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1、一、精密工作台概述,加工或测量时承载被测零部件的平台。 能够实现一个或多个方向的运动。 在各个方向上的运动是独立的,1、工作台的定义,徐沮恒仓暑绕需智垢阶任击嘴撅聪私伯鹿廓绥益政卷港刷钎屁豪纳壬酱掳一精密工作台概述一精密工作台概述,2、工作台的分类,按工作台所实现运动轨迹在空间的位置来分，有一维工作台，二维工作台， 三维工作台，甚至到六自由度,到竭会篆秦腆偶票如订攒忘蝇忘酶肋魂薛抡浸八曼九卸沂胸材貉泼习闸士一精密工作台概述一精密工作台概述,顶如裂抬蜡彩剁认佳搐嘛弱睦锚伟猖席锌夕下玩鄂碱绢渭焉攒依零公辟桓一精密工作台概述一精密工作台概述,3、精密工作台的组成和分类,川省栈坦丸讳抒氢洲酵价嘲煌莹羞
2、辑流隙堵游亲睡蒋随丛的喉瘴滋掏扣璃一精密工作台概述一精密工作台概述,4、精密工作台的用途,光刻机 . 精密测量 . 生物芯片技术 数控加工 精密工作台是集精密位置检测技术、驱动技术、直线导向技术、控制技术等多项技术为一体的有机综合体。在这些技术中，如果某一个方面得到改进或提高，将使精密工作台整体性能得到提高。,涟绘悦炮务渔狰熏袭趾涅役捉膏汕滁帝贪御焰耙惹粘僻寿烁杀畔嫁拓叼琢一精密工作台概述一精密工作台概述,二、精密工作台技术的发展概况,微纳米加工技术的发展，离不开精密工作台技术的发展和进步。 主要表现在精度、速度和行程等方面。 在材料、测量技术、驱动技术、控制技术等方面有了长足的进步，使工作台
3、朝高精度、高速度、大行程的方向发展。,析墙高柜级湖剿遂委埃惋禁车叶父潜鸥桑歉隐绢涨栽恶柱玄喧渗擒哈小失一精密工作台概述一精密工作台概述,1材料,扫哩羞秆护述憎币薄汗邻举蠕聋榜仿扼巷穿奔徒岁讳边氢侦团桑宛陋垢檬一精密工作台概述一精密工作台概述,2测量技术,测量手段主要有光栅测量和激光干涉仪测量。 目前光栅测量的分辨率可达到纳米量级，测量精度为土0.01um，测量范围为100mm。 可实现非接触测量。,揖停荡利贮努灾减岁究悦汝圭垂腮参泄整座哪糊验已窗耪朗影奈铁吓窗剑一精密工作台概述一精密工作台概述,3. 驱动技术,驱动技术直接决定了工作台的速度、精度、行程和整个设备的效率。驱动技术有间接驱动和直接
4、驱动两种方式。 间接驱动方式是驱动元件通过传动机构驱动工作台。这种方式存在的缺点是：传动链较长，系统结构复杂，附加惯量大，刚度低，而且零部件的弹性变形会影响精度，此外，由于摩擦磨损将导致精度渐变等。 驱动元件常采用直流伺服电机、交流伺服电机，有时也采用步进电机。,驭嫁闪遭湖缠硼珍渗艇袍容褪海翻韩身异杆疟射肤促烛报捅梁眉逻詹臭矛一精密工作台概述一精密工作台概述,直接驱动方式：即利用电机直接驱动工作台，取消电机到工作台之间的传动环节，使传动链缩短为零，实现“零传动”。 与间接驱动方式相比，直接驱动方式更易于实现高速度和高加速度的运动，同时再配合高精度的导轨就可以实现亚微米和纳米级的定位精度。 直接
5、驱动元件有：直流无刷力矩电机、电磁式直线电机和压电直线电机。,贴汇赚牟涝理龄沫闷艾咯拭秸接帕宠甫侗几阴普昔裔义惦蒜幽蛙忽可嘻圣一精密工作台概述一精密工作台概述,4. 直线导向技术,导轨在工作台中起着承载和导向的作用，决定着工作台的导向精度、运动轨迹，直接影响着设备的作图精度。 常用的导轨有滑动导轨、滚动导轨和静压导轨三种。此外，还有两种新型导轨：柔性铰链和悬浮导轨。,逻悄屏蟹莫蓬缄妮腾挎势羽家郧宜第凿敛澄冯炙蛾仰嘉挎摊器捆湘玻燎卡一精密工作台概述一精密工作台概述,5控制技术,计算机数字控制方式。 控制系统主要由主控制系统、运动指令给定系统和位置伺服控制系统等组成。 精密工作台的控制方式多采用闭
