压电式加速度传感器.docx

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1、冬MN营火4HEFEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY传感器原理及应用课程考核论文题目压电式加速度传感器班级机设七班学号 20111488姓名孙国强成绩 机械与汽车工程学院 机械电子工程系二零一四年五月压电式加速度传感器摘要：现代工业和自动化生产过程中，非电物理量的测量和控制技术会涉及大量的动态测试问题。所谓动态测试是指量的瞬时值以及它随时间而变化的值的确定，即被测量为变量的连续测量过程。振动与冲击测量的核心是传感器，常用压电加速度传感器来获取冲击和振动信号。压电式传感器是基于某些介质材料的压电效应，当材料受力作用而变形时，其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。 其中，压电

2、式加速度传感器是以压电材料为转换元 件，将加速度输入转化成与之成正比的电荷或电压输出的装置，具有结构简单、重量轻、体 积小、耐高温、固有频率高、输出线性好、测量的动态范围大、安装简单的特点。一、传感器物理效应及工作原理压电效应：某些材料在受力时所产生的电极化现象。正压电效应：某些电介质在受到某一方向的机械力而变形时，在一定表面上产生电荷，若外力变向，电荷极性随之而变；当撤除外力后，乂重新回到不带电状态。逆压电效应：当在电 介质的极化方向施加电场，电场力使其在一定方向上产生机械变形或机械应力； 当撤除外加电场时，变形或应力随之消失，乂称电致伸缩效应。压电材料：石英晶体是目前广泛应用成本较低的人造

3、石英晶体，有很大的机械强 度和稳定的机械性能，温度稳定性好，但灵敏度低，介电常数小，因此逐渐被其 他压电材料所代替，至今石英仍是最重要的也是用量最大的振荡器、 谐振器和窄 带滤波器等元件的压电材料。除此之外，压电陶瓷有较高的压电系数和介电常数， 灵敏度高，但机械强度不如石英晶体好。压电式加速度传感器乂称为压电加速度计，它是典型的有源传感器，利用某 些物质如石英晶体、人造压电陶瓷的压电效应， 在加速度计受振时，质量块加在 压电元件上的力也随之变化。压电敏感元件是力敏元件，在外力作用下，压电敏感元件的表面上产生电荷，从而实现非电量电测量的目的。压电加速度传感器的原理框图如图1所示，原理如图2所示。

4、图1加速度传感器的组成框图图2压电加速度传感器原理图实际测量时，将图中的支座与待测物刚性地固定在一起。当待测物运动时， 支座与待测物以同一加速度运动，压电元件受到质量块与加速度相反方向的惯性 力的作用，在晶体的两个表面上产生交变电荷（电压）。当振动频率远低丁传感器 的固有频率时，传感器的输出电荷（电压）与作用力成正比。电信号经前置放大器 放大，即可由一般测量仪器测试出电荷（电压）大小，从而得出物体的加速度。压电加速度传感器的压敏元件采用具有压电效应的压电材料，换能元件是以 压电材料受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理。这些压电材料，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，

5、同时在它的两个相对 的表面上便产生符号相反的电荷；当外力去掉后，乂重新恢复不带电的状态； 当 作用力的方向改变时，电荷的极性也随着改变。 其中弹性体是传感器的核心，其 结构决定着传感器的各种性能和测量精度，弹性体结构设计的优劣对加速度传感 器性能的好坏至关重要。二、传感器的构成压电式加速度传感器的敏感元件是具有压电效应的压电材料如石英晶体，转换元件是以压电材料受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理。 这些压电 材料，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象， 同时在它 的两个相对的表面上便产生符号相反的电荷； 当外力去掉后，乂重新恢复不带电 的状态；当作用力的方向改变时，电荷

