JJF 1115-2004 光电轴角编码器校准规范.pdf.pdf

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1、EM VO -v u 中华人民共和国国家计量技术规范 J J F 1 1 1 5 -2 0 0 4 光电轴角编码器校准规范 C a l i b r a t i o n S p e c i fi c a t i o n f o r P h o t o e l e c t r i c S h a f t E n c o d e r s 2 0 0 4 一 0 3 一0 2发布 2 0 0 4一0 6一0 2实施 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局发 布 J J F 1 1 1 5 - 2 0 0 4 光电轴角编码器校准规范 C a l i b r a t i o n S p e c i

2、 f i c a t i o n f o r怪 J J F 1 1 1 5 - 2 0 0 4 代 替 J J G 9 0 0 -1 9 9 5 .o. o.o. o.o. o. .o. o. o.o. o. P h o t o e l e c t r i c S h a f t En c o d e r s 本规范经国 家质量监督检验检疫总局于 2 0 0 4 年0 3 月 0 2日 批准， 并自 2 0 0 4 年 0 6 月 0 2日 起施行 。 归口单位: 全国 几何量角度计量技术委员会 起草单位:中国科学院光电技术研究所 本规范委托归口单位负责解释 J J F 1 1 1 5 -2

3、0 0 4 本规范主要起草人 : 曹学东( 中国科学院光电技术研究所 ) 范天泉( 中国科学院光电技术研究所 ) 耿丽红( 中国科学院光电技术研究所 ) J J F 1 1 1 5 - 2 州M 目录 1 范围 (1 ) 2 引用文献 (1 ) 3 术语和定义 (1 ) 4 概述 (I ) 5 计量特性 ( 1 ) 5 . 1 分度误差 ( 1 ) 5 . 2 测角重复性 ( 1 ) 5 . 3 编码器的零位误差 ( 1 ) 5 . 4 测角回程误差” ( 1 ) 6 校准条件 ( 2 ) 6 . 1 环境条件 ( 2 ) 6 . 2 校准用标准器 ( 3 ) 7 校准项目和校准方法 ( 3)

4、 7 . 1 分度误差 ( 3) 7 . 2 编 码器 的 零 位 误 差 ( 5 ) 7 . 3 测角重复性 ( 5 ) 7 . 4 测角回 程误差 ( 6 ) 8 校准结果表达 ( 6 ) 9 复校时间间隔 ， ， ( 6) 附录 A 分度误差校准实例 ( 7) 附录 B 测角重复性校准实例 ( 1 0 ) 附录 C 测角回程误差校准实例 ( 1 1 ) 附录 D 光电轴角编码器分度误差测量不确定度分析 ( 1 2 ) 附录E 校准证书格式及内容 ( 1 7 ) J J F 1 1 1 5 - 2 侧H 光 电轴角编码器校准规范 范围 本规范适用于分辨力为 0 . 1 ” 一 3 0 “

5、的光电轴角编码器 ( 以下简称编码器)的校准。 2 引用文献 本规范引用以下文献: J J F 1 0 0 1 -1 9 9 8 通用计量术语及定义 J J F 1 0 5 9 -1 9 9 9 测量不确定度评定与表示 J J F 1 0 9 4 -2 0 0 2 测量仪器特性评定 J B I T 9 9 4 2 -1 9 9 9 光栅角位移传感器 J B / T 1 0 0 3 4 -1 9 9 9 光栅角位移测量系统 J J G 4 7 2 -1 9 9 7 多齿分度台国家计量检定规程 使用本规范时.应注意使用上述引用文献的现行有效版本。 3 术语和定义 编码器的零位误差: 编码器的零位误

6、差是指编码器从正、反方向不同位置回到其零位时，其角度位置的 最大变化量。 4 概述 编码器主要是以光栅盘或码盘作为测量元件，用来测量转角。它可以单独作为角度 计量器具， 也可以 作为某一 设备或仪器的 测角部件。 编码器原理及结构示意图 如图1 所 示。按分度误差，编码器可分为 7 级。 5计量特性 5 . 1 分度误差 各级编码器的分度误差要求见表 t o 5 . 2 测角重复性 各级编码器的测角重复性要求见表 l o 5 . 3 编码器的 零位误差 编码器的零位误差要求在制造厂家的产品标准中规定，也可由用户根据需要确定。 5 . 4 测角回程误差 编码器的测角回程误差要求在制造厂家的产品标

