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1、*超声加工技术的现状及发展趋势前言：超声波加工是利用超声振动工具在有磨料的液体介质中或 干磨料中产生磨料的冲击、 抛磨、液压冲击及由此产生的气蚀作用来 去除材料，或给工具或工件沿一定方向施加超声频振动进行振动加 工，或利用超声振动使工件相互结合的加工方法。 超声波加工技术是 一种涉及面广且更新快的机械加工技术。 结合近年来超声加工技术的 发展状况，综述了超声振动系统的研究进展和超声加工技术在深小孔 加工、拉丝模及型腔模具研磨抛光、难加工材料的加工、超声振动切 削、超声复合加工等方面的最新应用， 并阐述了超声加工技术的发展 趋势。关键词： 超声波加工、超声振动、声复合加工 、 应用、发展、 正文
2、:1、超声振动系统的研究进展及其应用 超声振动系统由换能器、变幅杆和工具头等部分组成，是超声设 备的核心部分。 在传统应用中， 超声振动系统大都采用一维纵向振动 方式，并按“全调谐”方式工作。但近年来，随着超声技术基础研究 的进展和在不同领域实际应用的特殊需要， 对振动系统的工作方式和 设计计算、振动方式及其应用研究都取得了新的进展。日本研究成功一种半波长弯曲振动系统， 其切削刀具安装在半波 长换能振动系统细端，该振动系统换能器的压电陶瓷片采用半圆形， 上下各两片，组成上下两个半圆形压电换能器 （压电振子 ），其特点是 小型化，结构简单，刚性增强。日本还研制成一种新型“纵 - 弯”型 振动系统
3、， 并已在手持式超声复合振动研磨机上成功应用。 该系统压 电换能器也采用半圆形压电陶瓷片产生“纵 - 弯”型复合振动。日本 金泽工业学院的研究人员研制了加工硬脆材料的超声低频振动组合 钻孔系统。 将金刚石中心钻的超声振动与工件的低频振动相结合， 制 造了一台组合振动钻孔设备， 该设备能检测钻孔力的变化以及钻孔精 度和孔的表面质量， 并用该组合设备在不同的振动条件下进行了一系 列实验。实验结果表明， 将金刚石中心钻的超声振动与工件的低频振 动相结合是加工硬脆材料的一种有效方法。另一种超声扭转振动系统已在“加工中心”用超声扭转振动装 置上应用。主要用作电火花加工后的模具异形 （ 如三角形、多边形
4、） 孔和槽底部尖角研磨抛光， 以及非导电材料异形孔加工。 该振动系统 的换能器采用按圆周方向极化的 8块扇形压电陶瓷片构成，产生扭转 振动。2、 超声加工技术应用研究2.1 深小孔加工众所周知， 在相同的要求及加工条件下， 加工孔比加工轴要复杂 得多。一般来说， 孔加工工具的长度总是大于孔的直径，在切削力的 作用下易产生变形， 从而影响加工质量和加工效率。 特别是对难加工 材料的深孔钻削来说，会出现很多问题。例如，切削液很难进入切削 区，造成切削温度高；刀刃磨损快，产生积屑瘤，使排屑困难，切削 力增大等。其结果是加工效率、精度降低，表面粗糙度值增加，工具 寿命短。采用超声加工则可有效解决上述问
5、题。兵器工业五二研究所研究了陶瓷深孔精密高效加工的新方法 超声振动磨削， 进行了超声振动磨削和普通磨削陶瓷深孔的对比 实验。结果表明， 超声振动磨削可明显提高陶瓷加工效率，能有效地 消除普通磨削产生的表面裂纹和凹坑， 是陶瓷深孔精密高效加工的新 方法。2.2 拉丝模及型腔模具研磨抛光 聚晶金刚石拉丝模超声研磨抛光技术在国内外已获得广泛应用， 新的超声研磨抛光方法和设备已出现。北京市电加工研究所提出的 “超硬工具材料电火花超声波复合抛光方法”， 其特点是： 采用超声 频信号调制高频电火花脉冲电源与超声加工复合进行聚晶金刚石拉 丝模研磨抛光。该技术已获得国家专利，并在生产中获得应用。2.3 难加工
