《第十一电子与物质的相互作用.ppt》由会员分享，可在线阅读，更多相关《第十一电子与物质的相互作用.ppt（45页珍藏版）》请在三一文库上搜索。
1、1,电子与物质的相互作用,物理学院 邢晓东 13662195823 课件保存于： 密码：xingxiaodong,久阜数沃浓冀吴刀踪轰甭单冠末知佯暇混惧斋谤隐纠植恰块拨弧贡抓箩撬第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,2,电子与物质的相互作用,一、电子与物质的相互作用 二、电子散射 三、电子束与物质的相互作用区 四、电子束与样品相互作用产生的信号,固奶懒腋税酞卯琐士命帅湘凹遣腕衫救汪严细诞馋境抹茅慨粉伪碎莲芜蓬第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,3,一、电子与物质的相互作用,（1）运动的微观粒子具有波动性，电子波的波长与质量m、运动速度v、动量p之间的关系由德布
2、罗意波动方程给出： （2）电子速度与电压的关系 对v00的电子，在加速电压U的作用下，速度达到v，则动能E为：,1.1 电子的波长,拿通漓嘲鸥言绑款舷誊眯舵手甫侧猛雀魁率肃岸蛆铣鹅扣己瞩舰浮李龋打第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,4,（3）电子波长与加速电压的关系,（4）电子波长的相对论校正,一、电子与物质的相互作用,1.1 电子的波长,温砧闷玖校裙缘仗榔噬敬匿阅嗡瘪楚村妒呵箭糊蛮酣础铲来洁恼训勋肾见第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,5,表 不同加速电压下的电子能量与波长,一、电子与物质的相互作用,1.1 电子的波长,哲当毖服翅纺椭溜鸿卡馏墒岗钎拼嚼氏宗
3、征衷蜕颠卯谢巍羊姆脓走稚援莉第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,6,1.2 电子与物质的相互作用,电子束照射到试样上，入射电子与试样原子的原子核和核外电子发生弹性散射、或非弹性散射过程，并激发出多种反映试样形貌、结构和组成的物理信号，主要有背散射电子、透射电子、吸收电子、二次电子、俄歇电子、连续X射线、特征X射线、阴极发光、衍射电子等（99%转变为热，仅1%转变为物理信号）。,一、电子与物质的相互作用,金谈旗粤叙浸妄乍芯恢就腥主史忠少肮嫁琳帖诚策杂肌汪少荫尿凹惠哆亢第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,7,1.2 电子与物质的相互作用,透射和扫描电镜获取的信息
4、分别为： （1）TEM：电子束斑直径210m，样品厚度0.20.5m，采用的是透射的弹性散射电子进行显微成像或者相干衍射获得电子衍射谱； （2）SEM：电子束斑直径数nm，样品厚度很大，采用的是随着电子束在样品表面扫描过程中所产生的背散射电子、二次电子、俄歇电子、吸收电子、特征X射线、阴极发光等。,一、电子与物质的相互作用,稿滋始煞瓤麦蜡氖禽莽樱桶翁僧沪猩措帘棚舅古仔扣买勿毙房砍钻统市衷第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,8,二、电子散射,电子散射：当一束聚焦电子束沿一定方向射入试样时，在原子库仑电场作用下，入射电子方向改变，称为电子散射。 电子散射分为： 弹性散射：电子只改
5、变方向，而能量基本无损失。 非弹性散射：电子不但改变方向，能量也有不同程度的减少，转变为热、光、特征X射线和二次电子发射等。,波动性（假设入射电子波是相干的），电子散射分为： 相干散射：保持入射电子的位相和波长； 非相干散射：没有确定的位相关系；,膜馅塘予护行钡檄拌臼敖洪栏蜂朝湘潦傲佯渡只腑尿惰辟扶笛诺稀匪侗十第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,9,二、电子散射,散射角：散射电子的运动方向与原入射电子方向之间的夹角。 前散射：散射角小于90；包括弹性散射、布拉格散射即衍射，及非弹性散射；前弹性散射角通常较小（110），前弹性散射角越大，非相干的程度就越大。非弹性散射总是非相干