7、准中规定，也可由用户根据需要确 定 。 .1 .1 F 1 1 1 5 - 2 0 0 4 图 I 编码器原理及结构示意图 I 一主轴;2 一光栅盘 ( 或码盘) :3 一光源;4 一指标光栅;5 一接收器件组 表 1 各级编码器的分度误差、测角重复性要求 准确度级别 分度误差 测角重复性/( 0 ) 无绝对零位编码器有绝对零位编码器 ( 尸一V )/( ” ) 最大允许误差/( “ ) 10. 5t 0 . 2 5X0. 2 21t 0 . 5X0. 3 3 2士 1(0. 4 44士2X0 . 8 51 0士5蕊1 . 6 6 2 0土 1 0毛3 . 2 76 0士 3 056. 4 注

8、 :P 一 峰值 ，V 一谷值 。 当编码器不按准确度等级进行分级时，其分度误差、测角重复性要求在制造厂家的 产品标准中规定，也可由用户根据需要确定。 6 校准条件 6 . 1 环境条件 校准时的温度及温度变化应满足表 2 要求。被校准编码器与校准所用标准器具应有 足够的平衡温度时间，通常应不少于2 h 。被校准编码器应在接通电源 1 0 m i n 后开始校 准 。 2 J J F 1 1 1 5 - 2 0 0 4 表2 校准时的温度及温度变化要求 准确度级别校准时的温度要求1( )温度变化/( 9 C / h ) 1 2 0士 2 X0 . 5 2 3 2 0 士3续 14 5 6 2

9、0 士5- 1 7 6 . 2 校准用标准器 校准用标准器见表3 0 表 3校准 用标 准器 序号标准器 转 台 自准直仪 多面棱体 分度值/ 等级 1 一3 级编码器用分度值为0 . 1 “ 一 0 . 5 “ 的转台 4级编码器用分度值为 1 ” 的转台 5 一 7级编码器用分度值为2 ” 一 1 0 “ 的转台 1 一 3级编码器用分度值(0 . 1 “ 的自准直仪 4 级编码器用分度值为 0 . 2 ” 的自准直仪 5 - 7级编码器用分度值为1 “ 的自准直仪 1 一 3级编码器用不少于 1 7面的3 等多面棱体 4 级编码器用不少于 1 6 面的4等多面棱体 5一7级编码器用不少

10、于 1 2面的 4等 多面棱 体 7 校准项目和校准方法 7 . 1 分度误差 编码器的分度误差可以直接用转台 ( 分度台、测角仪等)校准，也可采用多面棱体 一自准直仪校准 ，校准点数通常根据被校准编码器的级别而定。1 级、2级编码器采用 不少于 1 7面的质数面棱体进行校准，且采用排列互比法;3 级 、 4 级编码器校准点数应 不少于 1 6 点 ;5 级、6 级、7 级编码器校准点数应不少于 1 2 点。校准点数也可按委托单 位的要求而定。 排列互比法的操作与数据处理方法见 J J G 4 7 2 -1 9 9 7 多齿分度台计量检定规程 。 编码器校准时是否带联轴节由送校单位确定。 7

11、. 1 . 1 直接用转台 ( 分度台、 测角仪等)校准 将被校准编码器转轴与转台转轴通过联轴节连接在一起，并使被校准编码器主轴轴 J J F 1 1 1 5 -2 0 0 4 线与转台 轴线重合，固 定编码器不动部分， 记下编 码器示值 a ， 及转台示值 b 、 。 转台转 过一个位置， 记下编码器示值 a , 及转台示值 b , ， 转动转台 直至测完所有被测点。再次 转动转台使编码器示值为 a ， ，同时记下转台示值 b ， ， ， 并记算一测回首尾重合差 H二 I b ， 一6 , l ，各级编码器一测回首尾重合差要求见表 4 0 表 4 一测回首尾重合差要求 准确度级别 首尾重合差

