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1、真空箱的工作原理箱体示意图真空传感器检漏仪阀门检漏仪预抽泵组预抽阀真空箱检漏阀检漏泵组箱体工作流程-首先打开预抽阀门由预抽泵组对箱体抽空25秒（粗抽）， 再打开检漏阀门由检漏泵组继续对箱体进行抽空（精抽） 箱的真空度有没有到达检漏真空度（一般是10-20Pa）, 开检漏仪阀门，让检漏仪检测信号的大小。然后关闭预抽阀门, ，并不断判断真空 如果真空到达则打具体说明与箱体的相关参数检漏压力响应时间-报警阈值-开关门超时时间预抽时间真空箱检漏超时时间检漏压力检漏压力和箱体本底的关系木底的概念本底是指没有氨气信号输入时检漏仪显示的值。-真空箱本底是指真空箱内不放任何物体时，检漏仪显示的信号。如果真空箱
2、内放入工件后，由于工件表面存在放气现象，可能会造 成抽真空的时间加长，如空箱时需要15秒可将箱内真空度抽到lOPa, 但是放入工件后可能需要18秒才能抽到lOPao此时在相同的真空下 箱体的本底值可能是不一样的，这是由于工件表面虽然会藏气，但 是这些藏气的氮气含量较低，由于真空箱预抽的时间变长所以氨气 浓度更低，本底也就相应变小。如果检漏压力设定的太咼，如设是到lOOPa则口能箱体的本底 会很高，可能会高达i08 PairP/S,这样可能会产生误报。但 是如果将检漏的压力设定的过低，虽然可以提高检漏精度， 但是会延长抽空的时间，造成效率的下降。所以检漏压力的 设定应该根据箱内工件的实际情况设定
3、。具体方法如下，取两只合格的工件，将他们放入箱内然后设定检 漏压力为18Pa测试此时箱体产生的本底信号。如果本底高于2.0X IO9 Pa m3/S,则再将检漏压力设定低一点，如果低于此值，则 可以将检漏压力调的在高一点，一般的准则是在保证检测精度情 况下尽量增大检漏压力。士响应时间响应时间的存在是由于氨气从漏孔中漏出后在箱体里要产生平衡 的时间（也就是信号达到最大值的时间），这个时间和箱体的体 积，泵组的抽速有直接关系，从实验数据得出响应时间等于箱体 的体积除泵组的抽速，这个时间就是箱内氨气达到平衡的时间。 此外由于箱体和检漏仪接通的一瞬间箱体和检漏仪检漏口的真空 度是不一样的，所以会产生一
4、个冲击。由于现在的这台真空箱采 用的检漏泵组抽速很大，所以相应时间很短（箱体的体积约为1 立方，抽速越为300升/秒）约为4秒，但是由于存在冲击（约 为8秒），所以响应时间的设定应该大于8秒。报警阈值当检漏仪检测到信号超过此值的时候，系统判断工件为不合格报警阈值的设定本底和真空度的关系真空箱的本底和真空箱内的真空度和环境中的氨气含量有关，如果真空 箱的真空度比较高，则相应箱体内的氨气含量要更少，所以箱体的本底 相对较低；但是如果周围环境屮的氨气含量较高则在箱体内的真空度相 同的情况下，氨气含量可能要稍高一点。标准漏孔目前提供的漏孔在漏孔内压力为1个atm的情况下漏孔大小为4。6X10-7 Pa
5、.m3/S ,将他放入箱内，产生的信号约为23X1(?9 Pam*S。分压比分压比是由于检漏时抽空箱体的罗次泵组和检漏仪泵组同时参与了对箱 体抽空。所以氨气一部分被大抽速的罗次泵抽走，只有一小部分被检漏 仪的泵抽走，这两部分的气体的比例和泵组的抽速成比例（罗次泵组在 lOPa左右的抽速约为300L/S,检漏仪泵的抽速约为1.5L/S）,所以分压 比约为200左右，也就是说如果工件产生的信号是201个单位，那么检漏仪 实际只能检测到1个单位的信号。漏孔产生的信号和浓度压力关系信号大小和浓度，充氮压力的关系：（2克/年的漏孔在充氨浓度为100% 和充氨压力为15公斤时，换算成氨气的漏孔为1.5X1
