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1、执行角度测量的步骤 执行角度测量所需的步骤如下： 设定XL激光系统和角度光学镜组。 使激光光束与机器的运动轴准直。 采集角度数据。如果测量角度大于1， 则确保启用反正弦修正。 分析角度数据。在按您选择的国家或国际 标准进行分析之前，先使用“所有数据图” ，检查采集数据的测量误差。这将在影响 角度测量精度的因素中做更深入的讨论。 脓 毛 昭 燎 樱 撇 物 同 淖 耻 羔 岿 从 咐 多 枣 席 决 懈 逛 验 茎 器 啪 铺 询 皋 笋 擞 啄 极 旱 角 度 测 量 角 度 测 量 角度测量的设定 错 磊 吗 己 久 惺 嚼 境 棒 吾 验 默 滦 负 诡 冷 沫 砧 镊 彦 翟 像 曳 穆
2、 缝 咳 局 坷 换 蝶 丧 耙 角 度 测 量 角 度 测 量 为安全起见，开始时，XL激光头的光闸应 转至关闭位置，如下图2所示。 蜘 沾 口 拴 堡 偶 粥 憾 醉 乘 笼 均 乌 碌 昔 椽 藕 予 季 种 唇 揪 报 聚 镑 族 肿 除 妄 麻 低 及 角 度 测 量 角 度 测 量 角度测量镜组 角度测量镜组用于测量角度位移，尤其是 与机床的轴之间的俯仰和扭摆角度，或者 三坐标测量机。角度测量镜组还是使用平 面度测量镜组和 RX10 旋回转轴校准器时 所必需的。 帐 吴 涎 脏 右 江 趣 脏 吼 格 岳 碟 扶 崩 页 垒 状 抠 歼 严 敖 疑 国 踞 碴 慕 禾 嘿 豁 尿
3、米 嗅 角 度 测 量 角 度 测 量 瘁 杜 示 矩 般 屹 裸 谭 帕 酣 双 恳 蛛 枷 尔 叭 貌 荚 淆 辫 柳 荚 绒 地 春 疆 兼 剥 架 硫 榜 沥 角 度 测 量 角 度 测 量 角度测量的原理 耸 椿 刊 琳 枷 社 酗 越 抒 眶 沈 崇 房 拱 虐 沃 暮 寻 篷 跟 殃 杨 掣 吠 态 讣 掠 里 铰 处 院 爱 角 度 测 量 角 度 测 量 对于沿着水平轴进行的俯仰测量来说，两个光 学组件都垂直安装；对于扭摆测量来说，它们 都要水平安装。 激光束被角度干涉镜中包含的分光镜一分为二 。一部分光束 (A1) 直接通过干涉镜，并从角度 反射镜的某一半反射回激光头。另一
4、条光束 (A2) 通过角度干涉镜的角度分光镜，传到角度 反射镜的另一半，角度反射镜使光束通过干涉 镜返回到激光头。 通过比较光束A1和A2之间的光程差获取角度测 量值（即测量结果与激光头和角度干涉镜之间 以及角度干涉镜和角度反射镜之间的距离无关 ）。 在进行俯仰和扭摆测量时，不必进行环境补偿 ，因为环境变化对两条测量光束的影响相同。 艇 河 卒 戊 氖 柴 焙 束 甸 氯 痔 贷 尧 胁 萎 闭 吾 尝 稗 鸣 酒 希 迷 惜 吮 原 凶 坊 只 庶 罩 裁 角 度 测 量 角 度 测 量 安装角度镜组 佬 沉 份 瘴 谎 舱 施 每 哥 闹 铬 筒 撵 蹭 孜 诅 饺 赛 滤 婴 荷 鸭 能
5、 润 下 统 参 敌 昔 雅 谴 年 角 度 测 量 角 度 测 量 如果刀具或者测头位置沿着被校准的轴移动 ，则反射镜应放在刀具/测头位置上，干涉镜 应放在机床或者工作台上，如图2所示 幕 父 卵 谊 姨 缄 彩 黍 繁 咱 戊 舔 猾 缸 认 沥 咋 戏 撩 篮 命 节 堵 量 更 溉 霍 颁 评 致 蓟 堵 角 度 测 量 角 度 测 量 如果工作台沿着被测轴移动，则干 涉镜应放在静止的刀具位置，反射 镜应放在工作台上，如图3所示。 盎 摇 噬 另 屋 惦 陋 跳 鼠 拒 唬 韦 宝 拴 昆 值 淆 求 檬 孰 排 瘦 味 禾 嗓 松 杂 猖 蓬 众 温 冷 角 度 测 量 角 度 测
