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1、1,数字干涉测量方法 及面形的三维干涉测量及评价,一、实验目的 了解激光干涉的近代方法数字干涉技术的原理和方法； 掌握干涉的实时检测技术； 了解数字干涉方法的特点及应用场合； 了解表面三维形貌的高精度实时测量原理； 实测一个平面光学零件的表面形貌并对评价指标PV，RMS的定义有所掌握。,http:/ 随着电子技术与计算机技术的发展，并与传统的干涉检测方法结合，产生了一种新的位相检测技术数字干涉技术，这是一种位相的实时检测技术。这种方法不仅能实现干涉条纹的实时提取，而且可以利用波面数据的存储功能消除干涉仪系统误差，消除或降低大气扰动及随机噪声，使干涉技术实现/100的精度，这是目前干涉仪精度最高
2、的近代方法。,http:/ 2RMS值：是表面形貌的均方根值，RMS的定义是：,xi单次测值,N重复测定次数,http:/ 同实验精密位移量的激光干涉测量方法及实验(加PZT),四、实验记录,被测工件：平面镜,http:/ 1. 采用下列方法可以提高测量精度吗? a. 增加一个周期内的台阶数(n)； b. 增加扫描的周期数(p) 2. 测量精度一般由测量正确性和测量重复性组成，试分析增加n或p的作用以及利弊关系 3. 试分析决定数字干涉仪测量准确性的因素和提高测量准确性的主要方法 4. 你知道测量表面三维形貌有什么意义和作用吗？试比较本方法与你了解的其它方法（例如轮廓探针法，三坐标测量机法，共焦法等）的优缺点。 5. 为什么说本方法可以消除干涉仪自身的系统误差，而普通干涉仪则不可能，只能靠加工水平来保证。 6. 光圈数N，局部光圈数N，EM的物理意义以及与PV，RMS的大致关系。,http:/