ESD防静电管理规范.pdf

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1、. . 防静电管理规范 目录： 1.目的 2.适用范围 3.引用标准 4.名词术语 5.防静电工作区系统 6.人体防静电系统 7.职责 8.培训 9.采购 10. 记录 11. 附录 . . 1.目的 为避免静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放的影响，从而产生短路、电阻漂移、 开路、工作性能退化等不良现象。特建立电子产品制造静电防护技术要求，以保证产品品质，增加可靠性，减 低不良率，节省产品工时成本，降低维修费用。 基于电子产品制造静电防护技术要求文件的颁布，提高员工对ESD的认识，加强员工自觉防止ESD现象之 观念，促进生产管理水平之提高。 2.适用范围 本文适用于所有

2、车间中生产制程及电子元器件的采购、运输、储存、检测过程中的静电防护。 3.引用标准 SJ/T 10694-1996 电子产品制造防静电系统测试方法 GB/T 15463-1995 静电安全名词术语 GJB 3007 - 97 防静电工作区技术要求 GJB 1649 - 93 电子产品防静电放电控制大纲 GB 12014 - 89 防静电工作服 SJ/T 10533-94 电子设备制造防静电技术要求 SJ/T 10630-1995 电子元器件制造防静电技术要求 ANSI / ESD STM3.1-2000 静电放电敏感产品防护用标准：离子发生器 ANSI / ESD S20.20-1999 建立

3、一个静电放电控制方案 保护电气和电子零件，装置和设备 4.名词术语 4.1 . 静电：一种处于相对稳定状态的电荷。它所引起的磁场效应可以忽略不计（静电可由物质的接触与分离、 静电感应、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生）。 4.2 . ESD ：Electronic Static Discharge，原意是指静电释放，即通过带静电区域直接接触或感应而引起的静 电电荷在不同电势物体上的转移。后常指静电防护，即避免静电释放的发生。 4.3静电感应：当带电物体靠近某一介质时，在该介质表面因感应而带电荷，并形成感应电场。 4.4ESDS ：Electronic Static Discharge

4、Sensitive，静电放电敏感（的） ，通常用来指静电敏感元器件。 4.5防静电工作区：由各种防静电设施、器件及明确的区域界限形成的工作场地。 4.6静电敏感度： Electrostatic Sensitivity，元器件所能承受的静电放电电压值。 4.7表面电阻 / 点对点电阻：在与材料的同一侧面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过的电流 的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。 4.8 . 体积电阻 / 对地电阻 / 系统电阻：在与材料的相对两面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流 过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。 4.9摩擦起电：当使两种材料接触或相互

5、摩擦后分离时，产生静电荷。 4.10摩擦电压：物体被摩擦后，表面所带静电荷的电压。 4.11 ESD 损伤：由静电放电引起的电子元器件性能退化或功能失效。 4.12消电时间（ Decay Time） ：一个静电压从其初始值降低到一个给定值（通常是初始值的10% ）所需要的时间。 注：国际惯例对于小于1E6 欧姆的电阻使用10V 电压测量，大于或等于1E6 欧姆的电阻使用100V电压测量，防静 电工作区系统 5.1防静电工作区的划分： 5.1.1根据 GJB 1649规定的静电放电电压敏感的静电放电敏感元器件组件和设备的分级. 静电放电敏感产品按敏 感度电压被分级为: 静电敏感度级别静电敏感电压

6、（人体模型 HBM ） I 级01999V II 级20003999V III级400015999V . . 根据该项标准的规定，所要求的ESD 控制大纲一般只包含对I 和II 级敏感产品的防护。现按照元器件静电敏感度和生 产线实际情况如下： 5.1.1.1 LED芯片的静电敏感度相对较高，生产环境相对干燥, 凡是直接操作的半成品、成品生产线均定为I 级； 5.1.1.2 仅仅是器件的存储和运输，也不需要严格的防静电措施，理由是产品在这个时候没有被加工。把这些区 域或车间定为 II 级； 5.1.1.3 按照上述理由，现规定敏感级别为： 级别区域 I 级固焊车间、灌胶车间、模压车间、外观、分光

7、、包装等 II 级成品包装区域、货仓区域，生产仓，收料仓等 5.1.2公司内部由黄、黑双色斑马线围起的区域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工作区。 5.1.3元器件敏感度分级由QC1 ESD 工程师按后附录1 ESDS 元器件分类酌情分级，并确定。 5.2防静电工作区基本环境要求 5.2.1防静电工作区应保持洁净，避免有灰尘堆积或漂浮的状态发生 5.2.2车间内温湿度的控制结合车间的实际情况定为： 区域温度湿度 万级洁净室21 2 C % % 10 万级洁净室21 2 C % % 普通车间23 3 C % % 5.2.3在不对产品造成有害影响的前提下，允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境

