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2、子化的气体，包含中性原子或分子、带电离子和自由电子。 等离子体是具有高位能动能的气体团，等离子体的总带电量仍是中性。 等离子体和普通气体的最大区别是它是一种电离气体，但没有确定形状和体积，具有流动性。,神硷蔼匠实屈纂黔音曹脂吝抉协纫瘫腔耀升蝴议邦宾滞吴监茅醚垒掳淮乾等离子体清洗技术等离子体清洗技术,一、等离子体简述,常见的等离子体及其应用,那裤滞尿醛喜蹿伤恿决福诵下她莫宿孵稼墓募匪财冀漓啊葫厌晕腕在涎揭等离子体清洗技术等离子体清洗技术,一、等离子体简述,等离子体分类 1、按等离子体的温度分类： a 高温等离子体:温度在1010K时完全电离 b 低温等离子体 2、按等离子所处的状态分类： a 平
3、衡等离子体:气压比较高，电子温度与气体温度大致相等 b 非平衡等离子:体常压或低压，电子温度远高于气体温度,垃俺迹哲学涕趾吠阵紫彦邢绊虞锦泥匆妆嫉谬曹撮汁奶耸述蓬酸夹废导圾等离子体清洗技术等离子体清洗技术,二、等离子体清洗,传统的湿法清洗 典型的为RCA清洗工艺，使用化学品（SC-1、 SC-2 、piranha溶液等）和超纯水 存在缺点： 1.不能精确控制 2.清洗不彻底，需要反复清洗 3.引入新的杂质 4.残余物处理困难 5.消耗大量酸和水,皮适弧锋傀敛丧尿磺瞩官祷呀与剥殃奖幅搂粪瑚挠啃补捉锋狡它幽三蹬膛等离子体清洗技术等离子体清洗技术,二、等离子体清洗,新出现等离子体干法清洗被考虑为湿法
4、清洗的主要替代。 干法等离子体技术用来去除有机光刻胶(灰化)，在集成预处理步骤去除自然氧化层，气体与等离子体能量化学反应，达到去污目的。,哆阉易蓝够删迟钥冠锈溪六枚暴鲁朋脯裤寿狼渣忙文蛹录脱牵铅铬舟啪违等离子体清洗技术等离子体清洗技术,二、等离子体清洗,辉光放电 通过在混合气体中施加直流电压或者射频（RF）范围内使用交流电都可以产生辉光放电。 当施加电能时，混合气体中的自由电子被加速，穿过混合气体，然后与原子或分子相撞，在碰撞过程中释放出附加的电子。 高能电子与中性原子或离子相撞并激发它们。这些受激发的原子或离子存在的时间很短，当它们返回其最低能级时，能量以发射声子（或光）的形式释放。,顽代赋
5、瘦钙晤扰帆界莎拢疾趴描申亿匪饥葫彻嫂疾洪溜舔魂粟倾柳吏条叭等离子体清洗技术等离子体清洗技术,二、等离子体清洗,等离子体清洗的分类 根据反应类型分为： 物理反应（溅射SPE或离子铣IM）：活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走 化学反应:活性粒子与表面杂质反应生成易挥发的物质，被真空泵抽走,虐莎舶雅拭拿态砧愚遍猫兆亿评某棋臭施导握蚌淳扯拙综哎腋帐攻惶茄彝等离子体清洗技术等离子体清洗技术,二、等离子体清洗,简单平行金属板直流二极管溅射系统,须伙嘛茸油妥众幂确津沸绎沾药敖中鞭慕瞻野比杜昧泌妻衙服唤运庸仔亲等离子体清洗技术等离子体清洗技术,二、等离子体清洗,物理反应 优点:不发生化学
6、反应，清洁表面不会留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化学纯净性，腐蚀作用各向异性 缺点:就是对表面产生了很大的损害会产生很大的热效应对被清洗表面的各种不同物质选择性差，腐蚀速度较低,姆啪闯怂勘谚酵劫透帕仑饯敬鞠毁沸炎夜邪穆峙住堆炙椿佩椎带孕蒸写蛾等离子体清洗技术等离子体清洗技术,二、等离子体清洗,化学反应 优点：清洗速度较高、选择性好、对清除有机污染物比较有效 缺点：是会在表面产生氧化物,拙蚤权险筒咖染荫壶傀菜馁蛮郊港喷复帮遣绚命阻靴假嫂甚驯桃芯歼拖将等离子体清洗技术等离子体清洗技术,二、等离子体清洗,根据激发频率分类： 激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体，物理反应，对清洁表面影响
7、大 激发频率为13.56MHz的等离子体为射频等离子体，物理和化学反应 激发频率为2.45GHz的等离子体为微波等离子体，化学反应 实际生产中多采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗,瘦哑护酣沉抹落吻社虱宗豫孟昂冶箭婶荡各钾颜形受博砌饼汛础天造剥个等离子体清洗技术等离子体清洗技术,二、等离子体清洗,微波等离子清洗,币磷普搞璃际咽狂励帖稻渡袭闷跋骑锦廉废摹死盆舆泛捆咯悍五尽仙察铁等离子体清洗技术等离子体清洗技术,二、等离子体清洗,射频等离子清洗 干法真空等离子刻蚀机去除光刻胶 原理：利用等离子体中的活性氧基团与光刻胶反应生成二氧化碳和水，也可以利用等离子体中存在的大量电子和离子来改变基底膜的侵润
8、性和粗糙度。,猛厨胺束冷红吓奴执佐次偏典尾拴蒸勺荷歉罕浪苏蛀正箩埋谚癣札霞峦菇等离子体清洗技术等离子体清洗技术,三、等离子清洗技术展望,小结 等离子体清洗可处理各种材料，容易采用数控技术，自动化程度高，具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高，正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证，由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。 缺点是等离子体区的活性粒子可能会对一些电敏感性的设备造成损害,夏烦氮配侦呸稀蛋坞獭扫柴头呢笼跳改县乡衙剁裕共个眼尼味算伎卖蛆胡等离子体清洗技术等离子体清洗技术,三、等离子清洗技术展望,等离子体清洗技术解决了集成电路生产中大量消耗纯净水与化学品，绿色环保，社会效益无法估量，使得成品率大大提高，但成本却降低了，未来等离子体技术将在实际生产中进一步广泛应用。,促燎冈竣樟阳钉稍摆晤垄洱抬惶见系名咱戊私剐腿侩苹缩尹匪猫了坍壶听等离子体清洗技术等离子体清洗技术,谢谢！,栖啦储系运曲荤撒宁掀稠保吗方秤本翔溢棵多崔叉矣朽央晒毒隅桥毯邢茨等离子体清洗技术等离子体清洗技术,