6、0七Pa.m3/S）信号的大小和浓度及压力成正比，如果压力为15公斤，充氨浓度为50%, 那么泄露量为0.75X10-6 pa.m3/S,通例如果充氨浓度为100%充氨的压力 为7。5公斤，氮气的泄露量为0.75X10-6 Pa.m3/So报警漏率的确定将未充入氨气的工件放入箱内，开始一次检漏过程。并记录下检漏 结束时真空箱的本底值，（本底值）Vu1记下，然后将标准漏孔调到工 件的漏率，（对于1.5X10-6Pa-m3/S）应该将漏孔的压力保持在1 bar 然后将漏孔放入真空箱,然后再开始一次检漏在检漏阀关闭时记下漏 率的值Vu2,用V u2-Vu1=Vu3的值,Vu3的值就是标漏产生的实际漏
7、率. 以后如果要调整报警值，只需要再做一次空箱的本底值,然后将Vu3通 过充氨浓度和压力进行修正既将Vu3的值乘浓度和当前压力/15公斤 的值得出最后的值Vu4,将此值或较小一点的值做为报警阈值就可以了.其他参数开关门超时时间如果箱门在设定的时间内都没有关闭的话则系统会报警，提示系统 有故障，在触摸屏上会有提示。预抽时间设定预抽阀门打开的时间。在此时间内箱体一直处于预抽状态真空箱检漏超时时间设定箱体抽空到检漏压力所允许的最大时间，如果在此时间内箱体都没有抽 到次压力则会提示系统故障和报警超时的第一个原因可能是匚件有较大的漏-第二可能是工件表而过于潮湿箱体有部件漏气-一般是由于工件表面过于潮湿造
8、成的。开关门机理开关门是通过气缸推动箱门前后运动完成的 并由位置传感器检测箱门的位置。充氮检大漏原理检大漏原理图Snl VI检大漏丄作流程氮气源V4PM1-打开VI对工件内充入氮气，并由Snl监测充氮的压力，当到达设定压力时 （一般12秒即可完成，如果是带毛细管的工件可采用断续充氮方式，这种 方式可能需要3秒左右），VI关闭，并记录压力平衡时的值，然后开始保压， 保压时间有设定值决定（如果设定主要使用充氮检大漏则保压时间可设定 510秒，一般设定为8秒，如果主要使用真空检大漏则可在25秒设定，建 议使用2秒），如果超过设定值则控制盒上的红灯亮。（如果设定主要使用充 氮检大漏则保压变化值可以从3
9、8设定，一般设定为5或6,如果主要使用真 空检大漏则可在25设定，建议使用4） o具体的设定还可以取一个合格的工件进行多次测试充氮时，氮气瓶的压力应该调整为设定压力+0.2MPa保压完成后打开VI, V3, V4将工件内的高压氮气放出，然后对关闭 V4,打开V5通过机械泵对工件内部抽真空，如果采用的是充氮为主 的方式检大漏则抽空到设定压力既停止，如果是采用真空为主的检 大漏方式则抽空到设定压力后，经过510秒的稳定时间，再保真空 数秒（一般为5秒），变化值设定为3或4。在设定时间内如果变化不 超过设定值则工件合格控制盒上的绿灯亮，如果超过设定值则控制 盒上的红灯兒。如果是充氮为主的检大漏，则抽