6、材料的超声加工 金属和非金属硬脆材料的使用越来越广泛， 尤其是陶瓷材料， 具 有高硬度、 耐磨损、 耐高温、化学稳定性好、 不易氧化、 腐蚀等优点。 然而，由于工程陶瓷等难加工材料具有极高的硬度和脆性， 其成形加 工十分困难，特别是成形孔的加工尤为困难，严重阻碍了应用推广。 因此，国内外许多学者展开了对难加工材料加工方法的研究， 其中以 超声加工较多。2.4 超声振动切削 超声振动切削作为新兴的特种加工技术，引起了国内外专家学者 的广泛兴趣和极大关注。 最早对振动切削进行比较系统的研究、 可以 称为振动切削理论与应用技术奠基人的是日本学者隈部淳一郎。 他在20世纪5060年代发表了许多振动切削
7、方面的论文，系统地提出了振 动切削理论，并成功地实现了振动车削、振动铣削、振动镗削、振动 刨削、振动磨削等。随后美国也对振动切削进行研究，到20世纪70年代中叶，振动车削、振动钻孔、振动磨削、光整加工等均已达到实 用阶段，超声加工在难加工材料和高精度零件的加工方面显示了很大 的优越性，取得了一系列研究成果，并在生产中得到推广应用。我国对振动切削的研究起步稍晚。 研究内容从振动切削实验到实 际工艺应用， 从振动切削实验系统设计到对振动切削机理， 范围较广 泛，内容较深入。2.5 超声复合加工 将超声加工与其他加工工艺组合起来的加工模式，称为超声复合加工。超声复合加工，强化了原加工过程，使加工的速
8、度明显提高， 加工质量也得到不同程度的改善，实现了低耗高效的目标。电极的超声振动能改善加工过程的主要原因是： 电极表面的高 频振动加速了工作液的循环，使间隙充分消电离；间隙间很大的压力变化导致更有效的放电，这样就能从弧坑中去除更多融化的金 属，使热影响层减小，热残余应力降低，微裂纹减小三、超声加工技术的发展趋势和未来展望1 、超声振动切削技术随着传统加工技术和高新技术的发展，超声振动切削技术的应用 日益广泛，振动切削研究日趋深入，主要表现在以下几个方面。(1) 研制和采用新的刀具材料在现代制造业中，钛合金、纯钨、镍基高温合金等难加工材料所 使用的范围越来越大， 对机械零件加工质量的要求越来越高
9、。 为了更 好地发挥刀具的效能， 除了选用合适的刀具几何参数外， 在振动切削 中，人们将更多的注意力转为对刀具材料的开发与研究上， 其中天然 金刚石、人造金刚石和超细晶粒的硬质合金材料的研究和应用为主要 方向。(2) 研制和采用高效的振动切削系统 现有的实验及实用振动切削加工系统输出功率尚小、能耗高，因 此，期待实用的大功率振动切削系统早日问世。到目前为止，输出能 量为4 kW 的振动切削系统已研制出来并投产使用。在日本，超声振 动切削装置通常可输出功率1 kW,切削深度为0.010.06 mm。(3) 对振动切削机理深入研究 当前和今后一个时期对振动切削机理的研究将主要集中以下几个方面：在振
10、动切削状态下工件材料是如何与工件分离并形成屑 的。 振动切削中刀具与工件相互作用的力学分析。 振动切削 机理的微观研究及数学描述。(4) 超声椭圆振动切削的研究与推广 超声波椭圆振动切削已受到国际学术界和企业界的重视。美国、英国、德国和新加波等国的大学以及国内的北京航空航天大学和上海 交通大学已开始这方面的研究工作。 日本企业界如日立、 多贺公司等 已开始这方面的实用化研究。 但是,超声波椭圆振动切削在理论和应 用方面还有许多工作要做。尤其是对硬脆性材料的超精密切削加工、微细部位和微细模具的超精密切削加工等方面还需要进一步研究。(5) 超声铣削加工技术工程陶瓷的应用日益广泛，但其成形加工十分困