8、湿度。 5.2.4防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志，见附录14。 5.2.5要求使用防静电地板或在普通地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地。禁止直接使用木制地板或铺设毛、 麻、化纤地毯及普通地板革。 5.2.6天花板及墙壁建议使用防静电材料制品，一般情况下允许使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑料制 品。 5.3防静电工作区接地系统 5.3.1应有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10 欧姆，为保证人员安全，在与人员直接接触的地方应加 装 1 兆欧姆限流电阻。接地线的要求如下： 接地线截面积接地电阻要求 接地总线不小于 100mm 2 的铜制导线小于 10 欧姆ESD线不得直接

9、接在电源零线上。ESD线不得 与防雷地线共用。使用三相五线制供电，其大 地线可以作为ESD地线，但需保证电源地线与 零线不能搭接。 接地支干线不小于 6 mm 2 的铜制导线小于 10 欧姆 设备和工作 台的接地线 不小于1.25mm 2 的多股或单 股的铜制绝缘套导线 小于10 欧姆或 0.8兆欧 1.2兆 欧 ESD地线应用绿色绝缘套标识。台垫等物品的接地配件按照来料的颜色使用。 5.3.2厂房接地总线的接地电阻小于10 欧姆，由行政部负责定期检查，周期为一个月一次。并填写厂房接地电 阻测试记录表 。 5.3.3车间内部的设备和工作台的接地线的接地状况由PE负责定期检查，周期为3 个月一次

10、。并填写工作台地 线接地电阻测试记录表。 5.3.4测试台的防静电设备，工器具的接地由TE负责定期检查，周期为3 个月一次。并填写工作台地线接地电 阻测试记录表 。 5.4防静电区域设备及辅料要求 I 级区域II 级区域 防静电安全工作台防静电安全工作台 防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车）防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车） 防静电腕带防静电腕带 防静电工衣（帽）防静电工衣（帽） 防静电工鞋防静电工鞋 . . 防静电测试架 离子风机（离子棒/离子风枪）（视工序而定） 防静电烙铁（如需使用烙铁） 5.5防静电工作区的ESD技术要求 5.5.1防静电地板 5.5.1.1 用防静电PV

11、C地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进行清洁，严禁使用强酸、强碱或能溶解PVC材料的化 学溶剂进行清洗，如果属于更严重的污渍，可以使用异丙烯基乙醇清洁。 5.5.1.2严禁带有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦划、拖拉。 5.5.1.3不能将硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如发生以上情况，应立即清洁。 5.5.1.4使用防静电地板蜡水进行定期涂敷、养护，一般6 个月一次。 5.5.1.5地板蜡的电阻小于1E9欧姆。 5.5.1.6地板安装时应满足的ESD技术指标包括：表面电阻值和系统电阻值均在1E41E9欧姆范围以内。 5.5.1.7 生产部应及时向行政部要求对防静电地板进行打蜡维护，行政

12、部做好地板打蜡后应及时通知QC1部 ESD工 程师。 5.5.1.8对于 K4洁净室的地板，经IE 评估且经过ESD工程师的认可，可以不做地板打蜡。 5.5.1.9 QC1部 ESD工程师应在行政部对防静电地板打蜡后做一次防静电地板表面电阻、系统电阻测试， 测试方法见 附录 2，并填写防静电地板电阻测试记录表。 5.5.2防静电安全工作台（含测试台） 5.5.2.1 各区域的防静电安全工作台由负责该区域的PE或 TE确定范围。例如：回流焊后的检查台、QC1检查台、修 理台和测试台等。 5.5.2.2 防静电安全工作台基本要求和禁止项目 要求禁止 工作台表面铺设防静电台垫，同时台垫必须接地。 特

13、殊情况可以没有台垫，但需经ESD工程师认可。 工作台上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、普 通泡沫等容易产生静电的杂物. 配备腕带接头、ESD地线、离子风机（可选） 、防静 电工具（可选）和防静电测试架 距离 ESDS 元器件 30 厘米以内有摩擦电压高于200V 的物件 5.5.2.3在防静电区内使用不符合防静电要求的物料且必须时，必须得到QC1 ESD工程师的评估和认可。 5.5.2.4防静电台台面应满足ESD技术指标。表面电阻值和系统电阻值均在1E41E9欧姆范围以内。 5.5.2.5防静电台椅子应满足ESD技术指标。表面电阻值和系统电阻值均小于1E9 欧姆范围。 5.5.2.6防静电胶