12、/ X 0. 2 , 0. 3 , 0. 5 , 1 5 直接用转台校准编码器示意图如图 2 0 图 2 直接用转台校准编码器示意图 1 一支架;2 一被校编码器;3 一联轴节;4 一转台 编码器各测点的误差值计算公式见下式 : e= ( a一 a l ) 一 ( b一 b ， ) 式中:a 编码器第 i 测点示值，i 二1 , 2 ， 二 ，n ; ( 1 ) 转台第 i 测点示值; 被校准编码器第 i 测点的分度误差值。 7 . 1 . 2 用多面棱体 一自准直仪校准 将多面棱体安装在编码器转轴上，并使多面棱体轴线与编码器旋转轴线重合，同轴 度误差应不大于 0 . 5 m m ，棱体各工作

13、面与被检编码器的轴线的平行度 ( 塔差)不大于 3 0 气 安放 自准直仪，使自准直仪视轴垂直于多面棱体工作面并对准多面棱体第一工作 J J F 1 1 1 5 - 2 0 0 4 面中心，自 准直仪分划板竖线应与编码器轴线平行; 记下编码器示值 a ， 及自 准直仪初 始读数。 ， ， 旋转编码器主 轴使多面棱体第二工作面对准自 准直仪， 记下编 码器示值 a 2 及自 准直仪相应的读数 c 2 ， 旋转编码器主轴直至校准完所有校准点。再次旋转编码器 主 轴使编码器示值为 a，同时记下自 准直仪示值 己 ， ， 并计算一测回首尾重合差 H= ， 一。 . ，各级编码器一测回首尾重合差要求见表

14、 4 用多面棱体 一自准直仪校准编码器示意图如图3 , 图3 用多面棱体 一白准直仪校准编码器示意图 1 -多面棱体; 2 -多面棱体调整架;3 -被校编码器;4 -自准直仪 编码器各测点的误差值计算公式见下式: e=( a一a , ) 一( b一b . ) 一( c一。 、 )( 2 ) 式中: a 编码器第 i 测点示值，i 二 1 , 2 ,，侧 b 棱体第 i 面与第 1 面夹角; c 自 准直仪第 i 测点读数; e 被校准编码器 第 i 测点的误差值。 若被校准编码器含细分处理部分且分度误差校准间隔为细分周期的整数倍时，则应 在误差最大值点及最小值点处校准细分误差 ，细分误差校准点

15、数为 n , n通常不小于 1 0 。校准间隔为 / n ( A为一个细分周期) 。细分误差校准完后按分度误差计算公式计 算各点误差值。 当被校准编码器有绝对零位时，应以绝对零位为起点进行分度误差的校准，且分度 误差校准结果同时给出误差 ( 含细分点误差)最大值和最小值 ;当被校准编码器无绝对 零位时，分度误差取各校准点误差 ( 含细分点误差)中最大值 尸与最小值 V之差 ( 即 尸一 V 值)作为 校准结果。 分度误差校准结果形式也可按委托单位的 要求而定。 7 . 2 编码器的零位误差 编码器的零位误差的校准装置与分度误差的校准装置相同。 转动编码器回转轴使编码器转至零位位置。转动编码器回

16、转轴，使编码器向示值增 加的方向转过一个角度后再转回至零位，记下测量装置读数值。然后转动编码器回转轴 使编码器向示值减小的方向转过一个角度后再转回至零位，再次记下测量装置读数值。 依此反复测量，共测量 1 0次。取测量装置读数的最大值和最小值之差作为编码器的零 位误差校准结果。 7 . 3 测角重复性 测角重复性的校准装置与分度误差的校准装置相同，按双观测法进行 5 J J F 1 1 1 5 -2 0 0 4 按分度误差校准方法以相同的转动方向重复连续测量两周 ( 第一周、第二周测量点 位置相同) ， 读取测量装置第一周各测点测量值 d d 2 ,，d， 第二周各测点测量值 d d 2 ,，

