JJG 661-2004 平面等倾干涉仪.pdf.pdf

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1、中华人民共和国国家计量检定规程 J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 平 面 等 倾 干 涉 仪 F l a t n e s s I n t e r f e r o me t e r w i t h I s o c l i n i c C i r c l e F r i n g e 2 0 0 4一 0 9 一 2 1 发布2 0 0 5 一0 3 一2 1 实施 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局发布 J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 飞.。户，. 平面等倾干涉仪检定规程 ; J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 V e r i f i c a t i o

2、n R e g u l a t i o n o f F l a t n e s s I n t e r f e r o me t e r w i t h I s o c l i n i c C i r c l e F r i n g e 代 替 J J G 6 6 1 - 1 9 9 0 、. ， 二， _ ， _ _ . o. ， .o . ， .o. ， .o. o.。护 本规程经 国家质量监督检验检疫总局于 2 0 0 4 年 0 9 月 2 1日批准 ，并 自 2 0 0 5 年 0 3 月 2 1日 施行。 归 口 单 位 :全国几何量工程参量计量技术委员会 起 草 单 位 :中国测

3、试技术研究院 本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 J d G 6 6 1 - 2 0 0 4 本规程起草人 : 冉庆( 中国测试技术研究院) 陈永康( 中国测试技术研究院) 张成梯( 中国测试技术研究院) 曹箭 中国测试技术研究院) J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 目录 1 范围 ( 1 ) 2 引用文献 ( 1 ) 3 概述 ( 1 ) 4 计量性能要求 。 ( 1 ) 4 . 1 测微目镜的示值误差极差及回程误差 ( 1 ) 4 . 2 工作台移动的直线度 。 。 ( 2) 4 . 3 工作台移动的示值误差及回程误差 ( 2) 4 . 4 钢球支架的工作性能 (

4、 2) 4 . 5 标准干涉环直径测量的标准偏差 ( 2) 4 . 6 干涉环小数干涉级测量的重复性 ( 2) 5 通用技术要求 ( 3) 5 . 1 外观 ( 3) 5 . 2 各部分相互作用 。 。 ( 3 ) 6 计量器具控制 。 ( 3) 6 . 1 检定条件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

5、 . . . ( 3) 6 . 2 检定项目 ( 4) 6 . 3 检定方法 ( 4 ) 6 .4 检 定 结果 的 处 理. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 6 ) 附录 A 等倾干涉仪测量平面度测量结果的不确定度评定 ( 7 ) 附录 B 检定证书和检定结果通知书内页格式 ( 1 0 ) J J G 6 6 1 -2 0 0 4 平面等倾干涉仪检定规程 范围 本规程适用于平面等倾干涉仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。 2引用文献 J J F 1 0 0 1 -1 9 9 8 通用计量术语及定义 J J

6、F 1 0 5 9 -1 9 9 9 测量不确定度评定与表示 J J F 1 0 9 4 -2 0 0 2 测量仪器特性评定 使用本规程时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。 3 概述 平面等倾干涉仪是一种用于平面量值传递的标准计量器具，主要用于检定尺寸较大 的平晶、各种尺寸的长平晶和标准平尺等的平面度。 仪器工作原理如图 1 所示。 图 1 工作原理图 1 一平晶;z -球支承;3 一平晶;4 - ( 半)反射镜;5 -侧微鼓轮;6 一观察者;7 一目镜组; 8 一分划板;9 一成像物镜;1 11- ( 半)反光镜;1 1 一聚光物镜;1 2 一光阑:1 3 一钠灯 4计f性 能要求 4

7、 . 1 测微 目镜的示值误差极差及回程误差 不大于表 1 的规定。 J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 表 1 测微 目镜 示值 误差极差及 回程误差 检定类别 首次检定 后续检定 任意 l m m内的示值误差全程 8 mm内的示值误差回程误差 0. 0 0 5 mm 0. 0 1 0 .m 0 . 0 0 5 m m 4 . 2 工作台移动的 直线度 4 . 2 . 1 在水平面内直线度在任意 3 0 0 m m内应不超过 0 . 0 2 m m ;使用中和修理后的允许达 到 0 . 0 4 m m o 4 . 2 . 2 工作台移动时的扭摆及旋转时的摆动在目镜 内观察 ，干涉环中