14、帘的表面电阻应在1E41E11欧姆内。 5.5.2.7PE应每 6 个月做一次相应的工作区域内的防静电台垫和防静电工椅电阻测试，防静电台垫测试方法见附录 3，填写防静电台垫电阻测试记录表。防静电工椅测试方法见附录8，填写防静电工椅测试记录表， 如果有不合格的，须及时更换。 5.5.3防静电辅料 / 工具 5.5.3.1防静电溶剂瓶：系统电阻在1E41E11欧姆范围。 5.5.3.2防静电烙铁 / 焊接工具：从热的端头到地的电阻应小于10 欧姆。 5.5.3.3防静电文件袋 ( 夹): 表面电阻在1E41E11欧姆范围。 5.5.3.4PE应每 6 个月做一次防静电辅料电阻测试，测试方法见附录7

15、，填写防静电辅料电阻测试记录表。 5.5.4防静电包装及容器 5.5.4.1防静电容器包括 ESDS原料包装袋（盒/ 盘） 、装板的料盒、等一切包装、储存ESDS的容器。 5.5.4.2允许使用局部抗静电涂料对容器表面进行处理，但使用效果必须由相关PE定期检查。 5.5.4.3防静电容器应满足ESD技术指标：表面电阻( 包括内外表面) 在 1E41E11 欧姆范围，系统电阻在1E41E10 欧姆范围。如果产品或产品的金属部分不直接与防静电容器接触，则允许防静电容器的电阻小于1E4欧姆。 PE应每 6 个月做一次防静电容器（包括吸塑、托盘、料箱等）表面电阻和体积电阻测试，测试方法见附录 4。填写

16、防静电周转容器电阻测试记录表，测试结果由PE保存半年，并在符合标准的容器上做标记。QC2 应按 SEF对来料的包装袋和容器进行测试，并填写防静电包装袋容器电阻测试记录表 。 5.5.5防静电运输工具及存放架等 . . 5.5.5.1防静电运输工具包括ESD运输车、 ESD小推车等 5.5.5.2为保护 ESDS不受到外部强静电场的影响，运送ESDS的防静电运输工具应由高导电性材料（建议使用不锈 钢）制作，车子经常固定时要求硬接地。其对地电阻应小于10 欧姆。 5.5.5.3当运输车由不锈钢组成时，且经常移动时，其对地电阻应小于1E9 欧姆。 5.5.5.4 存放架的表面电阻和对地电阻应小于1E

17、9欧姆。 5.5.5.5 防静电运输工具应满足ESD技术指标：表面电阻和对地电阻小于1E9 欧姆。 PE应每 6 个月做一次防静电运 输车、 ESD小推车之台面对轮脚系统电阻测试，测试方法见附录5。填写防静电运输工具/ 存放架电阻测 试记录表，测试结果由PE保存半年，并在符合标准的运输工具上做标记。 5.5.6除静电离子风机/ 离子棒 5.5.6.1 当防静电区域内不可避免的需要使用会产生高静电的材料时，且该材料要求被放置在离ESDS 30厘米内时， 必须使用离子风机或离子棒。 5.5.6.2 对于不能接地又直接接触ESDS元件的物体，必须保证其保持在零电位状态，必要时，可以使用离子风机消 除

18、在这个过程中产生的静电。 5.5.6.3 离子风机在使用的过程中会产生较大功率的RF信号，因此进行通信产品测试的车间不适用离子风机。如果 要用，则需要通过QC1 ESD工程师的评估。 5.5.6.4 悬挂式离子风机应悬挂在离工作台面60 厘米的高度， （特殊工位可例外，但须经ESD工程师认可）离子风 机的出风口不能有异物阻挡。离子风机的平衡电压保持在50V 以内，消电时间（从1000V中和到 100V）应 小于 10 秒（高风速） 。 5.5.6.5 台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域3045 厘米左右，以保证有足够的覆盖范围和快速的静电消 除。离子风机的出风口不能有异物阻挡。离子风机的

19、平衡电压保持在50V 以内，消电时间（从1000V 中和 到 100V）应小于3 秒（高风速）。 5.5.6.6 离子棒应悬挂在合适的工作高度以保证除静电效果，离子棒的平衡电压应保持在50V 以内，消电时间（从 1000V中和到 100V）应小于60 秒。 5.5.6.7 QC1 ESD工程师应每6 个月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试，填写 除静电离子发生器测试记录表， 对不符合要求的离子风机，应及时处理。 5.5.7其它防静电物料及相关要求 5.5.7.1 不在上面列出来的物料则按一般防静电要求，表面电阻在1E41E11欧姆内，系统电阻在1E41E11欧姆内。 5.5.7.2 特殊情况

