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1、光学玻璃的激光微结构化砂轮精密磨削作者： 郭兵;赵清亮 ;陈冰;于欣作者机构： 哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所 ,哈尔滨黑龙江 150001; 哈尔滨工业大学航天学院光电子技术研究所,哈尔滨黑龙江 150080; 哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所 ,哈尔滨黑龙江 150001; 哈尔滨工业 大学机电工程学院精密工程研究所 ,哈尔滨黑龙江 150001; 哈尔滨工业大学航天 学院光电子技术研究所 ,哈尔滨黑龙江 150080来源： 光学精密工程ISSN ：1004-924X年： 2014卷：022 期：010 页码： 2659-2666 页数：8中图分类： TQ171.68正文
2、语种： chi关键词： 光学玻璃 ;微结构化 ;金刚石砂轮 ;纳秒激光 ;精密磨削 ;亚表层损伤 摘要： 为了降低大磨粒金刚石砂轮磨削光学玻璃时的亚表层损伤,利用纳秒脉冲激光对金刚石砂轮进行了表面微结构化加工 ,并采用该砂轮研究了光学玻璃的精 密磨削加工 .首先 ,计算了金刚石磨粒在纳秒脉冲激光辐射下的烧蚀阈值和激光束 腰半径 ;然后,分析了纳秒脉冲激光在金刚石磨粒上加工的微结构形貌以及微结构 化过程中的热损伤 ;最后 ,采用微结构化大磨粒金刚石砂轮进行光学玻璃的磨削实 验 ,并分析了亚表层的损伤情况 .实验结果表明 :金刚石磨粒在纳秒脉冲激光辐射 下的烧蚀阈值为0.89 J/cm,激光束腰半径为17.16 卩m.在粒度为0卩油勺大 磨粒电镀金刚石砂轮上可以实现结构尺寸为20卩山的微结构表面加工.与传统