8、心不得有目力可 见的偏 移。 4 . 3 工作台移动的示值误差及回程误差 不超过表 2 的规定。 表 2工作 台移动的示值误差及 回程误差 4 . 4 钢球支架的工作性能 每个形成平行空气层的支架在放上相应的平晶或长平晶时，在目 镜视场内 应有清晰 的千涉环图像。当移动工作台时，从一端至另一端，其干涉环直径变化应不超过 1 个干 涉级数 。 对于平晶支承架，至少应有一个直径方向满足上述要求，在另外两个直径方向允许 达到 5 个干涉级数。 对于长平晶支架，用转台回转时，其干涉直径变化应不超过 0 . 5 个干涉级数。 4 . 5 标准干涉环直径测量的标准偏差 仪器应对每种支承间隙的支承架给出标准

9、干涉环直径的值，其三倍标准偏差应不超 过O . O l m m o 4 . 6 干涉环小数干涉级测量的重复性 根据干涉直径测量的结果按式 ( 1 )求出其干涉级数。 I D, 1 z O K ; = l D) 干 N ; ( 1 ) 式中: A K ; -i 点的 干涉级数; D , i 点所测干涉环直径飞 2 J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 D o 标准干涉环直径，当干涉环级数为整数时最里环的直径; N : -i 点被测千涉环的级序，在0级环内为正，在 0 级环外为负。 干涉环测量的重复性应小于0 . 0 2 5个干涉级数。 5 通用技术要求 5 . 1 外观 5 . 1 . 1

10、 仪器工作面不应有划痕、碰伤、斑点、锈蚀。非工作面不应有毛刺、脱漆或镀 层脱落等外观缺陷。 5 . 1 . 2 仪器上应有制造厂名或厂标、出 厂编号及应】 标志。 5 . 1 . 3 后续检定的仪器允许有不影响测量准确度的外观缺陷。 5 . 2 各部分相互作用 5 . 2 . 1 测微 目 镜的鼓轮转动应平稳，无卡住和擦碰现象，其移动范围应不小于 8 m m o 5 . 2 . 2 目镜调焦时应平稳可靠 ，其视场内的干涉环数应不少于 3 个整环 ( 包括透射照 明在内) ，且应无其他杂乱干涉花样，不得有影响测量的灰尘、污物及霉点等。 5 . 2 . 3 通过目 镜应容易地看清楚分划板上的十字刻

11、线，当移动分划板时， 其十字刻线 的清晰程度不得有目力可见的变化，十字刻线不得有明显的弯曲。 5. 2. 4 5 0 0 mmo 5 . 2. 5 工作台的纵向运动和回转运动应平稳，无卡住和爬行现象。纵向行程应大于 手轮的刻度盘应能平稳地调节 ， 且无卡住和松动现象。 6计且器具控 制 包括首次检定 、后续检定和使用中检验。 6 . 1 检定条件 6 . 1 . 1 放置平面等倾干涉仪的仪器室温应为 ( 2 0 t 5 ) 9 C o 6 . 1 . 2 在检定 4 . 5 , 4 . 6 两项时，室温在 2 4 h 内的变化量应小于 1 c ;在 1 h内的变化量 应小于0 . 1 9 C

12、. 6 . 1 . 3 检定 “ 1 5 0 m m平晶及 2 1 0 m m长平晶时，在室内放置时间应不少于 2 4 h 及 1 0 h ，并 在检定前将平晶及长平晶放在仪器箱内安装调整后等温 l h o 6 . 1 . 4 检定用标准器及其他检定设备见表 3 0 表 3检定用标 准器及 其他检定设备 检定 用设备测量范 围 技术要求 百分表 ( 0一 5 ) m m 0级 MP E: 0 . 0 1 2 m m 研磨 平尺3 0 0 mm 平面度:0 M 0 4 m m 平 晶0 1 5 0 或 2 1 0 m m长平晶一级 标准玻璃刻尺( 0 一 3 0 0 ) m m或 ( 0 一5

13、0 0 ) m m示值误差:0 . 0 3 m m 万能工具显微镜( 0 一 2 0 0 ) m mM P E : ( 1 +L 1 1 田)p m .1 .1 G 6 6 1 - 2 0 0 4 6 . 2 检定项 目 平面等倾干涉仪首次检定 、后续检定和使用中的检定项 目 列于表4 0 表 4检定项 目 序号检定项 目主要检定设备 首次检定后续检定使用中检验 1 外观 十十+ 2 各部分相互作用 + + 3测微目镜的示值误差及回程误差工具显微镜 十 + 4 工作台移动的直线度 研磨 平尺 十 5 工作台移动的示值误差及回程误差标准玻璃刻尺 + 6 钢球支承架的工作性能平晶或长平晶 + +