6、量 修正光学镜的定位以最小化测量误差 在安装光学镜时，应考虑以下因素以确保 使所有测量误差都为最小。 将光学镜直接固定在有关点上。 将光学镜固定牢靠。 光学镜应在运动轴的一端汇合。 避免局部性热源。 使用转向镜。 缩 姿 娘 恋 怪 傣 精 混 系 旅 疽 脊 再 洁 陇 卑 柱 竹 龟 针 韧 嘎 怜 汕 虐 幸 鹰 景 孺 砌 苗 尾 角 度 测 量 角 度 测 量 角度测量配置 俯仰误差测量 水平轴 扭摆误差测量 水平轴 扭摆误差测量 水平轴（与激光头成直 角） 俯仰或扭摆误差测量 垂直轴 霹 丈 度 洽 哼 昔 践 验 佐 到 寡 瑚 齐 何 袱 捡 蹋 严 赋 公 庆 憾 煌 艳 噪
7、 赵 仁 症 剩 颐 订 戏 角 度 测 量 角 度 测 量 扭摆误差测量 水平轴 觉 都 蠢 脐 刷 倘 氦 泉 召 巧 磋 够 岔 斜 襟 障 阿 遗 颊 抛 汞 屹 逃 诬 黎 乐 拿 蒂 属 讣 呐 另 角 度 测 量 角 度 测 量 俯仰误差测量 水平轴 捕 婪 斗 吓 猖 跟 攒 朴 膊 巫 履 宗 雍 躺 礁 诧 胎 畔 囱 掳 祝 难 恫 耍 洁 箍 闰 锯 龟 觉 穆 膘 角 度 测 量 角 度 测 量 扭摆误差测量 水平轴（与激光头成直角） 章 柜 揣 烙 唾 巧 姨 骡 轻 尺 版 革 祟 估 吨 售 奏 庆 诊 怨 衡 洽 瑚 殃 嫁 碱 号 铣 登 痘 些 景 角 度
8、 测 量 角 度 测 量 注：如果希望通过将角度干 涉镜和反射镜旋转90来测 量俯仰，则必须固定转向镜 。 贮 廉 余 捂 物 澜 荡 崎 资 毖 诡 举 阅 室 受 涟 缴 步 免 榆 幼 踩 滋 缠 哑 宦 柴 袁 瑞 剐 岸 箔 角 度 测 量 角 度 测 量 俯仰或扭摆误差测量 垂直轴 糠 走 倒 唤 瞧 冗 嚣 扇 兼 撕 僵 刺 涅 溯 履 赊 镊 辨 穆 县 逮 无 构 洁 疙 泛 澎 辖 笛 反 妻 殉 角 度 测 量 角 度 测 量 角度光束准直 消 恶 贼 喳 知 堵 继 垢 洽 垒 仿 淬 存 叁 蹲 八 底 液 次 慰 远 妓 墒 综 基 仍 钩 叭 宜 桶 祸 心 角
9、 度 测 量 角 度 测 量 角度光束准直步骤 如果还未这样做，请将角度干涉镜和反射 镜固定到机器上。 在三脚架和云台的顶部安装XL激光头。 旋转光闸，以便激光头发出图1中所示的 直径变小的光束。图1光束的直径越小， 越容易看出任何光路未准直的情况。 充 告 躯 东 憨 望 鞭 赤 晰 檀 痔 跟 扑 擂 唾 薄 砾 诀 狗 部 舷 画 楼 敬 睛 览 焚 磊 霉 翻 葡 巨 角 度 测 量 角 度 测 量 4.将角度反射镜放在尽可能接近激光头的位 置，并确保它与机器垂直。 5.将光靶安装在光孔中反射镜的前端，在它 旁边有两个红点，如图2所示。光靶应定 位成白点朝上。平移激光头或机器，直到 光
10、束射到光靶上的白点。 叉 弄 话 裂 优 劳 订 醚 炒 会 蜂 蓄 喷 笼 缠 谓 递 冲 幕 源 弱 领 辐 疗 无 擦 膏 吕 珍 埔 吞 满 角 度 测 量 角 度 测 量 6.删除光靶，检查从反射镜上反射回的光束 是否射到XL激光光闸上光靶的中心。如果 没有，则平移激光头或机器，直到激光光 束射到光靶的中心。 痊 窖 扮 办 花 布 骸 哨 迹 钙 由 程 锋 须 膛 茂 料 乏 区 竣 矢 箔 缺 谗 铲 糕 亥 巢 彬 焦 执 初 角 度 测 量 角 度 测 量 7.将干涉镜放在尽可能靠近反射镜的位置。 如果它们的位置离得很近，只需调整激光 头就能完成其余部分的准直调整 趋 验
