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1、查找故障故障现象检杳操作系统通电时，LED没有闪烁秒电源是否出现故障确保电源已打开并且保险丝（及限流设备）未松开。发送并行“启动”命令后泵不旋转检查电源是否打开并且故障输出是否活动转轴任然不旋转，则表示泵出现故障。发送串行“启动”命令后泵不旋转检查泵是否回复“启动”命令如果没有回复，则应检查串行 通信链接是否通电并且“串 行启用”是否激活以及电源 是否打开。检查橙色状态LED 是否闪烁。泵在多站模式下不响应检查是否启用多站模式确保泵有多站地址并且使用多站协议发送命令。橙色状态LED闪烁错误代码注意每个序列6下闪烁中长闪 烁的位置，以解读错误代码。查阅相关错误代码并按照所提供的说明进行操作运行时
2、额定LED不亮或泵没有以全速旋转或泵出现故障入口压力是否过高？如果是这样，应减小抽取负载或检查系统是否有大泄漏。泵运行时是否太热？增加泵的冷却。可能需要从通 风冷却变成水冷。可能需要增 大冷却水流量或降低水温或 同时采取这两种措施。检查外 部热源确保没有辐射过多热 量。转轴旋转是否顺畅？如果不是，泵轴承可能已损 坏。无法达到极限压力压力是否因水蒸气而受限？烘烤系统和泵。是否任何真空压力表有污物？如果是这样，应清洁或更换。抽取速度是否不足(由于泵和压力表接触不良或中间有太大的腔)？使其接触良好或减小体积。层间入口压力是否(50pa)如果层间入口压力太大，涡轮 分子泵上的入口压力会增大； 应确保层
3、间入口压力(50 pa)。前级压力是否10mbar如果是这样，前级压力可能太 大。检查后备管道是否有泄 漏。如果对处理能力要求较 高，则可能需要更大的后备 泵。系统的咼真空区域是否有污物？如果是这样，应清洁咼真空系 统。检查系统的其它部分是否有泄漏或污物。如果发现有，则应修补泄漏处 并清除污物。泵噪音很大或振动过大或两种情况同时出现泵转速与所连接系统的共振频率是否相同？如果是这样，则应更改系统的固有频率或使用活动风箱隔 离泵。震动是从转动的后备泵传递过来的吗？如果是这样，则应在后备线路中安装活动风相或隔振器。噪音是不是不规则并且越来如果是这样，则表示轴承有瑕越糟糕？疵。泵是不是发出持续的啸叫？如果是这样，则表示转轴失 衡。