14、7 标准干涉环直径测量的标准偏差平晶或长平晶 + 8 干涉环小数级测量的重复性平晶或长平晶 十+十 注:表中 “ +”表示应检项 目，“ 一”表示可不检项 目。 6 . 3 检定方法 6 . 3 . 1 外观 目力观察 。 6 . 3 . 2 各部分相互作用 观察和试验。 6 . 3 . 3 测微目镜的示值误差及回程误差 6 . 3 . 3 . 1 测微目镜的示值误差在万能工具显微镜上进行检定。先将测微 目镜从仪器上 取下，旋下目镜头，然后安装在万能工具显微镜的玻璃台上。调整工作台使分划板上十 字刻线的运动方向与万能工具显微镜工作台移动方向平行，然后将测微鼓轮对零，再移 动万能工具显微镜的工作

15、台， 使十字刻线的中心与显微镜的 米字刻线中心重合， 并在万 能工具显微镜相应的读数机构读出零位读数。然后将测微鼓轮依次在 1 , 2 , 3 , 3 . 5 , 3 . 7 5 , 4 , 4 . 2 5 , 4 . 5 , 5 , 6 , 7 , 8 二 等点上， 用米字刻线对准并读数。 每个读数减去零 位读数即为该点的实际值，测微鼓轮上的测得值与实际值之差即为该点的示值误差。所 有各点应在同一行程方向进行检定。全程 ( 8 m m )内或任意 I m m内的示值误差应以该 范围内的最大误差与最小误差之差确定。其大小应不超过表 1 的规定。 6 . 3 . 3 . 2 测微目镜的回程误差在

16、示值误差检定后仍在万能工具显微镜上检定，只在测 微鼓轮的两端和中间 3 个位置检定。在同一点上正、反两面个方向各转动测微鼓轮 5 次，取 5 次读数平均值之差即为该点的回程误差。最大回程误差应不超过表 1 的规定。 6 . 3 . 4 工 作台移动的 直线度 在工作台上放一尺寸 3 0 0 m m的研磨平尺，且与工作台运动方向平行，用磁性表架 上的百分表与工作面接触，对好零位 ，工作台从一端移至另一端，在百分表读出最大示 值与最小示值，最大示值与最小示值之差为直线度。在全行程范围内检定。上述检定结 J .1 G 6 6 1 - 2 0 0 4 果应不大于4 . 2 中的要求。 工作台移动的扭摆

17、和回转运动的摆动是通过目镜观察干涉环中心的位置变化来确定 的，干涉环中心的位置不允许有 目力可见的变化。 6 . 3 . 5 工作台移动的示值误差及回程误差 6 . 3 . 5 . 1 将尺寸等于 5 0 0 m m的钢直尺或 3 0 0 m m的玻璃标尺放在工作台上，取下测微 目 镜，接上接长管，调整测微 目 镜的位置，在视场内能清晰看到刻度尺上的刻线;调整刻 度尺使其刻线末端连线与工作台运动方向平行 ; 调整工作台位置和测微 目镜分划板，使 刻度尺零刻线与目镜分划板上的十字线重合，再将手轮的 l O m m指示盘及 0 . 1 m m指示盘 的零线都与指标线对准，然后每隔 5 0 m m用

18、测微 目镜对准，从手轮上读数，读数值与实 际值之差即为该点的示值误差。对于 3 0 0 m m的玻璃标尺在检完 3 0 0 m m后，可在 3 0 0 m m 位置上把刻度尺移 3 0 0 m m，并使零刻线与分划板上的十字对准，依次再检2 0 0 m m o 6 . 3 . 5 . 2 回程误差是在工作台的中间及距两边各 1 5 0 m m处的三个位置上进行检定。正 反两个方向转动手轮，对准同一刻线时手轮上的读数差即为回程误差。 6 . 3 . 6 钢球支承架的工作性能 6 . 3 . 6 . 1 按检定平晶和长平晶的要求放置平晶或长平晶及其支架，分别移动和转动工 作台，并观察干级数的变化。

19、干涉环的清晰度不得有 目力可见的变化。 6 . 3 . 7 标准干涉环直径测量的标准偏差 每一种钢球尺寸的支承架按6 . 3 . 6 条安装， 在1 0 个不同干涉级数的情况下进行 D o 的测量， 并以1 0 次测量结果平均值力 。 作为它的直径。 D 。 值的计算如下:在视场内测量离中心最近相邻两环的直径 D ， 和 D z ， 并按式 ( 2 )求 刀 。 值。 D o = 丫 D i 一 D i i ( 2 ) 式中: D o 第 i 次 测出的干涉环直径; D 第 i 次测出的内圈干 涉环直径; D 2 第 i 次测出的外圈干涉环直径。 D o=艺D o ;/ 1 0 式中: D o