17、d o 。 按公式 ( 3 )计算测角重复性。 关 =d ; 十 ， fi=d ; . , ( 3 ) ,A, =3 x 2 n 又 ( f 一 f JV dd - dndn n几 式中: d 第一周第 i 测点的 测量值，i = 1 , d , 第二周第 i 测点的测量值，i =1 , f 第一周相邻测点测量值之差; f ; 第二周相邻测点测量值之差; n 每周测量点数; 重 测角重复性。 7 . 4 测角回程误差 测角回程误差的校准装置与分度误差的校准装置相同。 按分度误差校准方法正、反各测量一周 ( 正、反测量点位置相同) ，取各测点正、 反读数值之差的绝对值中最大者作为测角回程误差校准

18、结果。 8 校准结果表达 经校准的编码器发给校准证书或校准报告。 ，复校 时间间隔 复校时间间隔由送校单位根据实际使用情况确定，建议为 1 年。 工 1 F 1 1 1 5 - 2 以娜 附录 A 分度误差校准实例 A . 1 采用多面棱体一自 准直仪法校准 被校对象:分辨力为0 . 1 “ ，细分周期为 )0 ，无绝对零位的 3级光电轴角编码器。 校准用标准器具: 2 4 面棱体 ( 3 等) ;自 准直仪， 示值误差 ( P V 值)为。 2 “ ( t 1 0 0 “ 范 围内) 。 多面棱体 一自准直仪法校准数据见表 A . 1 o 表 A . 1 多面棱体 一自准直仪法校准数据 纷

19、J 编码器示值棱本角度值自准直仪读数/( ” ) 误差值/( ” ) ) 了勺 二 一 一 10 00 00 . 0 0. 0 21 5 0 1 5 0 一 1 . 0 “0 . 60. 4 3 3 0 03 0 0 一0. 夕一0. 3 0. 8 44 5 04 5 - + 1 . 4 “ 一 1. 70. 3 56 0 -6 0 + 0 . 5 “ 一0. 2一0 . 3 6 7 5 07 5 0 一0. 9 “0. 9 0 . 0 79 0 09 0 0 一0. 4 “ 一 0 . 50. 9 81 0 5 0 1 0 5 0 一 0 . 9 “0 . 30. 6 91 2 0 01 2

20、 0 0 一0 . 1 “一 0 . 5 0. 6 1 01 3 5 01 3 5 0 一 0 . 4 “ 一0. 40. 8 1 1巧 0 0 1 5 0 0 + 0 . 3 “一 1 . 0 0. 7 1 21 6 5 01 6 5 0 +1 . 4 “ 一 1 . 70. 3 1 31 8 0 01 8 0 + 0 . 0 “ 一0. 30. 3 1 4 1 9 5 0 1 9 5 0 一0. 5 “0 . 40. 1 1 52 1 0 02 1 0 0 + 0 . 5 “0 . 2 一0. 7 1 62 2 5 02 2 5 0 一 0 . 2 “ 1 . 1一0. 9 1 72 4

21、0 02 4 0 0 + 0. 4 “ 0. 30. 7 1 82 5 5 02 5 5 0 一 4 . 5 “5 . 0 一0. 5 1 92 7 0 02 7 0 0 一0. 3 “ 1 . 0一0. 7 2 02 8 5 02 8 5 0 + 0 . 6 “ 0 . 2一0. 8 2 13 0 0 03 0 0 0 一0. 2 “1 . 0 一0. 8 2 23 1 5 03 1 5 0 + 0. 2 “ 0 . 5一0 . 7 2 33 3 0 03 3 0 0 + 0 . 6 “ 一0. 50. 1 2 43 4 5 03 4 5 0 + 0. 1 “0 . 4 -0. 5 2 50

