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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 ( 下册) 专 用 设 备 ( 续) 中 华 人 民 共 和 . 电 子 行 业 振 准 A 5 0 0 B 2 K 型 高 真 空 薄 膜 敏 膜 机 完 好 要 求s d / r 3 1 2 6 0 - 9 4 和检变评定方法 ， 主.内容与适用范围 本标准规定了A5 0 0 B 2 K型高真空薄膜镀膜机的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于A5 0 0 B 2 K型高真空薄膜镀膜机。 2 完好要求 2 . 1 主要性能 2 1 . 1 镀膜性能 a . 膜卷宽度范围: 2 5 0 - 5 2 0 mm; b . 镀层最大宽度: 5
2、 0 0 m m; c . 卷膜速度范围: 。 . 8 - 8 m/ s ; d ， 一个计算面积单位镀膜范围: 1 -5 d 1 , 2 . 1 . 2 真空源 a . 极限压力: 不低于5 X 1 0 - P a ; b . 抽气速率: 5 m i n不低于1 X 1 0 - P a ; c . 工作极限压力: 不低于 1 X 1 0 - P a ; d . 漏气率: 镇3 X 1 0 P a 1 / s ; 2 . 1 . 3 镀膜鼓冷却与加热温度范围为一4 0 C -+2 5 C 2 . 1 . 4 卷绕产品端面平整允差不超过士。 . l mm, 被层无擦伤。 2 . 2 操作系统 2
3、 . 2 . 1 各操作手柄、 开关、 按钮、 旋钮启动灵活， 标志齐全。 2 . 2 . 2 制动、 限位装置齐全， 灵敏可靠。 2 . 3 传动系统 2 . 3 . 1薄膜鼓、 卷绕、 解轴及传动装置， 送铝机构运转平稳， 无冲击， 无振动。 2 . 3 . 2 变速、 张力机构渴 节灵敏、 可靠。 2 . 3 . 3 镀膜鼓、 测量轴、 张力轴、 舒展轴、 导轴、 压轴表面平直光滑， 传动灵敏， 测量轴镀金层无 缺陷， 碳刷接触可靠。 2 . 4 真空系统 2 . 4 . 1 机械真空泵、 机械增压泵运转平稳， 无冲 击， 无振动 极限压力不低于5 X 1 0 - “ P a , 2 .
4、 4 . 2 油扩散泵， 油增压泵、 冷阱内表面清洁， 工作正常。 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准1 9 9 4 - 0 6 - 0 1 实施 一 7 8 3 一 s ; / T 3 1 2 6 0 - - 9 4 2 . 4 . 3 燕发室清洁， 密封良好， 油封不漏油， 油位正常， 观察窗清晰。 2 . 4 . 4 真空管路连接紧固可靠、 畅通， 密封良好。 2 . 4 . 5 真空阀门开闭灵暇、 可靠。 2 . 5 气动系统 2 . 5 . 1 各气动元件动作灵敏、 可靠， 无振动， 无爬行。 2 . 5 . .2 各气动管路畅通、 清洁、 无泄漏
5、， 排列整齐， 滤油器工作正常 2 . 6 制冷系统 2 . 6 . 1 制冷压缩机冷剂循环泵运转平稳， 无异常振动， 无冲击， 循环泵 压力范围为0 . 4 - 0 . 5 M P a ; 制 冷 剂 量 应 符 合 规 定 要 求。 2 . 6 . 2 制冷管路连接紧固、 可靠， 无泄漏。 2 . 6 . 3 冷凝、 蒸发压力适中， 各阀门调节灵敏、 可靠。 2 . 6 . 4 冷冻机油回油正常。 2 . 7 电气系统 2 . 7 . 1 各元、 器件齐全， 完整、 工作可靠， 无老化现象 2 . 7 . 2 电气性能灵敏， 运行可靠， 保护装置齐全， 有效。 2 . 7 . 3 线路完整
6、， 绝缘层无破裂， 无漏电现象。 2 . 7 . 4 电气柜内清洁， 线路布置整齐， 标志明显， 各端子紧固无松动现象。 2 . 7 . 5 计量仪器仪表完好， 指示准确， 有有效期内检验合格证。 2 . 8 其他系统 2 . 8 . 1 冷却 a . 水管路常通， 自动阀门灵敏、 可靠、 清洁， 不漏水。 b . 水压不低于 。 . 4 MP a ， 出水温度不高于3 0 0C, 2 . 8 . 2 空压 a . 管路畅通、 清洁， 不漏气， 阀门 调节灵活， 压力范围 在。 . 5 -0 . 6 MP a . b . 过滤器工作正常， 油雾器油位清晰。 2 . 9 安全防护 2 - 9 .
7、 1 安全防护装置齐全、 可靠。 2 . 9 . 2 接地( 零) 可靠， 标志明显。 2 . 1 0 维护保养 按S J / T 3 1 0 0 2 一 9 4 设备维护保养通则 执行。 性交 、 评定方法 3 . ， 检查方法 3 - 1 . 1 标准中真空度检查， 用冷阴极电离真空计方法测量。 3 . 1 . 2 标准中速度检查， 换算成转速后用转速表方法测量。 3 . .1 . 3 标准中漏气率检查: 密闭真空室， 用自身真空泵， 扩散泵抽至极限真空度后保持 3 0分 钟， 其漏气率用( 1 ) 式确定: 。尸 X V Q x一 t. . . 二 “ 二 ” . . ( 式中: Q -
8、 漏气率， P a L / s ; 一7 8 4 一 s UT 3 1 2 6 0 -9 4 P -压强 ， P a = V -真空室容积， L; t 压强升高时间， s , 3 . 2 评定方法 3 . 2 . 1 完好要求中. 2 . 1 . 1 -2 . 1 . 4 , 2 . 4 . 1 , 2 . 7 . 1 , 2 . 7 . 2 , 2 . 9 . 1 , 2 . 9 . 2 为主要项目 ， 其余为次 要项 目。 3 . 2 . 2 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备， 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 设备 。 3 . 2 . 3 完好设备的维护保养， 应达到优等设
9、备标准。 附 加说明 : 本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本标准由国营宏明无线电器材厂组织起草。 本标准主要起草人: 包于成。 7 8 5 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/