20、 , 1 0 次测量 D 。 的平均值。 1 0次测量平均值 D 。 的标准偏差 ， 按 ( 4 )计算: ( 3 ) 式中:n 测量次数，此处 n二 全 ( 。 。、 1 0 万 o ) z / n ( n 一1 )( a ) 标准偏差的3 倍应不超过 0 . 0 1 m m，否则应重测。 6 . 3 . 8 干涉环小数干涉级测量的重复性 在上述安装情况下，对 3 种不同干涉级数进行测量，其干涉级应分别在 0 . 2 一 0 . 3 , 0 . 5 - 0 . 7 及 0 . 9 - 1 . 1 区间内，各重复测量 1 0 次，并按式 ( 1 )求出干涉级数。其标准 偏差 、 由式 ( 5

21、)求得。 J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 。 = 丫 客 (K i 式中:K 第 i 次干涉级的 测量值; 天 ) A n一1 )( 5 ) 天 1 0 次干涉级的 平均值; n 测量次数， 此处 n = 1 0 . 在 3 组中求出的最大 :的3 倍即为干涉环千涉级测量的重复性。 6 . 4 检定结果的处理 6 . 4 . 1 经检定符合本规程要求的平面等倾干涉仪发给检定证书;不符合要求的发给检 定结果通知书，并注明不合格项 目。 6 . 4 . 2 检定周期可根据使用的具体情况确定 ，一般不超过 2 年。 J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 附录 A 等倾千涉仪测且平面

22、度测t结果的不确定度评定 A . 1 测量方法 标准平晶和长平晶的平面度是通过 4 件规格相同的平晶在平面等倾干涉仪上以4 面 互检法测得。对标准平晶每块平晶应测量相互垂直的 2 个截面，每个截面测量 5 个点。 对每个测量点由被测平晶两两组合测量获得 6 组数据。而每组数据都是先测得规定干涉 环的直径 D ; ， 通过标准干涉环直径 D o ， 计算级 K ; = ( 从/Do)， 再乘钠光灯半波长计 算得 a , = ( a / 2 ) o a 为测量点两平晶 分界面至两平晶测量面之间的距离之和。 A. 2 数学模型 设4 块平晶各测量点分界面至测量面的距离分别为x , y ,: ，W O

23、 4 块平晶 测量组 合获得6个方程: x+y=a , x+z=a 2 x+w =a 3 y+z=a 4 y+w =a5 z+幼 二a 6 解方程得x = 2 ( a , + a 2 + a 3 ) 一 ( a 4 + a 5 + a 6 ) / 6 ( 其余y , z , w同 样) 对每块被测平晶测量面任一截面的直线度 ( 平面度) ，只要按上式计算出 5 个测量 点 x 值，通过坐标转换就得到该截面各点的直线度。 A . 3 方差和灵敏系数 由x = 2 ( a , +a 2 +a 3 ) 一 ( a 4 +a 5 +a 6 ) / 6 ，可知a , a 2 , a 3 , a 4 ,

24、a . , a 。 的不确定度 是相同的，其影响方差分别为 u 2 ( 。 ) 二 “ ， ( a , ) = u 2 ( a 2 ) =u 2 ( a 3 ) =u 2 ( a , ) = u 2 ( a s ) = “ ， ( a , ) 由 方程u : ( Y ) 乙 d f l d x i P u ( x ) 可得u ( x ) = 1 4 u ( a ) + u ( a ) + u ( a ) I + u ( a ) + u ( a ) + u 2 ( a ) f / 3 6 u ( x ) = 0 . 6 5 u ( a ) 由平面度测量计算方法分析，平面度的不确定度为各测量点不确

25、定度的2 “ 2 倍，故 计算为 U , ( X ) = 0 . 9 2 u ( a ) ， c ( x ) 二 ( 5 / 6 ) 1/ 2 u : = 5 / 6 u 2 ( a ) A . 4 计算分量标准不确定度 A . 4 . 1 测量点位置引人的不确定度 u , A . 4 . 1 . 1 纵向手轮示值误差 士 0 . 1 5 m m ，估计其相对不确定度为 2 5 %，即 ， ! : = ( 1 / 2 ) x A u ; ( x ; ) / u , ( x) 一 2 = ( 1 / 2 ) x 2 5 / 1 0 0 一 2 = 8 A . 4 . 1 . 2 上、下平晶对准测