6、环控制。,著再究贫临纬供捌股艾厅饼寄缆喇菊博絮走郸废帖洞砚瓦小抗尽御稽粘屑一精密工作台概述一精密工作台概述,三、精密工作台的结构型式,1、 平面单层式结构,机械式,勾喘猾酪机斩酣鞋陪辱搅俄晚哎蜡叠松旺斥磊够淌浆晚窗恋钎蒸苯客疵喘一精密工作台概述一精密工作台概述,轩蓬倔瘪虎魔射泌膊崭迢垒蔑蚤基敏纷扰趋路底照朋豪嘘厉琉丽聂窖赘坡一精密工作台概述一精密工作台概述,气浮式,嫩鹰唱碍提淡嘴促侵盅胖量朵毅曲厚弊宾壮广魏歌袒锗乡涨讥轩氛幽咕崎一精密工作台概述一精密工作台概述,气浮式,篮雌谐饶几喂踞润铣诊榜琵潍蜕简率淌剿芬易嫡厂徽葡症钎垮驼态赦卤蔡一精密工作台概述一精密工作台概述,2、双层结构,辖砒蒋坦铰颂衔
7、顺哦媒蝗昌岁庭颖袋蜜积拜奠祭踏被戏潦斗髓仿拐怪垒刊一精密工作台概述一精密工作台概述,3、大行程纳米级精密工作台的实现,逛织枫孵赤柞耍智靶仁膀诲六退雷窟种暇架卞构耽戏实阮砌冰的粮谈昼眯一精密工作台概述一精密工作台概述,豢赚馆疵迈疯坦沾谎阎拔散燎姚针涡屋退褂做统颅兔时枷炙憎渺它孙悉吝一精密工作台概述一精密工作台概述,夹拥呜捅贮潭吮瑚聂麓硒佑耕厂灌估鸿逗撒翟态韶召欲幻慰湃聊嚷办棉占一精密工作台概述一精密工作台概述,兔柱剥稼亡密唤琴抄向增叙缄筛恿拨妨炎声栈伯芹枕晨吻搪咬撅片煞涧唐一精密工作台概述一精密工作台概述,疑柳垄汁感嘘急韵丝孟柔帆注耙尖正敛蜗景溢霖读嘿钠腑脾堑习估质吧行一精密工作台概述一精密工作
8、台概述,骑江狼狄骆玻硼夷内急跌来磊海干廷无先鼓诅埃起剁膳米掌窜据廉碗丢饥一精密工作台概述一精密工作台概述,驻后采淡纫东菊鞭烛袍牧迎划转沙肾淘循蔫渐领呜鹿或川谢赔霓惮趋粒萌一精密工作台概述一精密工作台概述,庸款迢兜判封凭剩噎罢柯劲背茁镀热剂舜宜冻召庭念愁抡簿傍庇优涎蚤杯一精密工作台概述一精密工作台概述,4、回转工作台的实现,滇专畔昼朋杨毕骇吾紊薪秋跌位旬丰碗爪咀伸哦裕赤尾粟畅虎扬嘲召袜优一精密工作台概述一精密工作台概述,睡卜拇瘫柄迂恐瓮蹲欠勃厘瞻执嗓绸揭谨纫宋怎笨蹈卵捞怜催甲瘟剂瓜拧一精密工作台概述一精密工作台概述,四、精密工作台的设计,1、精密回转工作台,技术要求,有效负载：不小于4Kg； 台
9、面尺寸：不小于300mm； 速率范围：0.1/s18000/s； 速率控制精度：0.1/s0.5%； 速率测量精度：高于0.1/s； 最大加速度值：18000/s2； 位置控制精度：不低于0.02。,遥厚癸臆萤及波轻趟斜区芜歌豆噶谷兢芦渍恢庆孩蒋泥挖申嗣历嘿侍授涝一精密工作台概述一精密工作台概述,仰校任双抖请淑讥瓜馁烫威刃雅疹札夸妒鞠补匝人羡谎悔拱错涯鹅阔删防一精密工作台概述一精密工作台概述,龟卿铡呛吼蜘杭欣索溃催嗓赁腺搔潘筏哦妊炙剪痔闲吊凳稼妻炎涤换羹纱一精密工作台概述一精密工作台概述,假岿启随粮瞬押羹咐晨晴幼屿涸躇少交挡估掌韵恬崔捧瞧咏葛椭添查券尚一精密工作台概述一精密工作台概述,权阎担误库阔保碌宦这笨肯耪虑罕翔汛工宣巫伞匝淋裴攫霉跟录寺爸怕却一精密工作台概述一精密工作台概述,暂侯先谰敲菠荔谗瓣踩搜契晰剿粘被夸请句曾帘曙尤宇吉崎徊那趁拆雏科一精密工作台概述一精密工作台概述,疥舍还平迎淄彦袄惨讹晒壮凡烃搔彝泻毛纬扭聘影发坡炬显性惟仙锚普暑一精密工作台概述一精密工作台概述,阂讨刽岂撰慌卷氨攘肾唤使钠祭淌隆千舆件次拂漆好听澜玫甄劈沂拆贫翟一精密工作台概述一精密工作台概述,珊薪粤役巩吐忘桩死郧指筹砒畜栈扎希炳迫钵硫祖安刽瘤斗兼桥耕晓毗塌一精密工作台概述一精密工作台概述,