6、的极性也随着改变。一 III | 一 . | J |极化方向自由电荷电极、 + + + +、极化方向、束缚电荷电粮 /+ + + + + + HIIF +'I'I'I压电传感器等效原理：压电晶体在受外力作用下，其电极表面产生正负极性的 电荷，因此可以看成一个静电发生器，其类似一个以压电材料为电介质的电容 器，如图所示。n当两极板间有异性电荷（q）时，极板之间的电压为Ua 电极'(F)电晶体压 I压电传感器的等效原理三、传感器的结构常用的压电式加速度计的结构形式如下图所示。S是弹簧，M是质块，B是基座，P是压电元件，R是夹持环。图a是中央安装压缩型，压电元件一质量

7、块一 弹簧系统装在圆形中心支柱上，支柱与基座连接。这种结构有高的共振频率，然而基座B与测试对象连接时，如果基座B有变形则将直接影响拾振器输出。此外， 测试对象和环境温度变化将影响压电元件， 并使预紧力发生变化，易引起温度漂 移。图c为三角剪切形，压电元件由夹持环将其夹牢在三角形中心柱上。加速度 计感受轴向振动时，压电元件承，受切应力。这种结构对底座变形和温度变化有 极好的隔离作用，有较高的共振频率和良好的线性。图b为环形剪切型，结构简单，能做成极小型、高共振频率的加速度计，环形质量块粘到装在中心支柱上的 环形压电元件上。由丁粘结剂会随温度增高而变软，因此最高工作温度受到限制。（a）中心支装压缩

8、型 （b）环形碧切其三角整f切型压电式加速度传感器的幅频特性曲线加速度计的使用上限频率取决丁幅频曲线中的共振频率图，一般小阻尼（z<=0.1）的加速度计，上限频率若取为共振频率的1/3，便可保证幅值误差低丁 1dB （即12% ;若取为共振频率的1/5,则可保证幅值误差小丁 0.5dB （即6%,相移小 丁 30。但共振频率与加速度计的固定状况有关，加速度计出厂时给出的幅频曲 线是在刚性连接的固定情况下得到的。实际使用的固定方法往往难丁达到刚性连 接，因而共振频率和使用上限频率都会有所下降。压电式加速度传感器的固定方法：6. It 加准度传密器的固定方法其中图1采用钢螺栓固定，是使共振频

9、率能达到出厂共振频率的最好方法。螺栓不得全部拧入基座螺孔，以免引起基座变形，影响加速度计的输出。在安装面上涂一层硅脂可增加不平整安装表面的连接可靠性。需要绝缘时可用绝缘螺栓和云母垫片来固定加速度计（图 2）,但垫圈应尽量簿。用一层簿蜡把加速度计粘在 试件平整表面上（图 3）,也可用丁低温（40C以下）的场合。手持探针测振方 法（图4）在多点测试时使用特别方便，但测量误差较大，重复性差，使用上限 频率一般不高丁 1000H乙用专用永久磁铁固定加速度计（图 5）,使用方便，多 在低频测量中使用。此法也可使加速度计与试件绝缘。用硬性粘接螺栓（图 6） 或粘接剂（图7）的固定方法也长使用。某种典型的加

10、速度计采用上述各种固定 方法的共振频率分别约为：钢螺栓固定法 31kHz,云母垫片28kHz,涂簿蜡层 29kHz,手持法2kHz,永久磁铁固定法 7kHz。四、传感器的灵敏度压电式加速度计的灵敏度：压电加速度计届发电型传感器，可把它看成电压源 或电荷源，故灵敏度有电压灵敏度和电荷灵敏度两种表示方法。前者是加速度计输出电压（mV与所承受加速度之比；后者是加速度计输出电荷与所承受加速 度之比。加速度单位为m/s2,但在振动测量中往往用标准重力加速度 g作单 位，1g= 9.80665m/s2。这是一种已为大家所接受的表示方式， 几乎所有 测振 仪器都用g作为加速度单位并在仪器的板面上和说明书中标

