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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 S . I / T 3 1 0 8 4 9 4 电子束蒸发台完好要求和检查评定方法 主题内容与适用范围 本标准规定了电子束蒸发台的完好要求和检查、 评定方法 本标准适用于4 0 0 S C 3 0 3 6 型和E B X -1 2 C电子束燕发台， 也适用于C L 6 8 0 型, H C V - 1 2 p -7 0 A型蒸发台。 名词与术语 2 . 1 蒸发: 将金属丝加热或用电 子束轰击使金属材 料挥发 从而可使材料淀积在衬底上的工艺 过程 。 2 . 2 电子束蒸发:
2、 采用高能电子束直接轰击置于增祸内的源材料， 使之加热蒸发并沉积于基 片上， 以形成薄膜的真空镀膜过程。 完好要求 主要技术指标 4 0 0 S C 3 0 3 6 型和E B X -1 2 C型, C L 6 8 0 型电 子束蒸发台主 要技术指标完 好要求， 见表 表 1 序 号 检测项目 完好 要求 4 0 0 S C3 0 3 6 型 , H C V- 1 2 P - 7 0 A 型 E B X - 1 2 C 型 X 1 , 6 8 0型 1 极限真空度( p a ) 9 . 3 X1 0 - 6 7x1 0 - 2 抽真空速率( mi n )抽至2 . 6 6 X 1 0 - p
3、a时. 3 0 抽至6 . 7 X 1 0 一 p a时， 2 0 3 成 膜速 率 了名 g J 召弓古 妇 斌 、了j 石 n 、 功率: l O k W 材料: 饥， 速率: 0 . 0 1 2 功率: 8 k W， 材料: 铝 速率: 1 . 6 材料 镍， 速率: 0 . 0 l 、到 代 2凡声口e币月乙1几二t ， 4 镀膜均匀性误差( %) 士 5( 士5 5 衬底恒温区温度误差 ( 蒸发室温度)() 5 0 - 3 0 0可调 2 5 0 士 5 0X o 3 . 2 操作系统 3 . 2 . 1 各操作变速手柄、 开关、 按扭启动灵活， 定位可靠， 标志齐全。 3 . 2
4、. 2 制动、 限位装置齐全， 灵敏可靠。 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准 37 6 1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 s ,1 / c 3 1 0 8 4 -9 4 3 . 2 . 3 各仪表、 指示灯指示正常。 3 . 3 传动系统 工作夹、 炉体旋转平稳， 无冲击， 无振动。 3 . 4 真空系统了 3 . 4 . 1 真空腔密封性好， 无漏气。 3 . 4 . 2 冷却水路、 气路通畅。 3 . 4 . 3 冷凝泵、 高真空泵工作正常， 无异常噪声。 水 4 . 4 真 空 泵、 冷 凝 泵具 体完 好 蜜求， 按动 力 设备 中 有
5、关规 定 执 行。 3 . 5 电路控制系统 3 . 5 门控制装置各部分功能齐全， 性能可靠。 3 . 5 . 2 内部清洁， 各线路标志明显。 3 . 6 微机控制系统 16 . 1 微机控制下编辑、 执行、 监测等模式可以随意设定。 3 . 6 . 2 各模式功能齐全， 能够编辑程序， 执行进程， 监测和测试等。 3 . 6 . 3 在自动控制下各部件动作协调， 精度可靠。 3 . 6 . 4 具体要求， 参照有关设备“ 微 机系统” 执行。 3 . 7 附件 附件齐全， 保管良好， 无锈蚀、 损伤。 3 . 8 安全防护系统 3 . 8 . 1 、 各引 线的 接地接头接地可靠， 标志
6、明 显。 3 . 8 . 2 各安全阀门、 联锁装置工作正常， 开关准确。 3 . 9 维护保养 3 . 9， 设备内外清 洁无锈蚀。观察窗明亮、 清晰， 无破损、 无 腐蚀。 3 . 9 . 2 各部件紧固螺钉紧密， 无松动、 高压电源线和高压引线的连接处无松动。 3 . 9 . 3 电子枪的绝缘子， 加热灯丝等无沾污， 裂纹或变形。 3 . 9 . 4 电子枪偏转线圈用的接线， 真空室内的电子枪屏蔽罩要远离加热灯丝一定距离。 3 . 9 ， 5 冷却水管道通水方向正确， 无漏水。 3 . 9 . 6 保持泵油的 油面在规定的刻缓上。 4 检查、 评定方法 4 . 1 检查方法 4 . 1
7、. 1 极限真空度的检查方法: 按设备操作要求对真空室抽真空， 4 0 -6 0 m i n后， 每隔 1 0 m i n记录真空计示值， 记录 5 - 1 0 次， 取最后一次为极限 真空 度。 4 . 1 . 2 抽真空速率的检查方法: 按设备操作要求对真空室抽真空， 5 -1 0 m i n后， 打开真空度测试仪， 记下从打开高阀开始 到第一次达到6 . 7 X 1 0 - “ P a的时间。 37 7 S .I / e 3 1 0 8 4 - 9 4 4 - 1 . 3 蒸发速率的检查方法: 选择铝或其它材料为蒸发材料 ， 选定 一 轰击电压， 进行轰击， 记录下时间t ， 用测厚仪测
8、量 衬底增加的厚度D ， 用( 1 ) 式计算蒸发速率( li m / m i n ) : V 二 D/ t . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 1 ) 4 . 1 . 4 被膜均匀性的检查方法: 选择铝或其它材料为燕发材料， 在衬底上选取有代表性的五点放置样片， 按操作规程进行 蒸发 镀膜， 用测厚仪分别测量五片 样片的 厚度。并计 算膜厚均匀性误差。 4 . 1 . 5 衬底恒温区温度均匀性的检查方法 在衬底上选择五点布放温度传感器， 设定 2 5 0 或其它温度为测
9、试点， 按设备操作要求升 温， 达到设定温度并稳定 5 mi n后， 每隔 2 3 m i n记录一次温度示值， 共记录 3 -5 次， 分析修 正后的测试结果， 计算温度均匀性误差 4 . 16 对各系统完好要求， 在设备现场， 采用主观法检查。 4 . 2 评定方法 4 . 2 . ， 完好要求所列内容中， 主要项目有: 3 . 1 , 3 . 4 , 3 . 5 各项， 其余为次要项目。 4 . 2 . 2 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 设备。 4 . 2 . 3 完好设备的维护保养， 应达到优等设备标准。 附加说明: 本标准由电子工
10、业部经济运行与体制改革司提出 本标准由国营南京有线电厂组织起草 本标准主要起草人: 牛爱欣( 电子工业部第 1 3所) 、 王洪波( 国营南光机器I ) 、 何生海、 董 振雷、 宋振 荣( 中国华晶电 子集团 公司) 。 3 7 8 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/