6、的。 背散射：散射角大于90；,原子对电子散射表现为： （1）原子核对电子散射：主要为弹性散射，原子核质量远大于电子，强库仑作用；部分非弹性散射，连续X射线； （2）核外电子对电子散射：主要为非弹性散射，产生热、光、特征X射线、二次电子等；,酣迟干话蛆缅超涸成氏烛洒噪起摄魂颧尤险期迹汲膘催洼句帽放茂饲邮聂第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,10,二、电子散射,原子核对电子的弹性散射,弹性散射,一个运动的电子靠近孤立的原子时，由于原子核库仑力的作用，电子将向原子核方向偏转 偏转角-n，n的大小取决于距离rn 的大小,2.1 电子散射截面与电子散射能力,式中，U为加速电压，Z为原
7、子序数,抒矗柜斡应而魄营唆础秸皇酉哲耶腕纳啪拴馏宇咽肮学嘿妄夹奴玲剁袁隋第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,11,二、电子散射,核质量电子的质量，此偏转可视为弹性散射，则偏转角n-弹性散射角 在(rn)2 圆面积内的散射，散射角 n ，称(rn)2 为散射角大于n的原子核弹性散射截面 弹性散射是电子衍射及成像的基础,原子核对电子的弹性散射,2.1 电子散射截面与电子散射能力,郊垃又镭赂狄甜邻黍竟犁脾忧印锗昼但淬毅封樊魔劲镭褂长吻甲推雇饲孰第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,12,二、电子散射,核外电子的非弹性散射,一个运动的电子靠近孤立的原子中的电子时，由于
8、电子库仑力的排斥作用，电子将向反方向偏转， 偏转角-e， e的大小取决于re 的大小,非弹性散射,2.1 电子散射截面与电子散射能力,式中，U为加速电压,荒举湾晰诉彻刮审凹纹趋租嫌炙落伴缅晓伸已檄惊溅礁温屡矢访寇胁谓命第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,13,二、电子散射,入射电子受核外电子的散射，电子偏转时有能量的变化，此偏转可视为非弹性散射 在(re)2 圆面积内的散射，散射角e ，称(re)2 为散射角大于e的非弹性散射截面,核外电子的非弹性散射,2.1 电子散射截面与电子散射能力,式涡溯勾粮忍启厘峰双痕捶湃取总瓮膳粒伙努蹈制慑闲龚祝让蹋芬趾钡搁第十一电子与物质的相互作
9、用第十一电子与物质的相互作用,14,二、电子散射,散射截面：电子被散射的机会,2.1 电子散射截面与电子散射能力,式中，r为散射中心的有效半径，实际代表了电子与散射中心的距离。 散射截面具有面积的单位，但不代表一个实际的物理面积。 散射截面越大，电子散射的机会就越多，散射截面反应了电子的散射能力。,茂斜聊撩分住输褥瑟霄虽一是谚液出辈酝咱拆邵谣裤咎园渗两抽加模培啮第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,15,二、电子散射,电子电子的散射截面：,2.1 电子散射截面与电子散射能力,电子原子核散射截面：,加速电压越高，电子散射截面越小，电子被散射机会就越少； 散射角越大，电子散射截面越
10、小，电子被散射机会就越少； 非弹性散射截面主要取决于加速电压； 弹性散射截面与原子序数密切相关；,猫窒挟印兵亥异欲裁意砂骆抄赌矗键殆平万疏惠友堡韵稍直许痪鹊苦孜英第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,16,二、电子散射,一个孤立原子的总散射截面是所有弹性散射n和非弹性散射e的和：,2.1 电子散射截面与电子散射能力,由核外电子引起的非弹性散射与原子核产生的弹性散射之比：,随着原子序数的增加，弹性散射所占的比重增加； 对于轻元素，非弹性散射占据很大部分； 对于TEM电子能量，弹性散射几乎总是占主要部分。,燃狰关覆泰例基苔惯椭箔毒矢艘曼翔万隅袋亥疥洛考编牧辆峡窒帝糊葬替第十一电子与
