备维护保养通则 执行， 3 检充、 评定方法 3 . 1 检查方法 完好要求所列内 容中， 几何精度按表3h 1. 方法检测; 主要性能和有参数要求的条款， 运用相 应的检测器具检测; 其它在设备现场， 采用主观法检查。 3 . 2 评定方法 3 . 2 . 1 对各系统完好要求所列内容中， 2 . 2 , 2 . 3 . 1 , 2 . 4 . 1 2 . 4 . 2 , 2 . 7 . 1 -2 . 7 . 2 , 2 . 8 . 1 - 2 . 8 1 2为主要项目， 其余为次要项目。 12 . 2 主要项目 有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目 有二项不符合 要求，
8、 亦为不完好 设 备。 3 , 2 . 3 完好设备的维护保养， 应达到优等设备标准。 附加说明: 本标准由电 子工业部经济 运行与体制改革司提出。 本标准由中国华晶电子集团公司组织起草， 本标准主要起草人: 赵杏春、 朱文晓、 顾军建， 查志文( 国营南京有线电厂 39 9 一 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/