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1、JEM 100 CX II真空系统 维修案例一,张康 2016.3.2,1,目录,一、JEM 100 CX II真空系统简介 二、故障描述 三、排查过程 四、维修过程 五、总结,2,一、JEM 100 CX II真空简介,JEM 100 CX II真空系统包含机械泵两台，油扩散泵两台（循环水系统），空压机一台，皮拉尼规四个，缓冲罐两个，电磁阀若干，真空管及接口若干。,3,主要参数： 真空度要求：10-5Pa 空压机压力：3-5kg/cm2 机械泵：10-3Pa 扩散泵10-210-7Pa（冷阱可进一步提高真空度和抽气速率，可选） 皮拉尼规真空度：10-2Pa10-5Pa,4,正常抽气流程,第一
2、阶段：初始阶段 1.打开循环水和电源后，空压机首先开始工作； 2.空压机压力达到3.8kg/cm2后，机械泵开始工作； 3.V11，V24，V14，V16指示灯亮，表示RP1，RP2正在抽缓冲罐1，缓冲罐2，底片室，样品交换仓； 4.同时A面板DP灯亮，表示DP处于加热状态。,5,第二阶段：粗抽阶段 1.V14切换至V25，V10亮，表示RP2开始抽镜筒粗真空，V11，V24，V16继续亮，表示RP1持续抽DP1，DP2前级真空； 2.至A面板HIGH灯亮为止，表示镜筒， DP，皮拉尼规前级真空均已抽好，且DP加热完毕，将开始细抽。,6,第三阶段：细抽阶段 1.自HIGH灯亮开始，表示 DP开
3、始细抽镜筒真空。 2.V8，V7，V23灯亮，表示DP2正在抽观察室，DP1正在抽镜筒和阳极室。 3.最后亮的灯是V4，V1以及A面板READY，表示整个真空系统抽气过程完毕，镜筒处于高真空状态，可以开始加高压。,7,二、故障描述,1.开始的故障是真空抽得比较困难，比平时时间延长很多，且时能抽上时不能。 2.空压机压气效率下降且有较大噪声。 3.逐渐发现电磁阀处有放气的声音，且越来越大。 4.完成初始抽气阶段后，一直停在V10灯亮这一步，无法继续向下进行。 5.放气现象越来越严重，起初以为是镜筒主动放气，后发现放气速率渐渐大过空压机压气速率，当空压机压力小于3kg/cm2时，机械泵停止工作，整
4、个真空系统停机。,8,初步判断,总体描述：真空系统启动困难，粗真空抽不上，但DP加热正常，表示前级压力无法达到要求 但无法判断是下列问题的哪一种： 空压机压缩效率问题 机械泵抽气效率问题 V7，V8，V23阀门问题 皮拉尼规探头问题。,9,三、排查过程,一般排查顺序： 1.检查供电电路 2.检查循环水 PD加热后要有循环水将温度控制住稳定 3.检查相关气管连接接口 4.检查关键部位O圈 水平放置和垂直放置不同 5.检查机械泵泵油（半年换），皮带 6.检查扩散泵加热板，扩散泵泵油 7.检查空压机油，放空压机积水 8.寻找漏气部位 9.检修阀门 10.检查真空检测探头,10,基本检查完成，并无异常
5、 且电镜电磁阀门处漏气声音明显，故迅速判断故障部位。 难点在于14个阀门在一起，无法确定到底是哪个阀门故障。 且由于之前对真空系统理解不到位，未能充分了解空压机在这之中的作用，故给排查带来较大麻烦。,11,四、维修过程,方案一：用另一台100 CX II的电磁阀逐个替换故障电镜的阀门，看故障是否排除，若排除则可确定某个电磁阀损坏。 尝试结果：逐个替换过程繁琐，且发现并不是某一个阀门的故障，而可能是几个。 方案二：堵住一排电磁阀的总出口，减小漏气速率，维持机械泵工作，若能切换至下一个状态，则可将范围缩小至RP，DP之间的3,4个阀门。 尝试结果：无法完全堵住漏气处，无法维持系统内压力。 方案三：
6、逐个排查电磁阀。尝试维修电磁阀。,12,13,电磁阀原理：,14,15,不通电情况下，整个阀封闭，S处进气，但其他气口不出气； 通电情况下，电磁端子被吸出，S处进的气将阀顶至工作位置，此时气流从S至CI,E2至C2 当再度断电，整个阀门回位，此时电磁端子内的弹簧将气阀顶至初始位置，气流不通 发现故障：不该通气时放气严重,拆卸视频,16,17,18,19,20,清洗检修过程： 先擦洗原有油脂 泡在酒精里清洗2-3次 重新涂抹油脂 组装并测试,在不通电情况下，降S进气口通气，如果各个气口都不出气，表示正常。如有漏气，表示阀内密封不严。,21,小插曲： 所有阀门均以以上方法清洗检测过一边，确认均不漏气，却发现真空仍然抽不上。 经仔细检查发现： 1.重装的时候有两个阀门的气管插反 2.V25电线焊接不牢,22,五、总结,知识扩充： 空压机在整个真空系统中的作用 缓冲罐是真空气路的最重要枢纽之一 更进一步摸清各个阀门及气管的连接情况 未尽问题 真空模块供电 真空规工作及检修,23,谢谢！,24,