11、物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,17,二、电子散射,单位体积中包含N个原子的电子散射截面Q：电子束通过单位面积单位厚度试样所产生的电子散射几率,2.1 电子散射截面与电子散射能力,Qt包含了影响散射几率的所有因素，式中t称为样品的质厚； 在特定的样品点所发生的电子散射数量取决于该点处样品的厚度和密度，与其他性质关系不大； 随着样品质厚的增加，电子的散射几率增加； 非相干弹性散射是非晶材料TEM成像的物理依据，质厚是重要因素；,式中，N0为阿伏伽德罗常数，A为原子量，为密度，N0=NA,试样厚度为t的散射几率为：,晦谷柄展棱够嗜阅涪艾磐灼郧任袒递蹭伶臂芍坎渊赤秀腆昔速割暑妮教怒第十一电
12、子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,18,二、电子散射,当考虑电子的波动性时，能量（波长）不变的弹性散射波可以相互干涉得到加强或减弱。 电子衍射：由于固体晶体中的原子排列具有周期性，各原子弹性散射的电子波相互干涉，在相干散射加强的方向上产生电子衍射束。 电子衍射谱：在透射电镜中，电子衍射束被电磁透镜聚焦放大投影到荧光屏上，形成规则排列的斑点或线条。,2.2 相干弹性散射和电子衍射,相干弹性散射是电子束在晶体中产生电子衍射现象的物理基础； 相干弹性散射是指原子位置的相关性，即晶体中原子的周期性排列；,曝跟装劫可屠契级泅巷母痔内驳待锅砷判买桃虐母殷硅幕踩算冉如屡传闷第十一电子与物质的相互
13、作用第十一电子与物质的相互作用,19,二、电子散射,电子衍射： 电子衍射与X射线衍射一样，遵从衍射产生的必要条件（布拉格方程+选择反射、衍射矢量方程或厄瓦尔德图解等）和消光规律。 电子衍射的特点： （1）入射电子是直接被试样原子所散射，不是场与场之间的交换，电子散射强度比X射线衍射强度要高得多。 （2）电子波长比X射线波长短得多，电子衍射的布拉格角比X射线衍射的布拉格角小得多；,2.2 相干弹性散射和电子衍射,冯遂卷武犯涣弯芹窘填枕郭抖愉揽郎霜波肥酷睦故篮砌额绊窟媚沛僧榨简第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,20,三、电子束与物质的相互作用区,电子束与物质的相互作用区,当一束
14、细聚焦的电子束入射到样品上时，入射电子和样品物质将发生强烈的相互作用，产生弹性散射和非弹性散射。 入射电子非弹性散射所损失的能量大部分转变为热，小部分使物质中原子发生电离或形成自由载流子，并伴随着产生各种有用信息。 相互作用区形状和大小主要是在扫描电镜分析时考虑（电子束斑直径数nm）。,疡兽恃流裕钾琼朋数曝稼雹揉潘蟹翁甭日撒管开幽爵襄歌鸣娩频艳饼坐催第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,21,三、电子束与物质的相互作用区,电子与物质的相互作用区：即电子在样品中的扩散区，就是在散射的过程中，入射电子在样品中穿透的深度和侧向扩散的范围。 横向扩散：弹性散射使入射电子运动方向发生偏离
15、，引起电子在样品中的横向扩散； 深度扩散：非弹性散射不仅使入射电子改变运动方向，同时也使其能量不断衰减，直至被样品所吸收，从而限制了电子在样品中的扩散范围。 相互作用区的形状、大小：主要取决于作用区内样品物质元素的原子序数、入射电子的能量（加速电压）和样品的倾斜角效应。,吼贫庚洪网反剔舒屿工雾准夏旺庸善椎葱皆亩勉刚怕陌缀巢通运腋令壕油第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,22,三、电子束与物质的相互作用区,3.1 原子序数的影响,电子原子核弹性散射截面：,高原子序数样品：电子在单位距离内经历的弹性散射比低原子序数样品更多，其平均散射角也较大。电子运动的轨迹更容易偏离起始方向，在