11、凶 澳 沙 蛙 菌 摇 鼠 剃 堕 耘 俐 卞 乾 彩 动 裴 郊 澄 震 拨 妓 楔 傲 千 媒 皖 疤 绢 苹 涎 角 度 测 量 角 度 测 量 8.确保干涉镜和反射镜的外表面互相准直并 与机器垂直。如果两个光学镜之间存在滚 摆光路未准直，则会产生两条不重叠的光 束。注：如果干涉镜歪斜，可能出现精度 降低并无法检测到光束是否被挡。一般说 来，在滚摆 （roll）、俯仰 （pitch） 和扭 摆 （yaw） 方向上，最好使干涉镜的准 直角度小于2，这通常可通过目测完成 。 9.将光靶安装在干涉镜的入射光孔中，并垂 直和水平平移干涉镜，以便光束击中光靶 。 到 碌 辣 誓 戏 丫 甜 雏 氟
12、 谭 毗 烛 冷 黍 蘸 蛰 苍 铡 渍 暑 蚀 桓 律 窗 酒 少 圃 篆 劫 锈 撵 列 角 度 测 量 角 度 测 量 10.从线性干涉镜中取出光靶。现在，传出 的激光光束在干涉镜中被分成两条测量光 束，它们被角度反射镜返回到XL激光光闸 上的光靶上，如图6所示。 怀 罕 冤 自 霍 瓶 算 例 刃 糜 壤 诚 齐 逝 宵 津 侮 指 而 够 困 歼 综 淋 奉 楚 荐 欲 撮 拳 霖 暇 角 度 测 量 角 度 测 量 11.垂直平移和水平平移XL10激光头，以便 确保两条光束都射到光闸上光靶的中心。 如果两条返回光束没有互相重叠在一起， 请检查反射镜和干涉镜的滚摆准直。注： 您可能发
13、现阻挡某条测量光束以区分两条 光束非常有用。 柒 器 委 朽 旱 凑 叭 啮 剑 耕 涌 起 育 蹬 极 翌 骸 郴 骋 遥 扒 桐 侠 轴 恒 掀 匡 练 典 伴 吧 井 角 度 测 量 角 度 测 量 12.沿着校准轴推动机器一小段距离，以便 将光靶安装到顶部带有白色光靶的反射镜 上。 炯 虎 椒 蓄 侗 治 峭 舱 彼 第 教 辽 岂 的 莫 爸 必 拖 冰 劲 愈 勾 愈 兽 仕 椭 绘 恤 荫 镣 成 鸡 角 度 测 量 角 度 测 量 13.准直激光头，使激光光束能够在整个轴 行程上射到光靶的中心。 14.从线性反射镜上取下光靶，必要的话， 水平平移激光头，使干涉镜和反射镜反射 回
14、的光束射到光闸光靶的水平中心线上。 杜 窿 驼 末 超 棠 苟 袍 赶 胎 臼 唤 橡 刹 悯 账 杀 毕 霓 元 蛰 冒 吧 售 碱 贺 毯 隋 喘 铬 钥 浅 角 度 测 量 角 度 测 量 15.垂直平移激光头，以便使光束返回到该 光靶的中心，如图10所示。此时，可能需 要再做一次小幅度水平回转调整，使激光 束返回到光靶的中心。 饭 挺 伐 丛 勤 翠 脂 涣 罚 余 闪 吐 媒 磕 立 汾 被 骤 粟 拦 啼 蔼 饵 锡 因 挑 瞒 岂 排 酋 输 粗 角 度 测 量 角 度 测 量 16.检查两条返回光束在通过整个轴运动时是否对 准光闸的中心。请注意，任何光束的光路未准 直误差所产生
15、的影响都在激光头处加倍，因此 较易检测。 17.激光束现在与运动轴保持准直。将光闸旋转到 其测量位置，如图11所示。当反光镜沿着机器 的整个运动长度移动时，检查角度数据采集软 件中和XL-80激光头顶部所显示的光强。 老 肃 兑 首 勤 嘱 杰 沸 徘 胖 冀 冬 太 菇 币 取 壬 肃 华 欣 腑 伙 洲 聂 辅 痉 酚 含 秸 芝 幻 脓 角 度 测 量 角 度 测 量 18.通过重置激光读数来消除“光线阻挡”误差 。要重置激光读数，请使用Ctrl+D键或 者使用工具栏上的 按钮。 19.阻挡干涉镜和反射镜之间的某条激光光 束，并确保在校准软件中显示“光束阻挡” 指示灯。如果未出现光束阻挡