10、空真空的设定值可设定在1600Pa左右， 如果是真空方式为主，则可设定在1200Pa左右。将工件抽空到设定的真空约为8秒左右（带毛细管的工件可能要略微长一 点）具体的设定还可以取一个合格的工件进行多次测试充氮相关参数充氮压力充氮压力的设定值，可根据工件的要求进行设定（最大不超过25公斤）充氮超时时间如果在此时间内无法充到指定压力则报警（一般可设定在5秒如果是断 续充氮方式可以设定到8秒）预抽真空充氮后，工件内预抽的真空值（如果是充氮为主的检大漏，则抽空真空 的设定值可设定在1600Pa左右，如果是真空方式为主，则可设定在 1200Pa左右。）保压时间充氮后保压的时间（如果设定主要使用充氮检大漏
11、则保压时间可设定 510秒，一般设定为8秒，如果主要使用真空检大漏则可在25秒设 定，建议使用2秒）是否充氮如果要提高检大漏的效率，可以不对工件充氮而直接抽真空充氮方式-如果工件的管路比较粗可以釆用直接充氮方式，如果有毛细管则可用断续充氮 方式检大漏方式如果要提高检大漏的精度可以使用真空（负压）方式否则使用充氮（正压）方式保压变化值个数-如果是正压方式:如果设定主要使用充氮检大漏则保压变化值可以从38设定, 一般设定为5或6,如果是负压方式:如果主要使用真空检大漏则可在25设定，建议使用4;真空 变化数设定为为3或4具体参数可以使用合格的工件进行测试,然后再记录下作为下次设定的依据充氨和回收充
12、氨和回收原理v2pF.?彳l_J x1| HHWH LtH «HW« 1高压瓶5v5pm2充氨原理充氮原理和流程按下开始按钮，充氨过程开始，打开VI为工件内充入氮气，并由传 感器SN1监测工件内的压力，如果充氨压力达到设定值(ISOOKPa) 则关闭VI停止充氨。氨气罐的压力由传感器SN3监测。氮气浓度由SN4传感器监测。充氨完成后需要按停止键通过V2将接头里的氨气放回低压罐。以便 下次插接头时更容易点。此外如果不将接头里的氨气放回低压罐可 能会造成下次接上工件造成接头无法正常接通。回收原理和流程当回收过程启动时，先打开V3, V4将工件内的氨气放回低压罐， 并由传感器SN
13、2监测工件内的压力，当检测到工件内压力到latm 后关闭V4,并打开V5,由机械泵PM2抽空工件内的剩余氨气，一 般工件内抽到几千Pa到2万Pa即可，工件内真空由SN5检测。氨气全部回收到低压罐的时候，便由压缩机PM1将低压罐内的氨 气压缩到高压罐申。低压罐的压力由SN6监测如果发觉压力过高需要暂时停止回收过 程，让压缩机抽空低压罐后便可高压罐的压力由SN3监测，当高压罐压力过高时，需要暂停回收 并多充几次氨气。亠咼亠咼氨当果补压罐的压力和浓度过低的时候，会自动打开V7补充氨气，如 压罐压力太低（低于设定值），则要进入控制画面进行手动O充氨和回收的相关参数回收真空度回收真空度是设定回收泵PM2
14、对工件内抽空的程度，一般工件内抽到 几千Pa到2万Pd即可。回收超时时间 一般回收时间很快，如果超过次时间都无法完成充氨过程则会报警， 一般设定为30秒即可。补氨阈值当氨气浓度过低时会造成检测精度下降，所以要氨气浓度保持在相 对稳定的水平。当检测到浓度低于此值时，并且高压罐压力没有超 过1550KPa则打开V7为系统补充纯氨，如果压力高则要放掉高压罐 内的部分气体，然后才能补氨。补氨时间设定补氨阀打开的时间，可设定在3秒。最小工作浓度当低于此浓度时系统会报警，可设定在50%左右。（详细请参照触摸屏上的故障提示）预抽真空超时 0、工件有较大漏或工件过于潮湿 1、箱门未关好 2、箱体内工件过于潮湿