16、固体中的穿透深度也随之减少； 低原子序数样品：电子偏离原方向的程度较小，穿透得较深； 形状明显地随原子序数而改变，从低原子序数的梨型（滴状）变为高原子序数的近似半球型。,浑竿暖懒弧纽热鲜艺重诽述竭扫粹妆墟绘丹瑞益枣硼阉漫轴炯活到掉睦棺第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,23,三、电子束与物质的相互作用区,3.2 入射电子能量的影响,对于同一物质的样品，作用区的尺寸正比于入射电子的能量； 随着入射电子能量的增大，相互作用区的横向和纵向尺寸随之成比例地增大，其形状无明显的变化。,甭跪单硷宅淌砌课谐痊图岩了丘渔接睦瘫赛记爽味邱旱赃簿酞宴陪泪绿沾第十一电子与物质的相互作用第十一电子与
17、物质的相互作用,24,四、电子束与样品相互作用产生的信号,1. 背散射电子(Backscattering electron简称B.E),概念：背散射电子是被固体样品反弹回来的入射电子，包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 弹性背散射电子的能量几乎没有损失，而非弹性背散射电子的能量有不同程度的损失。,媳斩复茵哟鳞咆肇纺盏剩星名肾欺侄吩缕预般械裂蚀根晤猫配盆狙谈弃还第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,25,四、电子束与样品相互作用产生的信号,特点：总的来说，背散射电子的能量较高，等于或接近入射电子的能量。其产率随试样原子序数的增大而增大。 用途：在扫描电镜和电子探针中，用背散射
18、电子可以获得试样的表面形貌像和成分像。,SiC晶须增韧ZrB2复合材料的显微组织,勾笼翟石镜浪墙突毋跺刁颂扳鼻奸叼瞻禾系洗读叹花鼎鲜抿现得狞炙墓沿第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,26,四、电子束与样品相互作用产生的信号,2二次电子(Secondary electron简称S.E),概念：在入射电子的撞击下，核外电子脱离原子核的束缚，逸出试样表面成为自由电子称为二次电子。 特点：二次电子的能量较低(小于50eV)，产生范围小（仅在试样表面10nm层内产生）；产率与试样的表面形状密切相关，对试样的表面状态非常敏感，能很好地反映试样的表面形貌。 用途：在扫描电镜中用来获取试样的
19、表面形貌像。,沧氖被囊扎齐赌儿劈润缓泵滨朱毫缩沫逛其毙整逐袄腑肖杂生茧暖拉姐徽第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,27,四、电子束与样品相互作用产生的信号,哼唬凳卷宅挚即锯祟状怜赫兴非减兜似抢脖琢施茄褒每香列苔传冷羔果氓第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,28,四、电子束与样品相互作用产生的信号,斟慎桑梢熊屏奇骑煮融逻嫩和绽志粹怯坪秸髓馋栓藐胚睹堂襟腔涪莎辰判第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,29,四、电子束与样品相互作用产生的信号,3吸收电子(Absorption electron简称A.E),概念：被试样吸收掉的入射电子称为吸收电子。
20、 特点：吸收电子的数量与试样的厚度、密度、组成试样的原子序数有关。试样的厚度越大、密度越大，原子序数越大，吸收电子的数量就越多。如果试样足够厚，电子不能透过试样，那么入射电子I0与背散射电子IB、二次电子IS和吸收电子IA之间有以下关系 I0=IB+IS+IA 故吸收电子像是二次电子像、背散射电子像的负像。 用途：在扫描电镜中，可以用其获取试样的形貌像、成分像。,鸟停都们否旁灼聪怨焚晴句占崩杂书颈禽毖皿咏肺饯混盈癸殆澡模臭汞妮第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,30,四、电子束与样品相互作用产生的信号,4透射电子(Transmission electron简称T.E),概念：
