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1、 真空探头更换过程及校正方法真空探头更换过程及校正方法 1. 以手动模式初始化设备真空腔体的冷凝泵（使温度达到或者更低） 2. 确认真空腔体内的气压达到 1ATM（一个大气压）后，然后拆下晶体电离真空计（同样 也要把电缆插头拔掉） 3. 彻底松开紧固的螺丝（见图片） ，然后就可以取出顶端的真空探头 4. 插入新的真空探头，锁紧固定螺丝（真空探头前端一个凹槽环，螺丝要对准凹槽固定） 5. 晶体电离真空计安装于图所示的腔体下，电缆插头也连接好 6. 执 行 真 空 计 的 校 正 将 晶 体 电 离 真 空 计 ZERO 开 关 开 启 5 秒 或 更 长 时 间 后,CRYSTALLED 指示灯
2、将由闪烁的红色变为橘红色闪烁的绿色(当绿灯亮时,真空 计默认值为 1ATM) 7. 完成第6项后,检查晶体电离真空计(M-391)的显示值是否达到1X10 PA或以上. 如果没 有达到该数值,晶体电离真空计的大气压值将逐渐变化,直至达到这个数值. 8. 确认冷凝泵温度变为 20K 或更低后,然后在手动模式下按下触摸屏上的 HIGH VACUUM 开关,开始高真空排气 9. 如果 M-391 真空计的显示值达到 30Pa(SP2 值), 主阀将打开,然后冷凝泵将开始排气 10.在主阀打开之后,让冷凝泵排气 5 分钟(这时真空计上显示的数值不是准确的) 11.上述动作之后,将晶体电离真空计的ZERO再次打开1秒或以上.那时,CRYSTALLED 指 示灯将马上变成橘红色,然后变成闪烁的绿色.同时B-ALED 指示灯也会亮. 12.第11项的状态保持15分钟(这时变为校正状态),与此同时,真空计上显示的数值是波动的， 但是将逐渐变稳定, CRYTALLED 指示灯将马上变为橘红色,每五分钟变换一次. 13.第 12 项的动作完成后,按下触摸屏上的N2 SUPPLY开关,然后开始充入氮气至 1ATM 至 1ATM 后,确认是否与第 7 项的显示值一样 为 1X10Pa 15.如果第 14 项没有达到这个数值,将继续调整ATM值，直至达到 1X10Pa 16.结束 图 1 图 2