20、下，如果找不到合适的供应商，又经过ESD专员的评估，确认不会对产品构成ESD隐患的情况下， 可以引入表面电阻或体积电阻小于1E11欧姆的物料。 6人体防静电系统 6.1防静电腕带 6.1.1直接接触ESDS的任何人员都应按规定佩带防静电腕带（俗称静电带），禁止使用无线防静电腕带。 6.1.2防静电腕带的接触线应内置一个1 兆欧姆电阻，以保证人体安全以及快速泻放静电，防静电腕带的腕带应 是导电性的，表面电阻应小于1E3 欧姆。同时应保证防静电腕带与人体皮肤有良好的接触，系统电阻应小 于 35 兆欧姆，且使用鳄鱼夹或插头座可靠的连接在ESD线上。 6.1.3应每天一次测量防静电腕带的系统电阻，由拉

21、长填写 静电带检查记录表 ，检查不合格时应交由修理检修， 不能修复时，应及时更换。 6.2防静电鞋 / 防静电鞋套 6.2.1所有进入防静电区域的人员都应穿用防静电鞋/ 鞋套，防静电鞋/ 鞋套的使用要保证鞋的系统电阻在 1E53.5E7 欧姆范围内。 应每天一次测量防静电鞋/ 鞋套的系统电阻，由拉长填写防静电鞋/ 鞋套检查记录 表 ，检查不合格时应及时更换。 6.3防静电工作服 6.3.1防静电工作服包括 防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋（鞋套）和工帽，防静电工作服要求使用 导电网格防静电绸制作，制造要求应符合GB 12014 之规定，其各部分之间应存在电气连续性。工作服的设 计应能保持在

22、穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。 6.3.2进入防静电区域时，防静电工作服、工鞋和工帽要求穿着整齐，全部纽扣（拉链）要系好（拉完全），头发 . . 必须包在工帽内，不能有外露。 6.3.3不同使用人员之防静电工作服按颜色区分： 人员普通工作区域及10 万级洁 净室 万级洁净室 生产部作业员工白色的防静电服（帽）黄色防静电连体服帽 品质部员工粉红色的防静电服（帽）粉红色防静电连体服帽 工程人员蓝色的防静电服（帽）蓝色防静电连体服帽 生产管理人员白色的防静电服（帽）白色防静电连体服帽 外来人员白色的防静电服（帽）白色防静电连体服帽 6.3.4购买防静电工衣时应满足ESD技术指标：表面电阻值（

23、1E5欧姆 1E10欧姆） 。 6.3.5生产部应每半年做一次防静电工衣表面电阻测试，测试方法见附录6，并填写 防静电工衣表面电阻测 试记录表，对于不符合指标要求的防静电工衣，予以更换。 6.4防静电手套 / 指套 6.4.1由消散性材料制成，人体穿戴对地电阻在1E51E11欧姆范围，摩擦电压小于50V。 6.5人体综合接地测试系统 要求手腕带 - 人体工鞋 - 人体指示灯 电阻下限7.5E5 欧姆1E5欧姆 电阻上限3.5E7 欧姆3.5E7 欧姆 电阻在范围以内绿灯 电阻不在范围以内红灯 6.5.1每个进入防静电区域的人员须进行人体综合接地效果测试，如果亮红灯，则表明测试失败，应更换工鞋/

24、 鞋 套或手腕带重新进行测试并通知相关人员。 6.6人员防静电一般要求 6.6.1要求进入防静电区的人员尽量穿着棉质衣物，尽量避免穿着尼龙等合成纤维制品，以免产生强电场导致静 电感应放电现象。 6.6.2在防静电工作区内不得大声喧哗，坐立姿势端正，避免不必要的走动，以及不必要的大幅度身体运动，如 弯腰、晃动手臂等，在防静电工作区内如有必要走动，应缓步行走，禁止奔跑。 6.6.3接触静电敏感器件及组件之前应戴好防静电腕带，防静电腕带再接入防静电地线系统，要保证腕带与皮肤 接触良好，在戴腕带处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。 6.6.4手持静电敏感器件及组件时应避免接触其导电（金属管脚）部分

