彩膜典型工艺流程.doc

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彩色滤光片(CF )工艺流程Ltlt.涮吐吗PQlihmPre-deanJtgHtfJtExp 虽主 u FingDevelopingPS层ITO I:Colour PilferCleaningZUPhotwisinHeining彩色滤光片(Colour Filter )的结构包含玻璃基板、黑色矩阵、彩色层、保护膜及ITO导电膜,此光电组件是在透明玻璃基板上制作防反射的遮光层-黑色矩阵(Black matrix ),洗净后再进行光阻的涂布,先涂布红色彩色光阻后,经曝光、 显影、烘烤,形成红色滤光层,再依序制作形成具有透光性红、绿、蓝三原色的彩 色滤光膜层,然后溅射镀上透明的ITO导电膜,最后进行PS层。

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