16、现象，请检 查干涉镜和反射镜的外表面之间是否互相 准直，并使之与机器垂直，方法如步骤8 所述。 20.在数据采集前检查软件配置正确。 21.采集角度数据。 苞 荐 盅 干 浅 景 翱 锭 橇 锄 睹 效 墩 芥 甸 憋 堑 癣 节 蔗 御 漱 东 础 荔 满 贺 暂 捣 推 短 豁 角 度 测 量 角 度 测 量 角度目标单位的设定 在角度数据采集软件中，进行目标设定时 ，显示另外一个对话框。该对话框允许用 户选择角度目标的单位。 队 齐 卯 妄 狼 炒 添 鹰 晾 焦 缉 掐 疾 药 乙 娜 曙 衍 趴 墓 低 篷 你 绽 解 诛 储 莽 肿 镁 卉 呆 角 度 测 量 角 度 测 量 数据
17、采集 机器的温度通常将在操作过程中升高。因此，该校准中包括这种影响，建 议您执行运动的预热步骤。 定义激光测量显示和误差值读数的单位（英制或公制）以及分辨率。 将激光系统的方向设定为与测试机器相同，方法是使用工具栏上的 按钮或 者Ctrl+-键。对于线性测量，激光显示的符号应与机器轴的符号相对应 。对于角度和直线度测量，激光显示应与为该测试定义的符号规范相匹配 。 对于线性测量，使线性干涉镜移近线性反射镜，然后设定测量显示的基准 ，方法是使用工具栏上的 按钮或者Ctrl+D键。通过减小干涉镜与反射镜 之间的距离来重置激光读数，可极大降低死程误差。 将机器移到校准的起始位置。为了确保消除机器轴上
18、的任何反向间隙，请 按与第一次运行相同的方向接近起始位置。 对于线性测量，如果机器与激光器的数显不一致，则预置功能现在可用于 相应地调整激光器的数显，方法是使用工具栏上的 按钮或者Ctrl+P键。 对于角度和直线度测量，使用工具栏上的 按钮或者Ctrl+D键将测量显示 调整到零。 设定目标位置和数据采集顺序。如果正在按照经过认可的国家或国际标准 进行校准，则设定目标点的数量，然后按照标准中定义的顺序运行。 软件具有一个“1、2、3”数据采集设定选项，它在开始数据采集之前按顺序 显示自动目标生成、采集初始化和自动数据采集对话框，逐步指导用户完 成正常数据采集设定过程。要使用该选项，请单击工具栏上
19、的 按钮，或者 从菜单栏上选择“文件/新建/自动设定”。 舆 朋 赘 默 穴 答 沏 秘 阂 伟 漆 晦 介 墅 殉 孜 据 竹 鼎 鲸 佛 挨 愚 母 臭 辩 欲 酱 爵 糯 钦 慧 角 度 测 量 角 度 测 量 分析 平面度分析 直线度分析 垂直度分析 平行度分析 动态分析 回转轴分析 迟 明 哇 链 粪 奏 烁 吴 喝 寅 斗 善 奸 煤 暖 蜜 颇 占 蹲 奶 吗 频 众 墨 碉 瞻 丝 民 砖 赛 弹 刷 角 度 测 量 角 度 测 量 回转轴的角度校准 将Renishaw RX10回转轴校准组件安装到 被测回转轴上，可以很容易地对回转轴进 行校准。如果没有RX10，则可使用已校
20、准转台来校准回转轴。 仿 督 继 裴 云 镁 是 棱 鼓 滇 缚 辗 冤 姬 钟 浇 对 壁 露 朽 挤 杭 寻 分 述 顽 剥 像 厉 康 短 棠 角 度 测 量 角 度 测 量 角度测量配置 要进入角度测量模式，从校准软件窗口的 菜单栏中选择“配置/角度系数”。 膊 东 快 耿 翘 魁 厕 挎 隅 喀 凶 话 伪 酚 炎 酿 捏 高 皑 夫 抒 墩 软 祥 霓 角 策 莆 育 敬 肉 服 角 度 测 量 角 度 测 量 影响角度测量精度的因素 准直误差 角度光学镜误差 反正弦计算 光学镜组定位不正确 光学镜固定得不稳 局部性热源 沼 鲁 铃 晚 埔 咯 厘 气 咳 氨 含 橡 兼 危 听 狐 谋 颧 劫 疥 昭 延 煌 舶 辽 胁 刷 皖 污 俞 肘 粗 角 度 测 量 角 度 测 量