25、，操作过程中应尽量减少对静电敏感器件 及组件的接触次数。按需要逐一取用，不得一次倒出一堆散乱地放在工作台面上，确需暂时叠放时必须用 防静电材料隔离开。 6.6.5外来人员参观，必须有本公司人员全程陪同，按参观路线行进，不得随意走动，不得进入机器外围的斑马 线地标，更不得随意触摸产品。 7职责 7.1生产经理、课长、组长等管理人员，职责包括： 7.1.1负责做好物料、作业员、及其他进出防静电工作区人员及物品的出入管理，确保其按ESD要求正确着装， 7.1.2确保作业员及在防静电工作区内的人员正确使用ESD设备，包括防静电工衣、防静电工帽、防静电工鞋、 防静电腕带、防静电台垫、离子风机、ESD料盒

26、和 ESD地板等； 7.1.3确保无关人员不接触产品，不对产品产生静电释放； 7.1.4对怀疑是静电损伤的产品，需要保存样品并报告给相应的部门作失效分析； 7.1.5定期检查防静电工衣、工鞋、腕带的ESD品质，如有品质异常，及时向采购部提出采购申请更换； 7.1.6每天检查ESD设备、台垫等的接地状况（目视），确保接地线正确的连接到ESD总线上； 7.1.7每六个月要求服务组对防静电地板进行打蜡。 7.2 ESD 工程师 /技术员，职责包括： 7.2.1统筹全厂的ESD控制，定期对生产线的静电防护水平做出评估，并给出改善意见，提高其静电防护水平； 7.2.2负责寻找新的防静电用品的供应商，评估

27、新购的防静电用品的性能； . . 7.2.3协助人力资源部进行ESD培训； 7.2.4监督各个部门的ESD管理情况，及时反映ESD状况； 7.2.5对生产线的静电损伤样品作失效分析，解决工序中的ESD情况； 7.2.6定期检查除静电离子发生器的性能，确保其正常工作； 7.2.7负责对打蜡后的地板进行测量。 7.2.8责成行政部保证车间内的相对空气湿度在各车间规定的范围内； 7.2.9定期检查ESD总线的接地状况，确保其状况良好； 7.2.10定期使用专用的防静电地板蜡水对防静电地板打蜡，打完蜡后进行电阻测试。 7.3人力资源部，职责包括： 7.3.1负责对新进厂的员工进行初步的防静电知识培训；

28、 7.3.2定期对员工进行防静电知识培训，并进行培训的再审核。 7.4开发部，职责包括： 7.4.1开发部在设计新产品时应考虑到器件的静电敏感度，尽量选用具有最大静电抗扰度的元件； 7.4.2在新产品设计阶段应尽量引入防静电网络到电路设计中去，以保护产品里面的静电敏感元件； 7.4.3要求供应商提供元器件静电敏感度的级别。包括人体模型(HBM)、机器模型 (MM)和带电器件模型(CDM) ( 应 列明何种标准 ) ； 7.4.4做好 SEF （包括防静电指标，part number等）给 QC部，供 QC部抽测来料。 7.5品质部，职责包括： 7.5.1确定 ESDS 敏感级别，对成品进行静电

29、放电模拟测试，确认静电敏感度； 7.5.2根据 SEF 负责抽测、监控静电敏感器件来料和静电敏感器件产品的品质，如发现异常，应及时反馈信息给 ESD工程师或相应的部门。 7.6设备工程师 / 技术员，职责包括： 7.6.1定期检查防静电设备，确保其可以正常使用，包括防静电台垫、地垫、防静电容器、运输工具和其它辅助 工具的表面电阻和系统电阻测试等； 7.6.2定期检查台垫和机器的接地状况，确保接地良好。 7.7货仓职责包括： 7.7.1负责货仓防静电措施的维护和管理。 7.7.2定期通知ESD工程师进行检测使用中的防静电用具。 8培训 8.1对所有可能接触或接近ESDS的人员， 必须进行相关的E

30、SD知识培训， 并加以教育与训练，使之树立有效的ESD 防护观念。培训的有效期为一年。人力资源部应填写员工防静电知识培训考核记录表。 8.2防静电培训的内容包括： 8.2.1静电学基础和静电损害 8.2.2静电性能测试 8.2.3防静电的标示与包装 8.2.4防静电控制 8.2.5防静电设备的使用和检测（相关人员） 9采购 9.1 所有防静电用品的采购均须要按照附录16防静电制品采购流程图执行 10记录 序号记录名称责任部门测量周期保存期限 1 防静电地板电阻测试记录表设备部6 个月抽测6 个月 2 防静电台垫电阻测试记录表品质部6 个月抽测6 个月 3 静电带检查记录表生产部每天1 个月 4

