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1、SUB：图形电镀5#铜缸均匀性测试报告TO :生产、品质CC :From：审核： 批准： 日期：2020-05-10文件类別：编号：20200510001一、目的：按作业指引，定期测试均匀性能力是否满足我司品质要求。二、测试步骤及方法1、试板规格：板厚底铜厚度H/HOZ,规格610mmX 520mm2、试板流程:开料一电铜一烘干一数据测量3、电镀参数：试板线别缸号药水参数分析值温度电镀参数备注图电线5号缸CUSO,: 50-90g/L71. 5g/L23C1.8ASDX60min摇摆、打气、振动正常H=S0：:180-220g/L203. 4g/LCL:40-80ppm63. 5ppm三.挂板
2、方式:4-d4-4-4-P13P2aF*pgP5PRp和四、测试点示意图（测试点离板边10mm）1 2 3 4 5 6 7 8 A B C D E F G H I J五、板面均匀性测试（每面测试80点）图电5社铜缸均匀性1、详细测试数据见附件：测试数据2、数据分析PlP2P3PlP5P6P7P8整体均匀性正面AVE21. 8324. 1523.7824. 5424. 1524. 0524. 312 1.5224. 29SDEV1. 411. 341.561.571.572. 022. 091.681.69cov5.68%5. 57%& 58%6. 40%6 48%& 40%& 59%6. 84
3、%6. 97%MAX28. 002& 1026. 1027.0026. 6027.0027.2027. 702& 00MIN20. 1020. 9020.2020. 9020. 1020. 2020. 3020. 0020. 00极差7.905. 205. 906. 10& 506. 806. 907. 708. 00反面AVE25. 4625. 5525. 0721. 7624. 3524. 0323.9523. 8224. 62SDEV1.702. 152.151.912. 062. 052.011. 472. 05COV6. 67%8. 40%& 56%7. 82%8.46%8. 54%
4、8 38%6. 19%8.31%MAX28. 0028. 6028. 2027. 9027. 3027. 0027.0027. 502& 60MIN20. 7020. 0020.8020. 2020. 2020. 2020. 0020. 5020. 00极差7.308. 607. 107. 707. 106. 807.007.008. 60注:Cov = SDEV 4-AVE* 100% （要求W10% ）3、图示分析：正面面铜铜厚分布图32.029.0 -32.0口26.D -29.023.0 -2S.020. 0 -23.017.0 -20.0正面面铜橈向铜厚分布图35.0032.0029.0026.0023.0020.00147 10 13 16 19 22 25 28 31 34 37 40 43 46 49 52 55 58 61 64反面面铜铜厚分布图I2S16二耸巳二塔R冷将崙窝宓常胳影奚打储拶轿咎正嚣诺比盘&送 32. 0 -35. 0系列 029. 0 -32. 0刁 Q26. 0 -29. 0朋列口230 -26. 0系列 20.0 -23.0 17. 0 -20. 0反面面铜横向铜厚分布图六、结论从测试板测量数据看整靶COV正面6. 97%,反面831陰 符合我司要求W10%。七、无