11、出。对给定的压电材 料而言，灵敏度随质量块的增大或压电元件的增多而增大。一般来说，加速度计尺寸越大，其固有频率越低。因此选用加速度计时应当权衡灵敏度和结构尺寸、 附加质量的影响和频率响应特性之间的利弊。压电晶体加速度计的横向灵敏度表示它对横向（垂直丁加速度计轴线）振动的敏感程度，横向灵敏度常以主灵敏度（即加速度计的电压灵敏度或电荷灵敏度）的白分比表示。一般在壳体上用小红点标出最小横向灵敏度方向，一个优良的加速度计的横向灵敏度应小丁主灵敏度的 3%。因此，压电式加速度计在测试时具有 明显的方向性。压电传感器中的压电元件材料一般有三类：一类是压电晶体，如石英晶体；另一类是经过极化处理的压电陶瓷；压

12、电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，而制造成品较低，因此目前国内外生产的压电元件绝 大多数都采用压电陶瓷。常用的一代女陶瓷材料有皓钛酸铅系列压电陶瓷 （PZT 及非铅系压电陶瓷（BaTiO3等）第三类是高分子压电材料。典型的高分子压电 材料有聚偏二乙烯（PVF2或PVDF、聚氟乙烯（PVF、改性聚氯乙烯（PVC等。 它是一种柔软的压电材料，可根据需要支撑薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎， 具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，价格便宜，频率 响应范围较宽，测量动态范围可达 80dB。五、传感器的测量电路由压电元件的工作原理可知，压电式传感器可看作一

13、个电荷发生器。同时，它也是一个电容器，晶体上聚集正负电荷的两表面相当丁电容的两个极板，极板问物质等效丁一种介质，则其电容量为：M'Sd式中S为晶片电极面面积；£ r为压电材料的相对介电常数；£ 0为真空介电常 数。因此，压电传感器可以等效为一个与电容相申联的电荷源。压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小，因此，它的测量电路通常需接入一个高输入阻 抗的前置放大器，其作用如下：（1）把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗。（2）放大传感器输出的微弱信号。本设计中前置放大器采用电荷放大器。压电 传感器在实际使用时与测量仪器或测量电路相连接， 因此还需考虑连接电缆的等 效电容

14、Cc、放大器的输入电阻Ri、输人电容Ci及压电传感器的泄漏电阻 Ra, 这样压电传感器在测量系统中的实际等效电路如图 3所示。图3压电传感器测量等效电路图图中，KA为运算放大器增益。由丁运算放大器的 Ri极高，而Ra=l61014欧姆, 所以可认为Ri和Ra是开路的。设运算放大器输人电压为 Ui,输出电压为U0 根据运算放大器理论和电路理论得电荷量为Q=Ui(Ca+Cc+Ci)+(Ui-Uo)Cf式中Cf为反馈电容。将Uo=-AkUi代入上式中得Uo=AkQ/(Cc+Ca+Ci+Cf+ACf)若放大器开环增益足够大，满足(1+AkCf)>>Ca+Cc+Ci时，上式可表示为：Uo=-

15、Q/Cf由上可知，在一定情况下，电荷放大器的出电压与传感器的电荷量成正此，并且与电缆分布电容无关。因此，采用电荷放大器时，即使联接电缆长度在白米以上， 其灵敏度也无明显变化，这是电荷放大器的突出优点。六、传感器的选择压电加速度传感器的敏感芯体一般由压电材料和附加质量块组成，当质量块受到加速度作用后便转换成一个与加速度成正比并加载到压电材料上的力，而压电材料受力后在其表面产生一个与加速度成正比的电荷信号。压电材料的特性决定了作用力可以是受正应力也可以是剪应力， 压电材料产生的电荷大小随作用力的 方向以及电荷引出表面的位置而变。 根据压电材料不同的受力方法，常用传感器 敏感芯体的结构一般有以下三种