31、 防静电包装袋容器电阻测试记录表品质部每一批抽测6 个月 5 防静电周转容器电阻测试纪录表品质部6 个月抽测6 个月 6 除静电离子发生器测试记录表品质部6 个月抽测6 个月 . . 7 防静电手套指套电阻测试记录表品质部每一批抽测6 个月 8 防静电运输工具存放架电阻测试记录表品质部6 个月抽测6 个月 9 防静电工衣表面电阻测试记录表生产部6 个月抽测6 个月 10 员工防静电知识培训考核纪录表人力资源部一年一年 11 防静电辅料电阻测试记录表品质部6 个月抽测6 个月 12 防静电鞋鞋套测试记录表生产部每天6 个月 13 厂房接地电阻测试纪录表设备部1 个月抽测一年 14 工作台地线接地

32、电阻测试纪录表品质部3 个月抽测1 个月 15 防静电椅子电阻测试记录表品质部6 个月抽测6 个月 11附录 a 附录 1： ESDS元器件分类 I 级： （0V 1999V ） 序号元器件类别条件及说明 1 微波器件包括肖特基二极管，点接触二极管，频率大于1GHz 的二极管 2 分立 MOS 场效应管包括 VWOS及 VDMOS等等 3 表面声波（ SAW ）器件 4 结型场效应管 5 电荷耦合器件 6 精密稳压二极管 7 运算放大器包括双极型工艺及MOS 工艺 8 超高速集成电路包括 ECL 、HCMOS、FAST 等工艺 9 其他集成电路包括 CMOS、 PMOS 、NMOS 、TTL等

33、 10 薄膜电阻器 11 混合电路使用 I 级静电敏感元器件组装的混合电路 12 可控硅TA=100 TO 0.175A II级： （2000V 3999V ） 序号元器件类别条件及说明 1 分立 MOS 场效应管包括 VMOS 、VDMOS等 2 结型场效应晶体管 3 运算放大器包括双极工艺和MOS 工艺 4 超高速集成电路 5 其他集成电路包括 CMOS 、PMOS 、NMOS、TTL等 6 精密电阻网络包括 ECL 、HCMOS、FAST 等工艺 7 混合电路使用 II 级静电敏感元器件组装的混合电路 8 低功率双极工艺晶体管PT100mW, IC100mA 附录 2： 防静电地板表面电

34、阻/ 系统电阻测试方法 1.按下图确定防静电地板测试点 . . 每一个方格均代表一块地板，测试用的电极一个放在中间的地板上，另外一个电极依次放在此地板相对角 的四块地板上面，测量其表面电阻值。 2.随机抽样测试点不少于20 个区域，按下图所示，每点测量地板4 点表面电阻值，并记录数据 3.随机抽样测试点不少于5 个区域，按下图所示测量地板系统电阻，并记录数据 附录 3： 防静电台垫 / 地垫电阻测试方法 1.按下图所示，每张台垫/ 地垫测量2 组表面电阻值，并记录数据 . . 2.按下图所示，每张台垫/ 地垫测量2 组对地电阻值，并记录数据 附录 4： 防静电容器电阻测试方法 1.按下图所示，

35、测量容器表面电阻值，并记录数据 2.按下图所示，测量容器体积电阻值，并记录数据 . . 附录 5： 防静电运输工具/ 存放架测试方法 1.按下图所示，测量运转车/ 存放架电阻值，并记录数据 附录 6： 防静电工衣表面电阻测试方法 1.将防静电工衣平坦展开放置在光滑的绝缘电阻大于1E12 欧姆的平板表面上 2.测 试 用 两 电 极 应 顺 着 导 电 丝 放 置 3.按上图所示，测量3 个测试点：同片测试（裤腰以上一点对裤腰以下一点）；袖对腰下部位测试（袖对裤 腰以下一点）（对于连体服，用袖对脚测试取代袖对腰测试）；袖对袖测试。其中连体服需要加测鞋套的对 地电阻。 附录 7： 普通防静电材料电

36、阻测试方法 1对于新引入的物料要求随机抽样至少三个样品，每一个样品至少随机测量三次。材料的测试纪录应包括表 面电阻和体积电阻。 2表面电阻的测试方法：将材料放置在一个光滑、平整、洁净，且表面绝缘电阻大于1E12 欧姆的台面。在 材料表面放置两个测试电极(30cm 是建议值， 如果材料小于这个尺寸，则电极放在两对角面上) ，如下图所 示: . . 3体积电阻的测试方法：将材料放置在一个光滑、平整、洁净，且表面电阻小于10 欧姆的金属面上，一个 电极放置在金属面上，另外一个电极放置在被测物上。对于烙铁， 只需要测量热的金属头到地之间的电阻。 附录 8： 防静电工椅的测试方法 1.要求随机抽样至少5