22、 0 0 00 . 3一0 . 3 J J F 1 1 1 5 - 2 以 M 表A. 1( 续) 在误差最大值处校准细分误差 序号 编码器示 值棱本角度值 自准直仪读数/( “ ) 误差值/( “ ) 19 0 0 0 . 0 “9 0 0 一0. 4 “ 一0 . 50 . 9 29 0 0 5 . 0 “9 0 0 一0. 4 “4. 70 . 7 39 0 0 1 0 . 0 “9 0 0 一0. 4 “9. 6 0 . 8 4 9 0 0 1 5 . 0 “ 9 0 0 一0. 4 “1 4 . 80 . 6 59 0 0 2 0 . 0 “9 0 0 一0. 4 “1 9 . 80

23、 . 6 69 0 0 2 5 . 0 “00 。 一0. 4 “ 2 4 . 80 . 6 7 9 0 0 3 0 . 0 “ 9 0 。 一0. 4 “3 0 . 00 . 4 89 0 0 3 5. 0 “9 0 0 一0. 4 “3 5 . 00 . 4 99 0 0 4 0. 0 “驯) 。 一0. 4 “3 9 . 7 0 . 7 1 09 0 0 4 5. 0 “ 喇) 。 一0. 4 “4 4 . 50 . 9 1 19 0 0 5 0. 0 “9 0 0 一0. 4 “4 9 . 70 . 7 1 29 0 0 5 5 . 0 “9 0 一0. 4 “5 4 . 9 0. 5

24、 1 3 9 0 0 6 0. 0 “ 9 0 。 一0. 4 “5 9 . 50 . 6 在误差最小值处校准细分误差 序号编码器示值棱本角度值自准直仪读数/( “ )误差值1( ” ) 12 2 5 0 0. 0 “2 2 5 0一0 . 2 “1 . 1一0. 9 2 2 2 5 0 5. 0 “2 2 5 0一0 . 2 “ 6. 1一0. 9 3 2 2 5 0 1 0. 0 “ 2 2 5 0一0 . 2 “1 1 . 0一0. 8 42 2 5 0 1 5 . 0 “2 2 5 0一0 . 2 “1 6 . 0 一0 8 52 2 5 0 2 0 . 0 “2 2 5 0一0 .

25、2 “2 1 . 0一0. 8 62 2 5 0 2 5 . 0 “2 2 5 0 一 0 . 2 “2 5 . 8一0 . 6 72 2 5 0 3 0 . 0 “2 2 5 0一0 . 2 “3 0 . 6一0. 4 82 2 5 0 3 5 . 0 “2 2 5 0 一 0 . 2 “3 5 . 7 一0. 5 92 2 5 0 4 0 . 0 “2 2 5 0 一0. 2 “4 1 . 1一0 . 9 1 02 2 5 0 4 5 . 0 “2 2 5 0 一 0 . 2 “4 6 . 0一0. 8 1 12 2 5 0 5 0 . 0 “2 2 5 0 一0. 2 “ 5 0. 8一

26、0 . 6 1 22 2 5 0 5 5 . 0 “2 2 5 0 一0. 2 “5 5. 9一0 . 7 1 32 2 5 0 6 0 . 0 “2 2 5 0 一0. 2 “6 1 . 0 一0 . 8 校准结果: 0 . 9 一 ( 一 0 . 9 ) 二 1 . 8 “( 不确定度 U二 0 . 6 “ , p = 9 5 %) A . 2 采用排列互 比法校准 被校对象:分辨力为0 . 1 “ ，细分周期为6 0 “ ，无绝对零位的2 级光电轴角编码器。 校准用标 准器具:2 3面棱 体 ( 3等) ;自准 直仪，示值误 差 ( P V值)为 0 . 2 “ ( 土 1 0 0 ”

27、范围内) 。 排列互比法校准数据见表 A . 2 o 8 J J F 1 1 1 5 - 2 0 0 4 咨织Jld叭许0.0“劫侧侧假险 鹅绷把擎班五问碌觉N.V群 、卜.0 卜.011。二咪织绝澎 秦 匡 辱 拱 亚 公 回 纂 纵 回 夏 N 斌 回 夏 m if p 回 夏 寸 瓣 回 影 犷 瓣 回 影 C 获 回 弓 卜 轶 回 彩 印 二 级 回 毫 C 卜 瓣 回 毫 0 瓣 回 澎 城 回 : N 姗 回 景 仁 尹 ，州 姗 回 戛 寸 纸 回 彩 】 广 姗 回 影 : ip 画 0 M r 、 甲. . 纵 回 夏 OC 甲曰 ia R 回 纂 C 卜 轶 回 澎 0