16、形式：1) 压缩形式- 压电材料受到压缩或拉伸力而产生电荷的结构形式。压缩 式敏感芯体是加速度传感器中最为传统的结构形式。其特点是制造简单方便，能 产生较高的自振谐振频率和较宽的频率测量范围。而最大的缺点是不能有效地排 除各种十扰对测量信号的影响。2）剪切形式- 通过对压电材料施加剪切力而产生电荷的结构形式。从理论上分析在剪切力作用下压电材料产生的电荷信号受外界十扰的影响甚小，因此剪切结构形式成为最为广泛使用的加速度传感器敏感芯体。然而在实际制造过程 中，确保剪切敏感芯体的加速度计持有较高和稳定的频率测量范围却是传感器制 造中工艺中最为困难的一个环节。北智BW-Sensor采用进口记忆金届材料

17、的紧固件从而保证传感器具有稳定可靠的谐振频率和频率测量范围。3）弯曲变形梁形式-压电材料受到弯曲变形而产生电荷的结构形式。弯曲变形梁结构可产生比较大的电荷输出信号， 也较容易实现控制阻尼；但因为其测 量频率范围低，更由于此结构不能排除因温度变化而极容易产生的信号漂移，所以此结构在压电型加速度计的设计中很少被采用。-传感器的灵敏度与量程范围传感器的灵敏度是传感器的最基本指标之一。灵敏度的大小直接影响到传感 器对振动信号的测量。不难理解，传感器的灵敏度应根据被测振动量（加速度值） 大小而定，但由于压电加速度传感器是测量振动的加速度值，而在相同的位移幅值条件下加速度值与信号的频率平方成正比，所以不同

18、频段的加速度信号大小相 差其大。大型结构的低频振动其振动量的加速度值可能会相当小，例如当振动位移为1mm,频率为1 Hz的信号其加速度值仅为0.04m/s2（0.004g）;然而对高频 振动当位移为 0.1mm频率为10 kHz的信号其加速度值可达4 x 10 5m/s2（40000g）。因此尽管压电式加速度传感器具有较大的测量量程范围，但对用于测量高低两端频率的振动信号，选择加速度传感器灵敏度时应对信号有充分的估 计。最常用的振动测量压电式加速度计灵敏度，电压输出型（IEPE型）为50100mV/g,电荷输出型为10 50 pC/g。1）传感器的高频测量范围传感器的高频测量指标通常由高频截止

19、频率来确定，而一定截止频率与对应的幅值误差相联系；所以传感器选用时不能只看截至频率， 必须了解对应的幅值 误差值。传感器的频率幅值误差小不仅是测量精度提高，更重要的是体现了传感 器制造过程中控制安装精度偏差地能力。另外由于测量对象的振动信号频率带较 宽，或传感器的固有谐振频率不够高，因而被激发的谐振信号波可能会叠加在测 量频带内的信号上，造成较大的测量误差。所以在选择传感器的高频测量范围时 除高频截至频率外，还应考虑谐振频率对测量信号的影响； 当然这种测量频段外 的信号也可通过在测量系统中滤波器给予消除。2）传感器的低频测量范围与传感器高频指标相对应，传感器的低频测量指标通常由低频截止频率来确

20、 定，同样一定低频截止频率与对应的幅值误差相关。和高频特性不同，传感器的低频特性与传感器的任何机械参数无关， 而仅取决于传感器的电特性参数。当然 传感器作为测量系统的某一部分，测量信号的低频特性还将受到与传感器配用的 后继仪器电参数的制约。一般情况下传感器的高频截止频率与输出信号的形式 （即电荷型或低阻电压型）无关；而与传感器的结构设计，制造以及安装形式和 安装质量都密切相关。以下表格是对不同型式加速度传感器的高频响应作一个定 性 的归类， 供用户 在选用 时对比和高朔响应外形，重量和耕度勰芯体形式总体设计安装形式融小,重辙低灵敏度压靖型单层壳通曜好通用型剪切型里层壳带匏缘座吸锐粘接差个大，腱