37、 个样品，每一个样品至少随机测量三次（三个点）。防静电工椅的测试纪录应包括表面 电阻和体积电阻。 2.表面电阻的测试方法：在表面放置两个测试电极，如下图所示: 3.体积（对地）电阻的测试方法：一个电极放置在金属面上，另外一个电极放置在椅子上。注意，在生产线 . . 进行定期检测的时候，允许直接把一个电极放置在防静电地板上，另外一个电极放置在椅子上。 附录 9： 物体表面的静电压测量方法 1.使用 Simco FMX002静电压表去测量物体表面的静电压，要注意以下几点：仪表的红外灯指示器要两个重合， 才算对焦，此时仪表距离被测物大约2.5厘米。静电压表在使用的过程中需要接地。否则读数不准确。静

38、电压表的读数的单位为KV 。测试图例如下: 附录 10： 悬挂式 / 台式离子风机测试方法 1.测量悬挂式离子风机应使用标准的离子风机测试仪，在评估新引入的离子风机时候需要测量标准的12 个点 的平衡电压和消电时间。在平时的定期测量时，只需测量3 个风扇口正下方的平衡电压和消电时间。标准 的 12 个点（以小网格表示）如下所示： 2.对每一个点均应测量不少于三次。对每一个测试点的平衡电压的测量时间不得少于1 分钟。应纪录平衡电 压的最大（偏移零点最远）值。消电时间应纪录最大值。 . . 3.对新引入的悬挂式离子风机的要求列表：（ ANSI / ESD STM3.1-2000 / ANSI /

39、ESD S20.20-1999只对平衡 电压提出了要求，未强制规定消电时间，因此，下表的平衡电压是强制执行，消电时间只是建议值） 位置 低风速高风速 平衡电压 (V) 消电时间 (S) 平衡电压 (V) 消电时间 (S) Center TP5&TP8 0 + 50 V 15 s 0 + 50 V 10 s TP2&TP11 25.0 s 20.0 s 30 cm Left TP1&TP10 0 + 50 V 25.0 s 0 + 50 V 20.0 s TP4&TP7 20.0 s 15.0 s 30 cm Right TP3&TP12 0 + 50 V 25.0 s 0 + 50 V 20.

40、0 s TP6&TP9 20.0 s 15.0 s 4.测量台式离子风机应使用标准的离子风机测试仪测试，在评估新引入的离子风机时候需要测量标准的12 个 点的平衡电压和消电时间。在平时的定期测量时，只需测量正对风扇口30 厘米和60 厘米两个点的平衡电 压和消电时间。标准的12 个点（以黑竖条表示）如下所示： 5.对每一个点均应测量不少于三次。对每一个测试点的平衡电压的测量时间不得少于1 分钟。应纪录平衡电 压的最大（偏移零点最远）值。消电时间应纪录最大值。 6.对新引入的台式离子风机的要求列表：（ANSI / ESD STM3.1-2000 / ANSI / ESD S20.20-1999只

41、对平衡电 压提出了要求，未强制规定消电时间，因此，下表的平衡电压是强制执行，消电时间只是建议值） 位置 低风速高风速 平衡电压 (V) 消电时间 (S) 平衡电压 (V) 消电时间 (S) . . center 1ft(TP2) 0 + 50 V 5.0 s 0 + 50 V 3.0 s 2ft(TP5) 8.0 s 6.0 s 3ft(TP8) 12.0 s 10.0 s 4ft(TP11) 20.0 s 15.0 s 30 cm Left 1ft(TP1) 0 + 50 V NA 0 + 50 V NA 2ft(TP4) 30.0 s 25.0 s 3ft(TP7) 15.0 s 12.0

42、 s 4ft(TP10) 25.0 s 20.0 s 30 cm Right 1ft(TP3) 0 + 50 V NA 0 + 50 V NA 2ft(TP6) 30.0 s 25.0 s 3ft(TP9) 15.0 s 12.0 s 4ft(TP12) 25.0 s 20.0 s 附录 11手套 / 手指套的测量方法 1.穿戴对地电阻测试：操作员把测试仪的两个电极分别放在两块互相绝缘的金属板上面, 然后操作员戴上手 套 /手指套。操作员把戴有手套/ 手指套的大拇指和食指分别按住那两块金属板，然后按下测量开关，并等 读数稳定后读出测试仪上的读数，并记录下来。操作员分别用大拇指和其它的手指按住金