28、t 二 瓣 回 彰 囚 姗 一 回 ，1二二飞 纂 r r 闷 姗 一 回 展 吧厂 r ， 姗日 一 履 I L- 一酬 片 是 1- 礁 之 的 l 钓 秘 联 耸 娜 之 卜 l 宕 糊 e I 铡 余 J J F 1 1 1 5 - 2 0 0 4 附录 B 测角重复性校准实例 被校对象 :分辨力为 0 . 1 1 , ，细分周期为 501 , ，无绝对零位的 2 级光电轴角编码器。 校准用标 准器具:2 3面棱 体 ( 3等) ;自准 直仪，示值误差 ( P V值)为 0 . 2 “ ( 士1 0 0 ， 范围内) 。 测角重复性校准数据见表B . 1 . 表 B . 1 测角重复性

29、校准数据 序号编码器示 值棱体角度值 自准直仪读数/ ( “ ) 第 一 周 一 第 二 周 - 相邻差/( “ ) 第 一 周 一 第 二 周 两周各对应点相 邻差之差/( ” ) 1 0 0 0 0 . 0 “0 0 0 0 . 0 “0 . 00 . 11 . 2 1 . 1一0 . 1 21 5 0 3 9 7 . 扩巧 0 3 9 7. 0 “1 . 2 1 . 2一0. 4一0. 30. 1 33 1 0 1 8 1 5 . 6 “ 3 1 0 1 8 1 5 . 0 “0 . 80. 9一0. 4一0. 4 0. 0 44 6 0 5 7 2 3 . 5 “4 6 0 5 7 2

30、 3 . 2 “0 . 40. 51 . 1 1 . 0一0 . 1 56 2 0 3 6 3 1 . 3 “6 2 0 3 6 3 0 . 4 “ 1 . 51 . 50. 20 . 30. 1 6 7 8 0 1 5 3 9 . 1 “7 8 0 1 5 1 7 . 7 “1 . 71 . 8一 1 . 2一 1 . 1 0. 1 7 9 3 0 5 4 4 7 . 0 “ 9 3 0 5 4 4 6 . 4 “0 . 50. 7一0. 4 一0. 5一0 . 1 81 0 9 0 3 3 5 4. 8 “1 0 9 0 3 3 5 4 . 4 “ 0 . 10. 2一0 . 6一0. 7

31、一0 . 1 91 2 5 0 1 3 2 . 6 “ 1 2 5 0 1 3 3 . 5 “一0. 5一0 . 50. 80 . 80. 0 1 01 4 0 0 5 2 1 0. 4 “1 4 0 0 5 2 1 0 . 4 “0 . 30. 30 . 6 0 . 70. 1 1 1巧 6 0 3 1 1 8. 3 “1 5 6 0 3 1 1 7 . 7 “ 0 . 91 . 0一0 . 1一0. 2一0 . 1 1 21 7 2 0 1 0 2 6. 1 “1 7 2 0 1 0 2 5 . 7 0 0 . 80. 8一 1 . 5一 1 . 7 一0 . 2 1 31 8 7 0 4

32、 9 3 3. 9 “1 8 7 0 4 9 3 5 . 1 “一0. 7一 0 . 90. 4 0 . 60. 2 1 42 0 3 0 2 8 4 1 . 7 “2 0 3 0 2 8 4 2 . 3 “ 一 0 . 3一0 . 3一0 5一0 50. 0 1 52 1 9 0 7 5 9 . 6 “ 2 1 9 0 7 5 1 . 2 “一0. 8一0 . 81 . 71 . 6 一0 . 1 1 62 3 4 0 4 6 5 7.4 “2 3 4 0 4 6 5 7 . 1 “0 . 9 0. 8一2 . 2一2. 4一0 . 2 1 72 5 0 0 2 6 5 . 2 “ 2 5