21、高麹度弯曲梁形式双层屏蔽壳手持,传感器的封装形式压电式传感器的工作原理是利用敏感芯体的压电效应，而压电材料产生的是 高阻抗的电荷信号。传感器敏感芯体的绝缘阻抗与传感器的低频测量截止频率存 在着相互对应的关系。为了保证传感器的低频响应，传感器壳体封装设计应使敏 感芯体与外界隔绝，以防止压电陶瓷受到任何污染而导致其绝缘阻抗下降。敏感芯体绝缘阻抗下降对传感器性能造成的直接影响表现为低频响应变差，严重时还将造成传感器灵敏度改变。为保证传感器的密封特性，大多传感器的封装采用激 光焊接。同时在当今密封材料品种多样，性能日益完善的情况下，针对不同的使用环境，采用合适的密封材料替代激光焊接也能达到传感器密封的

22、要求。但必须指出不同的密封材料效果差异很大。北智公司采用国外知名品牌的密封材料并经 过通过了多年的环境厉行试验验证。在工业现场测试现场，为防止电磁场对传感 器信号的影响，对用丁工业现场的在线监测传感器往往要求传感器采用双重屏蔽 壳封装形式。双层屏蔽结构的传感器输出接头一般采用双芯工业接头或联体电缆 输出形式。由丁双层屏蔽壳的结构特点和双芯输出电缆， 传感器的高频特性一般 将受到较大的制约，因此如果用户必须选用双层屏蔽型传感器进行高频振动信号 测量，应谨慎考虑。-传感器输出接头形式M5 (M6)接头是加速度传感器最为常用的输出接头形式。M5接头特点是尺寸较小，一般配用直径较细的电缆 (2mm或3

23、mm ),比较适合振动实验的测试。 另外M5 (M6)的结构型式对信号屏蔽较好，所以对电荷输出型加速度传感器因 其输出为较容易受干扰的高阻抗信号一般均采用M5 (M6)接头。测量振动的加速度传感器接头一般避免使用 Q9(BNC),原因是Q9 (BNC)，接头组件没有螺纹联 接，构件之间的机械耦合刚度较低；因此如果加速度传感器输出采用Q9(BNC),其将会影响传感器的高频响应。-电缆的选择对输出为高阻抗信号的电荷型压电型传感器而言，为保证测量信号不受因电缆移动而造成噪声的影响，传感器的输出信号电缆一般都采用低噪声电缆。而输出为低阻抗电压信号的IEPE传感器，低噪声电缆并不一定是必需的。高频，低

24、频信号对电缆不同要求的典型的例子是多轴向测量传感器的电缆，多通道高阻抗信号的电缆必须是各自独立的低噪声屏蔽电缆，而多通道低阻抗的电压信号便可采用多芯绞线加屏蔽的电缆。在通用型传感器的电缆配备中因考虑到电缆的重量 和成本，2 mm直径的低噪声电缆为加速度传感器的标准配置。工业现场用的 传感器一般以IEPE型为主，电缆本身的强度也成为重要考虑因素，因此3 mm直径的低噪声电缆和 4.5 mm直径的普通同轴屏蔽电缆成为最常使用的电缆。而对双层屏蔽壳设计的IEPE型传感器的电缆配置均为双绞芯线外加屏蔽的电 缆。在加速度传感器输出信号电缆的选择中，除电缆结构外，其他最经常考虑的指标是电缆的应用温度以及在

25、工业现场测试中电缆外层材料耐腐蚀的能力。最为普遍使用的电缆绝缘材料为 PVC,使用温度范围为-40oC到+105oC。对应用环 境较恶劣的场合，最经常选用的电缆绝缘材料为聚四氟乙烯；其使用温度范围为-45oC到+250oG且耐腐蚀能力也优丁其它大多数电缆绝缘材料。但用四氟材料做的电缆柔性较差，价格也远高丁 PVC材料。应用实例:IEFE压电加谏度传感器产品型号=ULT01系列、ULT10系列、ULT20系列 产品名内装K压电加速度传感器资料下暮：IEPEE电加速度传感暮( PDF资料下载)产品】EPE加速度传感器是在传感器内部集成 了御型集成电路放大碧(mini IC)的压电加速度传感慕 将传