43、属板，然后读出 测试仪上的读数，并记录下来。每一种手套/ 手指套均需要测量5 个（含）以上的样品，每次测量均记录最 大值。 2.表面摩擦电压测试：操作员戴上1 兆欧的标准手腕带，鳄鱼夹夹在接地线上面并确认接地良好。操作员戴 上手套 / 手指套。一只手拿取高绝缘的塑料板，另一只手/ 手指摩擦塑料板十次，然后测量手套/ 手指套上面 的静电压，记录最大值。注意：仪器要离绝缘板30 厘米以上，以免影响读数。每一种手套/ 手指套均需要 测量 5 个（含）以上的样品，每次测量均记录最大值。 附录 12 防静电标准列表： 表面电阻系统 / 穿戴电阻消电时间摩擦 / 平衡电压 防静电地板 / 防静电台垫 /

44、地垫1E41E91E41E9 防静电包装袋 / 容器1E4 1E111E4 1E10 防静电小推车 / 周转车小于 1E9小于 1E9 防静电镊子 / 吸钳 / 吸锡器1E4 1E111E5 1E10 防静电文件袋 ( 夹 ) 1E4 1E11 防静电烙铁小于 10 防静电架子 / 元件架 /防静电椅小于 1E9小于 1E9 设备 / 工作台接地电阻（直接）小于 10 设备 / 工作台接地电阻（带电阻）0.8E61.2E6 厂房接地电阻小于 10 一般防静电物料1E4 1E111E4 1E11 防静电工作服1E5 1E10小于 1E9 防静电工作鞋小于 1E9 防静电手腕带小于 1E31E62

45、0% 防静电手套 / 指套1E5 1E1150V 防静电工作鞋1E5 3.5E7 防静电手腕带7.5E5 3.5E7 防静电离子风机（悬挂式）10Second ( 正下方 ) 50V 防静电离子风机/ 风枪（台式）3Second ( 正中央 ) 50V . . 附录 13 测量仪器的选择 1 表面电阻及体积电阻的测量应由专用的电阻表测量，所有电阻大于1E3 欧姆的均由兆欧表测量（具备10V 和 100V测试电压），所有小于1E3 欧姆的均由万用表测量。所有接地线的接地电阻均由数字万用表测量。 2 静电中和时间和平衡电压由离子风机测试仪测量，（显示精度为1V，最高量程为1KV ，时间精度最为0.

46、1S ） 3 材料的摩擦电压由非接触式静电压表测量（显示精度为10V，最高量程为20KV，测量精度10% ） 附录 14 防静电标识 见到此标识，则说明此工作区域或产品是静 电敏感的，进入此区域或操作此产品时需要 做好防静电准备。 见到此标识，则说明此产品是静电敏感的， 同时也是经过防静电包装的，可以进行运输 使用。拆开包装前需要做好防静电准备。 用黄黑相间的斜条纹隔开防静电工作区域与普通工作区域，线条宽度为5 10 cm ， 如上图所示。 附录 15 定期检查的覆盖范围 1.防静电制品均须定期检查，检查的范围按照下表来定 全检抽检 类别工衣、工鞋、手腕带，离子风机和烙铁台垫、地板、吸塑盒和别

47、的防静电用品 2检查的比率如下： 2.1 工衣、工鞋、手腕带，离子风机和烙铁均为全测。 2.2 防静电地板的测试比率按照厂房验收时的测试图进行，即每层楼不少于50 个点。 2.3 防静电台垫和防静电工椅等生产线的固定用品每条生产线测试不少于3 个。 2.4 每种防静电吸塑盒抽测不少于20 个。 2.5 防静电手套 / 手指套等易耗品，每批测量不少于10 个人每天的用量。 2.6 剩余的防静电用品不得少于10 个。 附录 16 防静电制品采购流程图 各个相关部门向ESD工程师提出所需的防静电制品 有无评估 报告？ 已有评估报告从无评估 . . 相关部门复印评估报告及所 选的供应商的报价单连同PR 单并经制造部经理确认后， 递交给采购部 ESD工程师和相关部门寻找 供应商并要求供应商提供样 品。 采购部 /行政部核对 PR单及评 估报告后，进行采购。 防静电用品采购回来后，采 购部 /行政部应先通知ESD工 程师进行 ESD性能验收。 ESD工程师对产品的防静电 性能验收合格后，采购部/行 政部通知相关部门领取所需 物品。 相关部门评估样品的使用性 能等相关事项。 ESD工程师评估样品的防静电 性能。 ESD工程师和相关部门出具 评估报告给相应的采购部/行 政部，并存档。