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实验一：面形的三维干涉测量及评价（PV值与RMS值）一、实验目的：1. 了解表面三维形貌的高精度实时测量原理2. 实测一个平面光学零件的表面形貌3. 对评价指标PV，RMS的定义有所掌握二、实验原理：本实验采用数字干涉测量原理进行，本实验与实验二的不同是测量中采用了扫描技术，因而可以实现面形的三维测量。高精度光学平面零件的面形精度可用下列二个评价指标，如下图所示。1 PV值是表面形貌的最大峰谷值2 RMS值是表面形貌的均方根值，RMS的定义是：式中，xi单次测值，N重复测定次数。三、实验光路 1激光器 3,5定向孔 6,7,9,16反射镜 8物镜 10准直透镜 14分光棱镜 18带压电陶瓷的组合工作台 20成像透镜 22可调光阑 23光电接收器 24导轨四、实验步骤：1 扩束2 将工作台16，18上的平面反射镜换成曲面或台阶面（其干涉条纹的形状与反射面面形有对应定量关系）3 调整CCD23在轨道上的位置，使干涉条纹清晰，锁定234 调节可调光阑22孔径位置，滤除寄生干涉光5 测量程序操作见软件操作说明书五、实验记录被测工件：平面镜序号PVRMSEM等高图（凹或凸）12