26、统的压电加速度传感馨与电荷放大器集于一体，能 直接与采集或记录仪器连接,简化了删试系统撑高了 测试精度和可靠性同时具有18阻杭输出、抗干扰*唉 声小住价比高、安装方便等显著优点多轴向IEPE压电加速度传感器:ULT2009ULT2010 、 ULT2011ULT2017ULT2021型与单位|ULT2009ULT2010ULT2011ULT2017ULT2021轴向双轴向三轴向三轴向三轴向以轴向fit程9±50±50±10±25±0.5又故度mV/g10010050020010000频率范H（±1O%）Hz0.5YOOO0.5-500

27、00.5-20000.5-40000.1-150谐振频率kHz22228132分舛率90.00020.00020.000040.00010.000002帔值线性%S1S1S1S1S1横向灵敏度%S5.S3（典型值）S5. 53（典型值）金,53（典型55. S3(典型(fl)S5. MX典型值）电性参数恒流源mA2204（典型值）综出用抗Ohm<150<150<150<150<150输出）VDC8-128*128-128-128-12放电时间常数SecN.2*220.2N.2Z0.2环境参散J夸一"，一最大冲击值g100050030050050工作温度1

28、-40*12040-*12041120旬“12040F20物理参牧压电fli电JR电压电外壳材料不悟钢不f胸不伤钢不钥钢不侬钢输出接头形式M5M5M5M5集成电焦安装螺纹mmM5M5M52-M2.5M5外形尺寸mm13« 13*20.5四方 29-29*17四方 36*3619长方 32x22,12长力 35x30x25gram339810070195用途及特点通川测板用测版通用测娠通川测版岛灵敏度ULT2060ULT2061ULT2122 、 ULT2123ULT2124ULT2022 . ULT2123ULT2124外形尺寸图型号弟位ULT2060ULT2061ULT2122UL

29、T2123ULT21241辅向三"三黜网三较向比态特征量岸9±25±5±500±100说00mV/g3001000105025由0 5-40M0.1-1M01-1200(1-100000.5-12000(Z) 0.5-6(KK)(Y)谐临摭率kHz205353536分排率90.00010 000020 00080.0004 0008幅的我性%ft£1帼问迎嘘座%S5. W3(弊型tfl)S5. S3(a«ffl>S5, £3顷电卸s5.s3(Htfl)55, S3(ft!fTl>电性挚散mA2*20.酬

30、R型位）犒洌阻抗Ohm<150<150*150<150*150出偏压VDC9-128-128-12a-12at电月间常敦SeceC_2iO-2aO-220.2环境蓼数最大冲由依9500300200020002000工作温崖-20-+B0Vd204)t12040F2C物理整数序电用电版噌升瓷枷1不籍倒不辆斟出楼汰诰式M5M5墓成电瑜M屯埋垠应电躅安装雌绽mmM5M5M5MSM5外昭尺寸催面携祥时A直1itim四力 29-29*17四力22-2222-2222-22gram10026015卬甯线船IS卬目理长）15环由线0用途及特点通用删振篇冲it篇冲击测冲击图像自动翻转用加速度

31、传感器检测手持设备的旋转动作及方向，实现所要显示图像的转正。电子指南针倾斜校正磁传感器是通过测量磁通量的大小来确定方向的。当磁传感器发生倾斜时，通过磁传感器的地磁通量将发生变化，从而使方向指向产生误差。因此，如果不带倾 斜校正的电子指南针，需要用户水平放置。而利用加速度传感器可以测量倾角的 这一原理，可以对电子指南针的倾斜进行补偿。GPS#航系统死角的补偿GP源统是通过接收三颗呈120度分布的卫星信号来最终确定物体的方位的。在一些特殊的场合和地貌，如遂道、高楼林立、丛林地带，GPS®号会变弱甚至完全失去，这也就是所谓的死角。而通过加装加速度传感器及以前我们所通用的 惯性导航，便可以进行系统死区的测量。对加速度传感器进行一次积分，就变成 了单位时间里的速度变化量，从而测出在死区内物体的移动。