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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 S J / T 3 1 0 6 8 -叫 离子注人机完好要求和检查评定方法 主胭内容与适 用范 围 本标准规定了L C -2 F型电能离子注入机和 2 0 0 MC -A型离子注入机的完好要求和检 查、 评定方法。 本标准适用于半导体器件集成 电路 生产用离子 注人机。 术语 能量一到达靶上， 离子所有的动能。 束流一单位时间内到达靶上的离子束的电荷量。 均匀性一表征注入离子剂量不均匀程度的相对标准偏差. 重复性一表征片间( 或批次间) 在相同条件下， 注人离子剂量不重复程度
2、的相对标准偏 曰1月了1 : n乙丹乙， 完好要求 ，J月叼。 2.2.差3 3 . 1 主要性能 3 . 1 . 1 能量范围:5 -2 0 0 K e V ; 3 . 1 . 2 束流强度:B io . 5 m A ; P )1 . 4 5 mA; AS +1 . 2 mA; S e 0 . 7 mA; 3 . 1 . 3 均匀性:a co . 7 5 %; 3 . 1 . 4 重复性:a -0 . 5 %; 3 . 1 . 5 真空度:6 . 6 5 X 1 0 - P a ; 3 . 1 . 6 注片尺寸:0 5 0 - O l 0 0 m m ; 3 . 1 . 7 注入角度: 。
3、。 一1 5 ， 可调。 3 . 2 操作系统 3 . 2 . 1 各操作开关、 按钮启动灵活， 定位可靠， 标志齐全。 3 . 2 . 2 制动、 限位装置齐全， 灵活可靠。 3 . 3 传动系统 3 . 3 . 1 上、 下料工作台 传动机构运动平稳， 无冲击和卡片现象， 定位正确， 无跳片现象。 3 . 4 离子发生系统 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 3 3 8 s J / r 3 1 0 6 8 -9 4 3 . 4 . 2 离子源放电稳定， 引出离子符合要求。 ， 、 ， _ ， 。_ ， 。 ， ，
4、 “ 一M，_ _ _ _ 谧 分 价 裕 y 下 卜 止 节 ， 反 童 分 拼 毕 不不 下大 士l u u , 2、二，1 3 . 4 . 3 聚焦波形良好， 扫描均匀， 中性束分离阱工作正常。 3 . 5 真空系统 3 . 5 . 1 机械泵工作稳定， 技术性能满足生产工艺要求， 具体完好要求参照S J / T 3 1 4 1 2 -9 4 执 行 。 3 . 5 . 2 扩散泵工作稳定功能可靠。 3 . 5 . 3 冷泵压编机工作稳定可靠， 过热保护灵敏， 冷却温度显示正确。 3 . 5 . 4 各 电 磁阀 、 气 动阀 、 手 动 阀 、 热 偶 计、 电 离 规工 作 正 常、
5、 可 靠 。 3 . 5 . 5 真空管路连接紧固， 密封性好、 无泄漏。 35 . 6 各种仪表、 热偶计等齐全、 完整无缺损， 指示灵敏、 可靠， 有有效期校验合格证。 3 . 6 电气系统 3 . 6 . 1 电气系统装置齐全、 管线完整， 性能良好， 运行可靠。 3 . 6 . 2 电气箱内清洁， 布线整齐， 线路无破损、 老化; 各种线路标志明显， 连接可靠。 3 . 6 . 3 各指示灯、 按钮开关齐全、 完整， 工作可靠 3 . 6 . 4 各电压、 电流表指示正确， 有有效期校验合格证。 3 . 7 冷却系统 3 . 7 . ， 冷却器具齐全。 3 . 7 . 2 冷却系统不能
6、有直线状的漏液流。 3 . 7 . 3 交换器、 水泵、 循环水、 离子交换树脂筒工作正常。 3 - 7 . 4 冷却液不变质， 无腐臭味。 3 . 8 安全防护 3 . 8 . ， 离子注入机没有专用接地装置， 其接地电阻小于 2 a , 3 . 8 . 2 防辐射装置T常到位。 3 . 8 . 3 机顶排气扇工作正常。 3 . 8 . 4 高压门锁开关运行可靠。 3 . 9 维护保养 3 . 9 . 1 定期清洗离子源， 更换机械泵油。 3 . 9 . 2 其它按S J / T 3 1 0 0 2 一9 “设备维护保养通则 执行 4 检查、 评定方法 4 . ， 检查方法 4 . 1 .
7、1 能量用Q-8 型静电高压表校测高压电源的指示值。 4 . 1 . 2 束流强度是在能量为 2 0 0 K e V时， 通过积分仪的电流表直接读得。 4 . 1 . 3 均匀性可任意选择B或 P进行注片， 注入量为1 x 1 0 “ e ro , 注人能量为 1 5 0 K e V， 每片 注人四靶， 在相同条件下共注入四靶， 用S T Z型数字四探针测试仪对每靶进行均匀性检验。 计 算程序、 方法如下。 用( 1 ) 式先计算每个测试点所得的四个薄层电阻 R K 的平均值: 3 39 s J / r 3 1 0 6 8 -9 4 9 R x R ; 一 x - i4 二 。 二 。 。 。
8、 . 。 二。 . . . . . . . . . ( 1 ) 根据每 个测试点的电阻R ; ， 用( 2 ) 式算出 每个靶的平均电 阻值R和用( 3 ) 式计算绝对标准偏差 a_ ( 4 ) 式计算相对标准偏差 。 。计算公式分别为: 名R R 一= i 一 一. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 2 ) 式中 : n为每靶 的测量点数 。 E( 尺 ， 一R Y 1 一 型 n - 1， 一 ， 。 。 二。 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9、 . . . . . . ( 3 ) 一 粉X 1 0 0 0 0 ，. ” ” ， ， 一 、 4 ) 4 . 1 . 4 选择不少于四批 1 6 靶重复性检测， 方法同4 . 1 . 3 。用四批 1 6 靶所计算的每靶的平均 电阻R i , 算出1 6靶的各平均电阻 R， 绝对标准_ 1 和相对标准偏差 。 。计算方法如 F: 习尺 R = 二 之 匕 一 ” ( 5 ) 刀 r 式中: ，为试验的靶数， 一般不少于 1 6 靶。 4 . 1 . 5 真空度用离子规管或电离真空计检测。 4 . 1 . 6 射线照射率是在能量 2 0 0 K e V情况下， 用F D-7 1 型内烁辐射仪
10、或 F J -3 4 7 A型射线 测试仪检测。 车1 - 了 对各系统完好要求， 在设备现场采用主观法检查。 4 . 2 评定方法 4 . 2 完好要求所列内容中， 3 . 1 . 1 - “ 3 . 1 . 5 , 3 . 2 . 2 , 3 . 8 . 1为主要项目， 其余为次要项 目。 4 . 2 . 2 主要项 目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 设备。 4 . 2 . 3 完好设备的维护保养， 应达到优等设备标准。 附加说明: 本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本标准由国营南京有线电厂组织起草。 本标准主要起草人: 颜亨迪( 电
11、 子工业部第4 8 所) 金四海、 顾军建、 吴正伟( 中国华晶电子集团公司) 3 40 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/