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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 P G 3 0 0 0 型图形发生器完好要求和检查 评定方法 S ,1 / T 3 1 0 8 1 一9 4 主恤 内容与适用范圈 本标准规定了P G 3 0 0 0 型图形发生器的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于 P G 3 0 0 0 型图形发生器。 2完好要求 2 . 1 主要技术指标 2 . 1 . 1 主要技术指标完好要求见下表 检 测 项 目 允差 mm 检测器具和方法 出 厂 标 准 完好标准 工作台重复精度 l oo m .士 0 . 0 0 1 5
2、士0 . 0 0 1 7 利用美国C C A公司提供的 测试数据做版检查， 用测试 带 T e s T ( S D) 进行图形测 一 试， 制成掩棋版上图形， 然 _ 后在高倍显微镜下， 观察工 作台重复精度， 工作台定位 一 精度， X, Y工作台垂直度指 标 。 工作台定位精度 1 0 0m m X 向士 0 . 0 0 0 5士0 . 0 0 0 6 Y 向士 0 . 0 0 0 2 5 士0 . 0 0 0 3 X, Y工作台运动垂直度 镇 2 镇 2 2 . 1 . 2 光栏精度0 . 0 0 4 - 0 . 2 5 m m为(士 0 . 7 5 k m a 2 . 1 . 3 光栏
3、转角精度为全程6 , 2 . 2 操作系统 2 - 2 - 1 各操作变速手柄， 开关按钮启动灵活， 定位可靠， 标志齐全。 2 . 2 - 2 制动、 限位装置齐全， 灵敏可靠。 2 . 3 传动系统 2 . 3 . 1 伺服工作台机械传动平稳可靠。 2 . 3 - 2 机械 精度间 隙、 磨损量、 平整度、 平稳度符合要求。 丝杆、 导轨润滑良 好。 2 . 4 光学系统 2 . 4 . 1 各光学零部件的位置精度正确可靠。光栅及光学镜头无尘、 无油污、 无霉斑， 确保视场 清晰 。 4 - 2 光学系统零、 部件齐全、 完好。 4 . 3 光学调焦装置灵活可靠。 n了一门乙 中华人民共和
4、国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准 1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 3 69 S J / T 3 1 0 8 1 -9 4 2 . 5 电气系统 2 . 5 . 1 电气控制箱内布线整齐， 各指示灯齐全完整， 指示正确可靠。各种线路标志明显， 联接 可靠。 2 . 5 . 2 伺服工作台控制部分、 符合使用要求。 2 . 5 . 3 步距控制及曝光系统正确可靠。 2 . 5 . 4 电气线路板接触可靠。其它各种接触器， 继电器灵敏可靠。 2 . 5 - 5 各光电传威器工作正常， 无误动作。 2 - 5 . 6 各电流表， 电压表指示正确， 误差在允许范围内
5、， 且有有效期内校验合格证。 2 - 6 气路系统 2 . 6 . 1 各气缸、 电磁阀、 节流阀安装位置正确， 工作可靠。 2 . 6 . 2 气路及真空管道、 接头、 阀门元件之间联结应牢固、 密封， 无漏气现象。 2 . 7 环境条件系统 工作间超净度为 1 0 。 级， 控退精度为 2 3 士1 0C 2 - 8 安全防护 自动保护报警装置齐全可靠， 安全接地。 2 . 9 维护保养 按S J / T 3 1 0 0 2 -9 4 ( 设各维护保养通则分 执行 检查评定方法 3 . 1 3 . 1 . 1 3 . 1 . 2 3 . 2 3 . 2 . 1 3 . 2 . 2 设备 。
6、 3 . 2 . 3 检查方法 主要技术指标自检测方法见表例。对2 . 1 . 2 , 2 . 1 . 3 项用 : C A提供测试带来检测。 其余项吕。 采月现场主观方法进行检查。 评定方法 主要项目有 2 . 1 . 1 -2 . 1 . 3 项， 其余均为次要项目。 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 完好设备的维护保养， 应达到优等设备标准。 附加说明: 本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本标准由中国华晶电子集团公司组织起草。 本标准主要起草人: 沈永周、 顾军建、 昊正伟。 37 0 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果
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