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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 R D -4 5 0 0 型离心干燥机完好要求和 检查评定方法 S J / T 3 1 0 6 2 -9 4 主要内容与适用范围 本标准规定了R D -4 5 0 0型离心干燥机的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于R D -4 5 0 。 离心 干燥机。 其它半导体器件、 集 成电路生产用的类似结构离心 干燥机亦可参照执行。 完好要求 1 主要技术指标 1 . 1 转速: 千燥最大 1 8 5 0 r / min , 漂洗最大 4 5 0 r / mi n 1 . 2
2、 压力: 1 0 . 4 4 7 X1 0 3 _1 . 3 9 3 4 5 X 1 0 “ P a ; 1 . 3 纯水压力: 6 . 9 7 5 X 1 0 -1 . 3 9 3 4 5 X 1 0 4 P a . 2 机械 系统 ，22门乙六2门L 承片支架稳固、 牢靠、 筒体稳定性好。 2 . 3 电气系统 2 . 3 . 1 电气系统装置齐全， 管线完整、 性能良好， 运行可靠。 2 . 3 . 2 电气箱内清洁， 布线整齐、 线路无破损老化， 各种线路标志明显， 联接可靠。 2 . 3 . 3 外部导线有完整的保护装置。线路外套管无脱落破损。 2 . 3 . 4 各种开关动作灵敏，
3、 安全可靠。 2 . 3 . 5 电动机运行平稳， 轴承无显著噪音， 温升在额定范围以下。电动机运行时， 三相电流不 平衡不应超过 1 0 %。直流电机换向器不得出现灼伤， 电刷不得被烧焦损坏。电动机的风罩， 风 叶齐全。 2 . 冲 水气系统 2 . 4 . 1 气阀、 水阀反应灵敏， 冲气、 冲水系统良好 2 . 5 安全防护 2 . 5 . 1 外壳保护接地良好。 2 . 5 . 2 门安全开关完好。 2 . 6 维护保养 按S J / T 3 1 0 0 2 -9 4 设备维护保养通则 执行 中华 人民共 和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5批准1 9 9 4 - 0
4、 6 - 0 1 实施 一3 21 一 s d / T 3 1 0 6 2 -9 4 检查和评定方法 3 . 1 检查方法 3 . 1 . 1 用。 . 4 级标准表以对有关压力项目 的检测。 32 评定方法 3 . 2 . 1 主 要项目 有2 . 1 . 1 , 2 . 1 . 2 , 2 . 1 . 3 ， 其余为 次要项目。 3 . 2 . 2 主 要项目 有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目 有二项不符合要 求， 亦为 不完 好 设 备 。 3 . 2 . 3 完好设备的维护保养， 应达到优等设备标准。 附加说明: 本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本 标 准 由
5、 中 国 华 晶 电 子 集 团 公 司 组 织 起 草 。 本标准主要起草人: 邵建新、 吴秀琴。 3 2 2 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/