33、0 0 2 6 7 . 0 “一 1 . 3一 1 . 62. 22 . 30. 1 1 82 6 6 0 5 1 3 . 0 “ 2 6 6 0 5 1 2 . 7 “0 . 90. 7一 1 . 2 一 1 . 20. 0 1 92 8 1 0 4 4 2 0. 9 “2 8 1 0 4 4 2 1 . 9 “一0. 3 一0 . 5一0 5一0. 40. 1 2 02 9 7 0 2 3 2 8 . 7 “ 2 9 7 0 2 3 2 9 . 7 “一0 8一 0 . 91 . 31 . 2一0 . 1 2 1 3 1 3 0 2 3 6 . 5 “ 3 1 3 0 2 3 6 . 5

34、“0 . 50 . 3一0 . 5 一0. 30. 2 2 23 2 8 0 4 1 4 4.3 “3 2 8 0 4 1 4 4 . 9 “0 . 0 0. 0一 1 . 4一 1 . 5一0 . 1 2 33 4 4 0 2 0 5 2 . 2 “ 3 4 4 0 2 0 5 3 . 9 “一 1 . 4 -一1 51 . 41 . 60. 2 校准结果: 乙 ， = 二3 x 0 . 0 8 6=0 . 2 6( ” ) 1 0 J J F 1 1 1 5 - 2 0 0 4 附录 C 测角回程误差校准实例 被校对象:分辨力为0 . 1 “ ，细分周期为6 0 “ ，无绝对零位的2 级光

35、电轴角编码器。 校准用标 准器具:2 3面棱 体 ( 3等) ;自准直仪，示值误差 ( P V值)为 0 . 2 “ ( 土1 0 0 范围内) 。 测角回程误差校准数据见表 C . 1 . 表 C . 1 测角回程误差校准数据 序号编码器示值棱体角度值 自准直仪读数j( “ ) 正 ， 。一反 ， 。 测角回程误差 j( “ ) 二 一 10 0 0 0 . 0 “0 0 0 0. 理 ，0. 00. 1 0 . 1 2巧 0 3 9 7. 8 “巧 0 3 9 7 . 0 “ 1 . 21 . 20 . 0 33 1 0 1 8 1 5. 6 “3 1 0 1 8 1 5. 0 “ 1.

36、11 . 0一0. 1 4 4 6 0 5 7 2 3. 5 “ 4 6 0 5 7 2 3. 2 “0. 30. 3 0 . 0 56 2 0 3 6 3 1 . 3 “6 2 0 3 6 3 0. 4 “ 1 . 51 . 60 . 1 67 8 0 1 5 3 9. 1 “7 8 0 1 5 1 7. 7 “ 2. 02 . 00 . 0 79 3 0 5 4 4 7. 0 “9 3 0 5 4 4 6. 4 “0. 7 0. 80 . 1 81 0 9 0 3 3 5 4 . 8 “1 0 9 0 3 3 5 4 . 4 “ 0. 20 . 1一0. 1 91 2 5 0 1 3 2.

37、 6 “ 1 2 5 0 1 3 3. 5 “一0 . 5一0 . 50 . 0 1 01 4 0 0 5 2 1 0 . 4 “1 4 0 0 5 2 1 0. 4 “0. 50 . 6 0 . 1 1 1巧 6 0 3 1 1 8 . 3 “巧 6 0 3 1 1 7 . 7 “ 1 . 01 . 00 . 0 1 21 7 2 0 1 0 2 6 . 1 “1 7 2 0 1 0 2 5 . 7 “ 0. 90 . 90 . 0 1 3 1 8 7 0 4 9 3 3 . 9 “ 1 8 7 0 4 9 3 5 . 1 “一0 . 5 一0. 6一0. 1 1 42 0 3 0 2 8 4 1 . 7 “2 0 3 0 2 8 4 2 . 3 “ 一0 . 1一0 . 10 . 0 1 52 1 9 0 7 5 9. 6 “ 2 1 9 0 7 5 1 . 2 “一0 . 8一