26、量点不确定度为 0 . 1 m m ，估计其相对不确定度为5 0 %，即 1/ , .2 = ( 1 / 2 ) x A u , ( x , ) / u ; ( x , ) 一 2 = ( 1 / 2 ) x ( 5 0 / 1 0 0 ) 一 = 2 A . 4 . 1 . 3 纵向手轮回程误差 t 0 . 1 5 m m，估计其相对不确定度为2 5 %，即 v , 。 二 ( 1 / 2 ) x A u ; ( x ; ) / u ; ( x ; ) 一 2 = ( 1 / 2 ) x ( 2 5 / 1 0 0 ) 一 x = 8 A . 4 . 1 . 4 以上三合成 : .I J G

27、 6 6 1 - 2 0 0 4 。 =( 0 . 1 5 2 + 0 . 1 2 + 0 . 1 5 ) 1/ 2 = 0 . 0 5 5 ( m m 2 ) ，即。 1 .0 0 = 0 . 2 3 5 m m ， ， = 0 . 0 5 5 2 / ( 0 . 1 5 0 / 8 + 0 . 1 / 2 + 0 . 1 5 “ / 8 ) 二 1 7 。 ! 。 可 视为 半 宽 度 为0 .2 3 5 m m 的 区 间以 等 概率 分 布， u , , = 0 . 2 3 5 / 3 2 = 0 . 1 3 6 m m 测量时空气层纵向平行度调至一个干涉级之内，考虑到平晶平面度影响最

28、大斜率可 按每5 0 m m 变化一个干涉级， 则。 ， = ( 1 / 5 0 ) x ( l / 2 ) x u , . o u , = ( 1 / 5 0 ) x ( 0 . 5 8 9 3 / 2 ) x 0 . 1 3 6 = 0 . 0 0 0 8 0 K m A . 4 . 2 工作台横向定位引人的不确定度 u 2 工作台横向直线度为 0 . 0 4 m m，估计其相对不确定度为 2 5 %。分量在半宽为 0 . 0 4 m m 的区间内以等概率分布，即 1/ z = ( 1 / 2 ) x A u , ( x , ) / u ( 二 。 ) 一 2 = ( 1 / 2 ) x

29、( 2 5 / 1 0 0 ) 一 2 = 8 空气层在横向平行度为每 2 0 m m变化一个干涉级，即 u 2 = ( 0 .0 4 / 2 0 ) / ( 0 . 5 8 9 3 / 2 ) x 1 / 3 “ 2 = 0 .0 0 0 3 4 1i m A . 4 . 3 标准干涉环直径 D 。 引人的不确定度 u 3 实验测量次数 n = 1 0 ， : 二 9 时， 标准干涉环直径的不确定度d D 。 大约为0 . 0 1 m m , 则 K= ( 刀 / 刀 。 ) ; = 2 D 2 x d D o / D o = 2 x x d D o / D o 当D 。 二 4 m m ,

30、 d D = O . O l m m , K= 1 , * = 0 . 0 0 5 个干涉级别。 u 3 =(o,/3) x ( 0 . 5 8 9 3 / 2 ) = 0 . 0 0 0 4 9 1i m A . 4 . 4 干涉环数级测量引人的不确定度 u 4 实验测量得 ，干涉环小数级测量的重复性不大于0 . 0 2 5 个干涉级别，一般测量次数 n 二 1 0 ， 即 ， = 9 。 则 A . 4. 5 n 4 =( 0 . 0 2 5 / 3 ) x ( 0 . 5 8 9 3 / 2 ) = 0 . 0 0 2 5 K m 测量目 镜示值误差、回 程误差引 人的不确定度 “ ，

31、测微 目镜 示 值误 差 全 程 为 0 . 0 1 5 m m ，回程 误 差 为 O . 0 1 0 m m ，两 项 合并 后 为 0 . 0 1 8 m m，估计其相对不确定度为 2 5 %. 则:， 、 = ( 1 / 2 ) x 仁 。 ( 二) / 。 ( 二 ) 一 = ( 1 / 2 ) x ( 2 5 / 1 0 0 ) 一 2 二 8 测微 目 镜示值误差以灵敏系数 。 =1 直接传递为干涉环直径误差，该分量在半宽为 0 . 0 1 8 m m的区间内以等概率分布，则 K= ( D / D o ) 2 d K二 2 D 2 x d D / D 孟 二 2 K / 2 x