15、 3、放气阀门没有关闭 4、预抽阀门没有打开 0、如果不是工件过于潮湿，那么工件不合格 1、察看箱门气缸和气缸驱动气源及中间继电器，察看门是否关严实 2、将工件干燥后再测试 3、察看放气是否有异样，察看阀门驱动气源和中间继电器 4、察看预抽阀门是否有异样，察看阀门驱动气源和中间继电器关门超时 1、箱门方向有障碍物 2、箱门位置传感器故障 3、气缸驱动阀故障，驱动气源有问题 1、察看箱门前后是否有朵物 2、察看箱门位置传感器是否被损坏3、察看阀门是否有异样，察看阀门驱动气源和中间继电器J:检漏超时 0、工件有较大漏或工件过于潮湿 1、检漏泵组未启动或热保护 2、检漏阀门损坏，驱动气源不足 3、阀
16、门中间继电器损坏 0、如果不是工件过于潮湿，那么工件不合格 1、察看检漏泵组是否运转正常，泵组机油是否充足 2、察看检漏阀是否可正常开启，气源是否充足 3、察看中间继电器是否接触良好箱体真空传感器故障 1、真空传感器接触不良或损坏 2、传感器内部过脏 1、检查传感器是否接触良好，是否损坏2、清扫传感器泵组热保护 1、泵缺油 2、保损坏 3、泵的电源线接触不良 1、检查泵的油面 2、检查泵的热保是否有异样3、检查电源线回收超时、低压罐压力过高 2、接头没有打开 3、抽空泵未工作 1、暂停回收过程 2、重新拔插接头3、检查电源线充氨超时-1、充氨参数设定错误 2、高压罐压力过低 3、氨气罐已空，无
17、法自动补氨 4、充氨阀有故障 5、回收系统屮辅助继电器松动 6、充氨管路漏气 1、请检查设定参数-2、请检查高压罐压力是否高于设定值高压罐压力,如否请手动补氨 3、请检查氨气罐是否已空，如空请更换 4、请检查充氨阀是否有故障 5、回收系统屮辅助继电器是否松动-6、检查充氨管路工件放气超时 1、充氮参数设定错误 2、放气阀门损坏，辅助继电器损坏 3、传感器损坏 4、放气管路堵塞 1、请检查设定参数（放气超时时间） 2、检查放气阀门和中间继电器 3、更换传感器 4、检查并维护管路工件充氮超时 1、充氮气参数设定错误 2、氮气源压力过低 3、充氮阀有故障 4、中辅助继电器松动 5、充氮管路漏气 1、
18、请检查设定参数（充氮压力） 2、请检查氮气源压力是否低于设定值高压罐压力, 如是请更换氮气源 3、检查并更换充氮阀 4、更换辅助继电器5、维护充氮管路工件抽空超时 1、参数设定错误 2、抽空阀门损坏，辅助继电器损坏 3、传感器损坏 4、管路堵塞 5、工件又较大漏 1、请检查设定参数（抽空超时时间） 2、更换阀门和中间继电器 3、更换传感器 4、检查并维护管路检漏仪出错请联系生产商氮气浓度过低 1、回收过程中混入空气 2、氮气瓶已空 3、浓度计损坏 1、检查回收管路 2、更换氨气瓶3、联系生产商 咼压罐压力过咼 1、压缩机漏气 2、回收管路漏气 3、充氨和回收不同步 1、检查压缩机 2、检查回收
19、管路3、先充氨再回收低压罐压力过高 1、低压罐有少许漏气（系统允许范围内） 2、回收频率过高 3、低压罐严重漏气 1、等待数秒，等压力低了再试 2、先充氮再回收3、检查低压罐相关管路士日常维护项目日维护项目每天开始使用真空箱和停止使用时，用干净的棉布将箱体内的灰尘 清理干净，并将门的密封圈和门擦干净打开V6给高压罐排水观测各个泵和压缩机的油面检查氮气源和氨气源的压力，以便及时更换检查冷却水是否通畅，是否泄露周维护项目检查电气柜内各个接线端子，检查是否有松动，脱线现象如发现异常请 及时处理检查电源是否正常才妾地是否可靠检查各个螺丝丿螺母，检查是否有松动,检查活动部件润滑是否良好如 发现异常请及时处理