11、难。尤其是具有 三维复杂型面的工程陶瓷零件至今尚无有效的加工手段， 严重影响了 工程陶瓷材料的推广应用。大连理工大学提出了基于分层去除技术的 超声铣削加工方法，研制了超声数控铣削机床，开辟了利用超声加工 技术数控加工工程陶瓷零件的途径。基于分层去除思想的超声铣削加 工技术，解决了传统超声加工中工具损耗严重且不能在线补偿的难 题，使加工带有尖角和锐边的三维复杂型面工程陶瓷零件成为可能， 为工程陶瓷的广泛应用提供了有力的技术支持。2、超声复合加工技术目前，超声波、电火花、机械三元复合加工技术的研究较快的发 展。哈尔滨工业大学利用超声波、电火花、磨料复合加工技术对不锈 钢进行加工，解决了电火花小孔加
12、工中生产率和表面质量不能兼顾的 矛盾，具有较好的应用前景。在现代工业生产中，模具的应用越来越广泛，对模具精度和表面 质量的要求也越来越高。在模具制造过程中，光整加工工序对模具质 量影响很大，但目前该工序在很大程度上仍依赖手工完成， 严重制约 了模具加工技术的发展，是一个亟待解决的关键技术问题。超声电解 磨粒复合加工技术是一项新的复合加工技术， 能较好地适用于形状复 杂的模具型腔光整加工。但尚有许多方面的内容有待进一步研究， 特 别是各主要加工因素对加工表面粗糙度的影响以及表面金属的去除机理等。在微小三维型面的加工中， 利用简单形状电极、 基于分层制造原 理的微细电火花铣削技术正在受到重视， 但
13、该工艺加工效率偏低， 同 时由于其加工精度主要依赖于电极损耗的轴向补偿， 而电极损耗的轴 向补偿量则直接取决于电极损耗率， 提高微细电火花铣削的加工效率 和稳定性是一个重要的课题。 哈尔滨工业大学提出了超声辅助分层去 除微细电火花加工技术，电极轴向的小幅超声振动对活化极间状态、 拉大极间间隙、 增加排屑能力、 提高有效脉冲利用率和放电稳定性等 起到了极为重要的作用， 因此该技术能改善微细电火花铣削时的放电 状态，提高加工效率。3. 微细超声加工技术以微机械为代表的微细制造是现代制造技术中的一个重要组成部 分，晶体硅、光学玻璃、工程陶瓷等硬脆材料在微机械中的广泛应用， 使硬脆材料的高精度三维微细
14、加工技术成为世界各国制造业的一个 重要研究课题。目前可适用于硬脆材料加工的手段主要有光刻加工、 电火花加工、激光加工、超声加工等特种加工技术。超声加工与电火 花加工、电解加工、激光加工等技术相比，既不依赖于材料的导电性 又没有热物理作用， 与光刻加工相比又可加工高深宽比三维形状， 这 决定了超声加工技术在陶瓷、 半导体硅等非金属硬脆材料加工方面有 着得天独厚的优势。 随着东京大学生产技术研究所增泽研究室对微细 工具的成功制作及微细工具装夹、工具回转精度等问题的合理解决， 从而使超声加工作为微细加工技术成为可能。前景：几十年来， 超声加工技术的发展迅速，在超声振动系统、 深小孔加工、 拉丝模及型
15、腔模具研磨抛光、 超声复合加工领域均有较 广泛的研究和应用， 尤其是在难加工材料领域解决了许多关键性的工 艺问题，取得了良好的效果。此外，超声加工技术在迅猛发展的汽车 工业中已有非常广泛的应用， 目前主要用于精密模具的型孔、 型腔加 工，难加工材料的超声电火花和超声电解复合加工，塑料件的焊接， 以及清洁度要求较高的小孔窄缝零件的清洗。 可以推断， 超声加工技 术在世界汽车工业中将发挥越来越重要的作用。 超声加工技术的发展 及其取得的应用成果是可喜的。 一方面， 材料加工的客观需要推动和 促进了超声加工技术的发展； 另一方面， 超声加工技术提供的强有力 加工手段， 又促进了新材料的发展。 材料加工中的许多课题需要我们 共同去探讨。展望未来，超声加工技术的发展前景是美好的。