32、d D / D o 当 D o = 4 m m , d D o = O . O l m m ,=1 , 6 K = 0 . 0 0 5 个干涉级别。 u s = ( 0 . 5 8 9 3 / 2 ) x ( d K / 3 “ 2 ) = 0 . 0 0 1 5 2 1 L m A . 4 . 6 自 重变形支承位置引 入的不确定度 u 6 对圆平晶，因支承位置成等边三角形均匀分布在 0 . 7 D上，自重变形可忽略不计， 即 /6 6 = O a 8 J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 对长平晶，L = 2 0 0 m m平晶支承位置变化的不确定度为 L = 0 . 5 m m 。

33、自重变形 F= 0 . 1 1 e m ，即6 = 4 A F x A L / L = 4 x O . l x ( 0 . 5 / 2 0 0 ) = 0 . 0 0 1 , . , 0在半宽为0 . 0 0 1 , m的区 间以等概率分布，则 u 6 = / 3 1 / 2 二 0 . 0 0 1 / 3 “ 2 = 0 . 0 0 0 5 8 1 i m 估计其相对不确定度为2 5 %，即， 。 = ( I / 2 ) / ( 2 5 / 1 0 0 ) 一 = 8 , A . 4 . 7 环 境温度引人的 不确定度 a , 在恒温箱内，一般圆平晶中心与外表的温度差为 0 . 0 5 C，

34、它引起的变形误差一般 不超过0 . 0 0 5 f L m ; 对长平晶， 因其导热性比圆平晶好， 误差可忽略。 d T = 0 . 0 5 T， 估计其相对不确定度为4 0 %，即， 7 二 ( 1 / 2 ) x ( 4 0 / 1 0 0 ) Z = 3 按 均 匀分 布 计 算， u , = d T 1 3 1 = 0 . 0 0 5 / 3 /2 = 0 . 0 0 2 9 1cm , A . 5 合成标准不确定度 u 愁 = 。 + 。 ; + 。 ; + 。 聋 + u 2u 5 + u 二 + u 2u , = 0 . 0 0 0 8 2 + 0 . 0 0 0 3 4 2 +

35、 0 . 0 0 0 4 9 2 + 0 . 0 0 2 5 2 + 0 . 0 0 1 5 2 2 + 0 . 0 0 0 5 8 2 + 0 . 0 0 2 9 2 u ( a ) = 0 . 0 0 4 3 1 L m u , = ( 5 / 6 ) 1/ 2 。 ( 。 ) = ( 5 / 6 ) / 2 x 0 .0 0 4 3 . = 0 .0 0 3 9 3 1 cm A . 6 有效 自由度 ， 。 。 = 0 . 0 0 4 3 4 / ( 0 . 0 0 0 8 4 / 1 7 + 0 . 0 0 0 4 9 4 / 9 + 0 . 0 0 0 3 旷 / 8 + 0 .

36、0 0 2 5 4 / 9 + 0 . 0 0 1 5 2 “ / 8 + 0 . 0 0 0 5 8 4 / 8 + 0 . 0 0 2 9 0 / 3 ) 、 1 2 查， 。 ， ( 1 2 ) = 2 . 1 8 A . 7 扩展不确定度 U=1 , . , ( 1 2 ) x u= 2 . 1 8 x 0 . 0 0 3 9 3 = 0 . 0 0 0 9 ( 1 1 m ) A . 8 测量结果不确定度报告与表示 平面等倾干涉仪在 ( 2 0 士 0 . 0 5 ) 条件下测量平面度结果的扩展不确定度为 U 9 5 = 0 . 0 0 0 9 1 m k = 2 扩展不确定度 U

37、o ; 与最大允许误差之比不大于 1 / 3 ，检定方法可行。 J J G 6 6 1 -2 0 0 4 附录 B 检定证书和检定结果通知书内页格式 B . 1 检定证书内页格式 检 定 结 果 温度 :相对湿度:% 序号主要检定项 目检定结果 1 测微 目 镜的示值误差及回程误差 2 工作台移动的直线度 3 工作台移动的示值误差及回程误差 4 钢球支架的工作性能 5 标准干涉环直径的标准偏差 6 干涉环小数级侧量的重复性 检定依据:J J G 6 6 1 -2 0 0 4 平面等倾干涉仪 B . 2 检定结果通知书内页格式 具体要求同B . 1 ，并指出不合格项 目。 检定结果:应给出量化的值 ( 不要简单给 “ 不合格”三字) 。