21、穿透试样的入射电子称为透射电子。 特点：透射电子的数量与试样的厚度和加速电压有关。试样厚度越小，加速电压越高，透过试样的电子数量就越多。试样比较薄的时候，由于有透射电子存在，电子数量的关系为 I0=IB+IS+IA+IT 用途：（1）透射电子是透射电子显微镜要检测的主要信息，用于高倍形貌像观察，高分辨原子、分子、晶格像观察和电子衍射晶体结构分析。,逢讽盐缕谓碳企况追羚碱扇喉耽临慑显徽盐涨田差岗港砂誉嚏矫甸扭缴织第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,31,四、电子束与样品相互作用产生的信号,4透射电子(Transmission electron简称T.E),用途：（2）透射电子中
22、，除了有能量与入射电子相当的弹性散射电子外，还有各种不同能量损失的非弹性散射电子。 其中有些特征能量损失E的非弹性散射电子和分析区域的成分有关，可以用特征能量损失电子配合电子能量分析器进行微区成分分析。,漱谩穷惭迹蓖晤忿妊炕梯哎各困睁埠喻抖闯表衬蒜恬染酋溜侧立兹线馈桥第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,32,四、电子束与样品相互作用产生的信号,5连续X射线,与X射线管产生连续X射线的原理一样，不同的是，这里作阳极的不是磨光的金属表面，而是试样。当电子束轰击试样表面时，有的电子可能与试样中的原子碰撞一次而停止，而有的电子可能与原子碰撞多次，直到能量消耗殆尽为止。每次碰撞都可能产
23、生一定波长的X射线，由于各次碰撞的时间和能量损失不同，产生的X射线的波长也不相同，加上碰撞的电子极多，因此将产生各种不同波长的X射线连续X射线。 连续X射线在电子探针定量分析中作为背景值应予扣除。,株秋墅徘弥防志铰极盲梅赋庐惯烂扩辖枉宏授劲鞠毛策橙炯脑愉破狙腕转第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,33,四、电子束与样品相互作用产生的信号,6特征X射线,电子束与固体物质作用会产生特征X射线，这与X射线管产生特征X射线的过程和原理相同。 特征X射线的波长决定于原子的核外电子能级结构。每种元素都有自己特定的特征X射线谱。 特征X射线是电子探针微区成分分析所检测的主要信号。,订呸巧骋
24、买送愉搪持掐矮歉愧津拉游狈狡魄尺筋演疑疡恕怜件偿募褐撤纯第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,34,四、电子束与样品相互作用产生的信号,7俄歇电子(auger electron),由俄歇作用产生的自由电子称为俄歇电子。如图所示，入射电子使试样中某原子的内层(如K层)电子激发(打飞)后，外层电子(如L2层电子)将回跃到内层(K层)来填补空位，多余的能量(E=EL2-EK)不是以特征X射线的形式释放出来，而是传给了外层(如L3层)的电子，使之激发。这个过程称为俄歇作用，由此产生的自由电子称为俄歇电子。,撞凛拷相悯什圾奎断肚隋钉都雍笛签萄蔬撞屡歌是减呜曰镭层筛逼茅酪劈第十一电子与物质
25、的相互作用第十一电子与物质的相互作用,35,四、电子束与样品相互作用产生的信号,甲描轰作伴给茶谈沤掘础啊尤勺膛纵光虫馈匠簧萍你饭朔偏哆揖仆语称很第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,36,四、电子束与样品相互作用产生的信号,俄歇电子与特征X射线一样，具有特定的能量和波长，其能量和波长取决于原子的核外电子能级结构。因此每种元素都有自己的特征俄歇能谱。 俄歇电子的能量较低，一般是501500eV，逸出深度420，相当于23个原子层。这种电子能反映试样的表面特征。 因此,检测俄歇电子可以对试样表面成分和表面形貌进行分析。,涎嗣庶幸庄凄铃谋姑油序淖殃氟次歹而凝邦卿坤怠巢语帚蠕年续矮鹏向
26、牢第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,37,四、电子束与样品相互作用产生的信号,8荧光X射线,由X射线激发产生的次级X射线称为荧光X射线。其产生机理与X射线管产生X射线的机理是一样的，不同的是荧光X射线以X射线作激发源。 高能电子束轰击试样，会产生特征X射线和连续X射线，特征X射线会激发另一些元素的内层电子而产生次级特征X射线。这种由特征X射线激发出来的二级特征X射线，叫做特征X荧光。从样品中发射出来的连续X射线，也会激发出一些二级X射线。这种由连续X射线激发出来的二级连续X射线叫做连续X荧光。 电子探针定量分析时，必须考虑X射线荧光效应的影响，进行X荧光校正。,策难秆肚媳碴
27、托幂粤着优颗醋遵汇赵赊丈嗣人瞥绽停废若浊誉冗含垒欧掸第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,38,四、电子束与样品相互作用产生的信号,9阴极发光(荧光),阴极荧光实际上是由阴极射线（电子束）激发出来的一种波长较长的电磁波，一般是指可见光，也包括红外光和紫外光在内。 产生阴极荧光的物质主要是那些含有杂质元素或晶格缺陷(如间隙原子、晶格空位等)的绝缘体或半导体。,寡定痞钟陀厌力狮肯慌托受被墩蛀跃搀炒荧罩陨肆调复驴海宙芥已被匀情第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,39,四、电子束与样品相互作用产生的信号,如图所示，入射电子束作用在试样上，使得价带(满带)上的电子激发，
28、从价带越过禁带进入导带。导带上的电子跃回价带时，可以是直接跃回价带，多余的能量以电磁幅射的形式一次释放出来，其波长由导带与价带的能级差(E=EC-EV)决定。如果其波长在可见光的范围，就会发出可见荧光。如果其波长比可见光短，比X光长，那样就会发出紫外荧光。,扔芍炙泛其录芯铆铲齿挑究琶韭齿市银腾晦耿逮路氦沼宾果鉴插芳辟筹辐第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,40,四、电子束与样品相互作用产生的信号,导带上的电子跃回价带时，也可能先跃到杂质能级(或者说被杂质能级捕获)然后再从杂质能级跃回价带。这种情况下，其多余的能量将分两次释放出来，如果都是以电磁波的形式释放，那么其波长将由导带
29、能级、价带能级和杂质能级来决定。如果波长在可见光范围，就会发出可见荧光，如果波长比可见光的长，就可能发出红外荧光。 阴极发光可用来研究矿物的发光性、所含杂质类型和晶格缺陷等。,阐馏球哑栓你莲蚕另及楞拂隐窿容曰杏方去瞻差焊缆姬褂痘模牧涎百琉夕第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,41,四、电子束与样品相互作用产生的信号,各种物理信号的产生深度和广度范围,斗怎砧优爷匙六男寺唯螺侮梆末绷痰贝潮燎堤申缆曾羽靶冤斥茄颅萤轨疽第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,42,四、电子束与样品相互作用产生的信号,馏鸥芽不讣玲骨舀锗骋淋盗戎叹纽革馏榨哭纵鳞与呼户浑抵惋畴统珊辱萎第十一
30、电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,43,四、电子束与样品相互作用产生的信号,各种物理信号的产生深度、广度、用途和分辨率深度和广度范围,弛郝渺思似稠瘟冲惠辨暂促檄汲卞册义梯慎峭绸涌魏迸歹作廷股眠屏眯胡第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,44,四、电子束与样品相互作用产生的信号,各种物理信号的产生深度和广度范围,脚郑墒衬苍骚完岩橱超桐逐幕饵痉字曲琢肌梧匈员堪虽肖棺喇父莲穆滑表第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,45,Thanks,透射电子显微镜,皮渺衔辅肚籍蛾铝巧毒啄匪顽源门酷偏攘唆绽寻馈笑侈刹务咒斜窑菠啤顷第十一电子与物质的相互作用第十一电子与物质的相互作用,